探針模塊的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種探針模塊，其包括具有通孔的基材以及至少四個(gè)探針列。至少四個(gè)探針列，其分別固設(shè)在基材上，多個(gè)探針列在第一方向由第一側(cè)向第二側(cè)排列，每一探針列具有朝第二方向排列的至少兩個(gè)探針，每一個(gè)探針分別具有接觸段以及懸臂段，懸臂段的一端連接在基材上而另一端向通孔方向延伸而與接觸段連接，接觸段與懸臂段具有夾角，每一個(gè)探針列的探針具有等長的接觸段。其中，每一個(gè)探針列的多個(gè)探針在所述第一方向的夾角大小由第一側(cè)朝第二側(cè)逐漸增加。
【專利說明】探針模塊
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及探針結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種具有多層且角度變化的探針配置的探針模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶片進(jìn)行測試時(shí)，測試機(jī)必須通過探針卡(probe card)接觸待測物(device under test，DUT),例如:晶片，并通過信號(hào)傳輸以及電性信號(hào)分析，以獲得待測物的測試結(jié)果。探針卡通常包含若干個(gè)尺寸精密的探針相互排列而成，每一個(gè)探針通常會(huì)對(duì)應(yīng)晶片上特定的電性接點(diǎn)，當(dāng)探針接觸待測物上的對(duì)應(yīng)電性接點(diǎn)時(shí)，可以確實(shí)傳遞來自測試機(jī)的測試信號(hào)；同時(shí)，配合探針卡及測試機(jī)的控制與分析程序，達(dá)到測量待測物的電性特征的目的。
[0003]然而，隨著電子元件越來越精密，其尺寸越做越小使得晶片的電性接點(diǎn)密度越來越高，因此探針的密度與層數(shù)也隨之增加。請(qǐng)參閱圖1A與圖1B所示，其分別為現(xiàn)有技術(shù)的探針模塊所具有的多層探針結(jié)構(gòu)示意圖。在圖1A中，晶片100上具有電性接點(diǎn)IOOa與100b，探針模塊具有第一探針列以及第二探針列。其中第一探針列具有多個(gè)探針(12-1，12-2)，而第二探針列也具有多個(gè)探針(12-3，12_4)，每一個(gè)探針以端部12b與電性接點(diǎn)IOOa與IOOb接觸。每一個(gè)探針的懸臂段12d與接觸段12e具有夾角，其中對(duì)于同一列的探針而言，如:第二探針列，探針12-3的夾角Θ i小于探針12-4的夾角θ2;以及第一探針列，探針12-1的夾角Θ i小于探針12-2的夾角Θ 2。此外，對(duì)于不同列且相對(duì)應(yīng)的探針而言，其夾角相同，例如:第一列的探針12-1的夾角與第二列的探針12-3的夾角皆為Θ I ；第一列的探針12-2的夾角與第二列的探針12-4的夾角皆為θ2。另外，在圖川中，每一個(gè)探針的夾角都相同，但每一列探針的接觸段其長度不同。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型提供一種探針模塊，其具有多層的探針列結(jié)構(gòu)，通過每一列的探針具有相同長度的接觸段結(jié)構(gòu)以及不同列的相對(duì)應(yīng)探針具有不同的彎折角度，以對(duì)具有高密度與小間距(Pitch)電性接點(diǎn)分布的晶片進(jìn)行電性檢測。
[0005]在一實(shí)施例中，本實(shí)用新型提供一種探針模塊，包括有基材以及至少四個(gè)探針列?；?，其具有通孔。至少四個(gè)探針列，其分別固設(shè)在基材上，多個(gè)探針列在第一方向由第一側(cè)向第二側(cè)排列，每一個(gè)探針列具有朝第二方向排列的至少兩個(gè)探針，每一個(gè)探針分別具有接觸段以及懸臂段，懸臂段的一端連接在基材上而另一端向通孔方向延伸而與接觸段連接，接觸段與懸臂段具有夾角，每一個(gè)探針列的探針具有等長的接觸段。其中，每一個(gè)探針列的多個(gè)探針在第一方向的夾角大小由第一側(cè)朝向第二側(cè)逐漸增加。
[0006]在另一實(shí)施例中，本實(shí)用新型還提供一種探針模塊，包括:基材以及至少四個(gè)第一探針列?；?，其具有通孔。至少四個(gè)第一探針列，其分別固設(shè)在基材上，多個(gè)第一探針列在第一方向由第一側(cè)向第二側(cè)排列，每一個(gè)第一探針列具有朝第二方向排列的至少兩個(gè)探針，其中至少兩個(gè)第一探針列的探針數(shù)不相同，每一個(gè)探針分別具有接觸段以及懸臂段，懸臂段的一端連接在基材上而另一端向通孔方向延伸而與接觸段連接，接觸段與懸臂段具有夾角，每一個(gè)探針列的探針具有等長的接觸段。其中，對(duì)兩個(gè)相鄰的第一探針列而言，靠近第一側(cè)的第一探針列所具有最大夾角的探針的夾角小于等于靠近第二側(cè)的第一探針列所具有最小夾角的探針的夾角，使得相鄰每一個(gè)第一探針列的多個(gè)探針在所述第二方向的夾角大小由第一側(cè)朝向第二側(cè)逐漸增加。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1A與圖1B分別為現(xiàn)有技術(shù)的探針模塊所具有的多層探針結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2為本實(shí)用新型的探針模塊實(shí)施例側(cè)視與局部剖面示意圖。
[0009]圖3為圖2中局部區(qū)域3放大的立體示意圖。
[0010]圖4為本實(shí)用新型各探針列相互對(duì)應(yīng)的探針組中各探針的夾角關(guān)系示意圖。
[0011]圖5A與圖5B為探針的接觸段長度誤差示意圖。
[0012]圖6為本實(shí)用新型的探針布設(shè)另一實(shí)施例示意圖。
[0013]圖7A與圖7B為本實(shí)用新型的探針布設(shè)又一實(shí)施例示意圖。
[0014]圖8為本實(shí)用新型的非對(duì)稱探針布設(shè)位置實(shí)施例示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]由于本實(shí)用新型公開一種探針卡所使用的探針模塊，用于半導(dǎo)體或光電的測試，其中探針卡及探針的使用原理與基本功能，已為相關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】具有通常知識(shí)的人員所能明了，故以下文中的說明，不再作完整描述。同時(shí)，以下文中所對(duì)照的附圖，表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的結(jié)構(gòu)示意，并未亦不需要依據(jù)實(shí)際尺寸完整繪制，合先述明。
[0016]請(qǐng)參閱圖2所示，為本實(shí)用新型提出的實(shí)施例探針模塊側(cè)視與局部剖面示意圖。探針模塊2包括有基材20以及四個(gè)探針列21?24，其分別固設(shè)在基材20上?；?0上具有通孔200，通孔200具有邊緣201，基材20具有外圍結(jié)構(gòu)202。在本實(shí)施例中，四個(gè)探針列21?24固設(shè)在通孔200的邊緣201側(cè)與基材20的外圍結(jié)構(gòu)202間，但不以此為限制。為了強(qiáng)化固持探針列21?24，在基材20上還具有固持件26，以固持探針列21?24。另夕卜，要說明的是，固持件26以后的探針針端部分，會(huì)根據(jù)基材20所具有的電性接點(diǎn)布局做焊接，不一定會(huì)如圖2所示的一致性的排列，因此探針尾端連接在基材20上的位置根據(jù)需求而定，并不以圖2所示的形式為限制。
[0017]請(qǐng)參閱圖3所示，為圖2中局部區(qū)域3放大的立體示意圖。探針列21-24的探針與待測晶片9上的電性接點(diǎn)90電性接觸，以檢測待測晶片9的電性特征，其中，對(duì)于同一列的電性接點(diǎn)而言，相鄰的電性接點(diǎn)90的節(jié)距(pitch) d小于等于40 μ m。在本實(shí)施例中，多個(gè)探針列21-24沿第一方向X由第一側(cè)91朝向第二側(cè)92排列，每一個(gè)探針列21-24在第二方向Y上具有多個(gè)探針，其中至少兩個(gè)探針為一個(gè)探針組，每一個(gè)探針列具有多個(gè)探針組，前述的排列方式是以各探針的針尖(接觸段250)作為排列的標(biāo)準(zhǔn)，探針的針尖是指探針與待測晶片9上的電性接點(diǎn)90接觸的部分。在本實(shí)施例中，第一方向X上的第一側(cè)91為基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)，第二側(cè)92為通孔200的邊緣201側(cè)。在本實(shí)施例中，每一個(gè)探針列21?24在第二方向Y上具有數(shù)量相同且在第一方向X上相互對(duì)應(yīng)的多個(gè)探針組210a?240a。例如，對(duì)于探針列21其在Y方向上有多個(gè)探針組210a~210η ;探針列22其在Y方向上有多個(gè)探針組220a~220η ;探針列23其在Y方向上有多個(gè)探針組230a~230η ;以及探針列24其在Y方向上有多個(gè)探針組240a~240η。此外，每一個(gè)探針組210a~210η、220a~220n、230a~230η以及240a~240η在X方向?yàn)橄嗷?duì)應(yīng)排列；例如:探針列21~24所具有的第一組探針組210a、220a、230a與240a在X方向?yàn)橄嗷?duì)應(yīng)排列，其他以此類推。
[0018]在本實(shí)施例中，每一個(gè)探針組包括有第一探針25a與第二探針25b，每一個(gè)探針列21~24相互對(duì)應(yīng)的探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230η以及240a~240η)所具有的第一探針25a與第二探針25b分別在第一方向X相互對(duì)應(yīng)與對(duì)齊。請(qǐng)參閱圖3與圖4所示，每一個(gè)第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段250以及懸臂段251，懸臂段251的一端連接在基材20上而另一端朝向通孔200方向延伸而與接觸段250相互連接，接觸段250與懸臂段251具有夾角，每一個(gè)探針列21~24的第一探針25a與第二探針25b具有等長的接觸段250。例如:探針列21中每一個(gè)探針組210a~210η所具有的第一探針25a與第二探針25b中的接觸段250的長度相等，其他探針列22~24亦同，要說明的是本實(shí)用新型中所謂長度相等可以容許有高度差，例如:圖5A所示，對(duì)于同一探針組而言其第一與第二探針25a與25b的接觸段250具有高度差Λ d，其高度差Λ d的絕對(duì)值大于等于O小于等于I密耳(mil，千分之一英寸)。
[0019]再回到圖3與圖4所示，雖然本實(shí)施例中，每一個(gè)探針組(210a~210n、220a~220n,230a~230η以及240a~240η)內(nèi)所具有的探針為兩個(gè)，但在其他實(shí)施例中，每一個(gè)探針組內(nèi)所具有的探針亦可以為3個(gè)以上。如圖5Β所示，如果每一個(gè)探針組三個(gè)以上的探針，以三個(gè)探針，如第一、第二與第三探針25a~25c為例,任兩個(gè)探針的高度的差的絕對(duì)值小于等于I密耳。例如:
[0020]I ha-hb I ^ Imil ；
[0021]I ha-hc I ^ Imil ;以及
[0022]I hb-hc I ^ ImiI。
[0023]再回到圖3與圖4所示，本實(shí)用新型所謂夾角的定義為接觸段250的中心線與懸臂段251的中心線的夾角。而在本實(shí)施例中，相鄰探針的接觸段250的中心線之間的距離小于等于40 μ m。
[0024]本實(shí)用新型布設(shè)探針?biāo)哂械慕佑|段250以及懸臂段251所具有的夾角的特征在于每一個(gè)探針列21~24相對(duì)應(yīng)的探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230η以及240a~240η)所具有的在第一方向X相對(duì)應(yīng)的第一探針25a與第二探針25b的夾角大小由基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)向通孔200的邊緣201側(cè)逐漸增加。以圖3中的探針組210a、220a、230a以及240a為例，參考圖4來說明。在圖4中，每一個(gè)探針列21~24所具有的探針組210a、220a、230a以及240a分別具有第一探針25a與第二探針25b。其中，對(duì)每一探針組210a、220a、230a以及240a中的第一探針25a與第二探針25b在第二方向Y上的位置相互對(duì)應(yīng)，而探針組210a的第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角Θ i以及Θ 2 ;探針組220a的第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角Θ 3以及Θ 4 ;探針組230a的第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角Θ 5以及Θ 6 ;以及探針組240a的第一探針25a與第二探針25b分別具有夾角θ7以及θ8。在本實(shí)施例中，對(duì)于各組相對(duì)應(yīng)的第一探針25a與第二探針25b所具有的夾角關(guān)系為:θ Z θ 2〈 θ 3〈 θ 4〈 θ 5〈 θ 6〈 θ 7〈 θ 8，亦即由基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)朝向通孔200的邊緣201側(cè)逐漸增加。也可以是說，第二探針列最小夾角的探針的角度θ3大于第一探針列最大夾角的探針的角度θ2，以此類推。此外，如圖3所示，第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段長為T1以及T2 ;探針組220a的第一探針25a與第二探針25b分別具接觸段長為T3以及T4 ;探針組230a的第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段長為T5以及T6 ；以及探針組240a的第一探針25a與第二探針25b分別具有接觸段長為T7以及T8，其中T7=T8XT5=T6XT3=T4XT1=T2t5以圖3與圖4來說明，在本實(shí)施例中，每一個(gè)探針列21~24具有第一探針列及第二探針列，第一探針列及第二探針列鄰接，第二探針列探針的接觸段大于第一探針列探針的接觸段，例如:第一探針列為探針列21，第二探針列則為探針列22，探針列22的接觸段T3以及T4大于探針列21的接觸段T1以及T2。在此要特別說明的是，第二探針列22探針組的探針數(shù)目不等于第一探針列21探針組的探針數(shù)目。
[0025]此外，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，每一個(gè)探針列21~24所具有相對(duì)應(yīng)的探針組(210a~210n、220a~220n、230a~230η以及240a~240η)中的第一探針25a的夾角小于第二探針25b的夾角，最靠近通孔200的邊緣201的探針列所具有的每一個(gè)探針組中所具有的第一探針25a的夾角與第二探針25b的夾角的角度差絕對(duì)值為大于等于2度。參閱圖3與圖4來說明，在本實(shí)施例中，最靠近通孔200的邊緣201為探針列24 ;且探針列24中所具有的每一個(gè)探針組240a~240η中的第一探針25a的夾角θ 7與第二探針25b的夾角θ 8的角度差的絕對(duì)值為:| θ 8- θ 7|≥2°。[0026]最靠近通孔200的邊緣201側(cè)的探針列所具有的每一個(gè)探針組中所具有的第一探針25a的夾角與第二探針25b的夾角的角度差大于等于最靠近基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)的探針列的對(duì)應(yīng)探針組中所具有的第一探針25a的夾角與第二探針25b的夾角的角度差。同樣參閱圖3與圖4來說明，在本實(shí)施例中，最靠近通孔200的邊緣201側(cè)為探針列24，其所具有的每一個(gè)探針組240a~240η中所具有的第一探針25a的夾角θ 7與第二探針25b的夾角θ 8的角度差的絕對(duì)值大于等于最靠近基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)的探針列21的對(duì)應(yīng)探針組210a~210η中所具有的第一探針25a的夾角θ:與第二探針25b的夾角θ 2的角度差的絕對(duì)值，亦即I θ8-θ7|≥I θ 2- θ: 10
[0027]此外，本實(shí)用新型的探針?biāo)哂袏A角的另一特征為，在通孔200的邊緣201側(cè)的探針列的每一個(gè)探針組所具有的第一探針的夾角與相鄰的探針列所具有的對(duì)應(yīng)探針組內(nèi)的第二探針的夾角的角度差為大于等于I度。以圖3與圖4來說明，在本實(shí)施例中，通孔200的邊緣201側(cè)為探針列24，以探針組240a為例，其所具有的第一探針25a的夾角θ 7與相鄰的探針列23中對(duì)應(yīng)的探針組230a中的第二探針25b的夾角θ 6的夾角的角度差的絕對(duì)值為大于等于I度，亦即I θ7-θ6|≥1°。
[0028]在本實(shí)施例中，承續(xù)前述的角度差特征，最靠近通孔200的邊緣201側(cè)的探針列的每一個(gè)探針組所具有的第一探針的夾角與其相鄰的探針列所具有的對(duì)應(yīng)探針組內(nèi)的第二探針的夾角的角度差的絕對(duì)值大于等于最靠近基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)的探針列的相對(duì)應(yīng)探針組中所具有的第二探針的夾角與其相鄰的探針列所具有的對(duì)應(yīng)探針組內(nèi)的第一探針的夾角的角度差的絕對(duì)值。同樣以圖3與圖4來說明，在本實(shí)施例中，通孔200的邊緣201側(cè)為探針列24，以探針組240a為例，其所具有的第一探針25a的夾角θ 7與相鄰的探針列23中對(duì)應(yīng)的探針組230a中的第二探針25b的夾角θ 6的夾角的角度差的絕對(duì)值為丨θ 7- θ 6| ;最靠近基材20的外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)的探針列21的相對(duì)應(yīng)探針組210a中所具有的第二探針25b的夾角θ 2與其相鄰的探針列22所具有的對(duì)應(yīng)探針組220a內(nèi)的第一探針25a 的夾角 θ 3 的角度差為 丨θ 3_ θ 2丨 ,又 丨θ 7- θ 6丨≥丨 θ 3- θ 2丨。
[0029]又前述關(guān)系中的探針?biāo)哂械膴A角編號(hào)θ n的編排方式，說明如下，請(qǐng)參照?qǐng)D3與圖4所示，由最靠近基板20外圍結(jié)構(gòu)202側(cè)的探針組開始，由靠進(jìn)第一方向X原點(diǎn)O側(cè)的探針開始先沿第二方向Y依序給予編號(hào)，探針組的所有探針都給予夾角編號(hào)后，再沿第一方向X換下一探針組，再沿第二方向Y依序給予編號(hào)，如此依序至完成所有相對(duì)應(yīng)探針組內(nèi)所具有的探針的夾角編號(hào)Q1N θη。綜合上述的角度特征，可以歸納出如下的關(guān)系:
【權(quán)利要求】
1. 一種探針模塊，其特征在于，包括: 一基材，其具有一通孔； 至少四個(gè)探針列，其分別設(shè)置在所述基材上，所述這些探針列在一第一方向由一第一側(cè)向一第二側(cè)排列，每一個(gè)探針列具有朝一第二方向排列的至少兩個(gè)探針，每一個(gè)探針分別具有一接觸段以及一懸臂段，所述懸臂段的一端連接在所述基材上而另一端向所述通孔方向延伸而與所述接觸段連接，所述接觸段與所述懸臂段具有一夾角，每一個(gè)探針列的探針具有等長的接觸段； 其中，每一個(gè)探針列的所述這些探針在所述第一方向的夾角大小由所述第一側(cè)朝所述第二側(cè)逐漸增加。
2.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，所述每一個(gè)探針列的探針在所述第二方向相互對(duì)齊排列。
3.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，所述每一個(gè)探針列具有一第一探針以及一第二探針，其中所述每一個(gè)探針列的第一探針的夾角小于所述第二探針的夾角，所述第一探針與所述第二探針鄰接，所述第一探針的夾角與所述第二探針的夾角的角度差絕對(duì)值為大于等于2度。
4.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，所述至少兩個(gè)探針為一個(gè)探針組，每一個(gè)探針列具有多個(gè)探針組。
5.如權(quán)利要求4所述的探針模塊，其特征在于，所述至少四個(gè)探針列具有一第一探針列及一第二探針列，所述第一探針列及第二探針列鄰接，所述第二探針列探針的接觸段大于所述第一探針列探針的接觸段。
6.如權(quán)利要求5所述的探針模塊，其特征在于，所述第二探針列最小夾角的探針的角度大于所述第一探針列最大夾角的探針的角度。
7.如權(quán)利要求6所述的探針模塊，其特征在于，所述第二探針列最小夾角的探針及所述第一探針列最大夾角的探針的角度差絕對(duì)值為大于等于I度。
8.如權(quán)利要求5所述的探針模塊，其特征在于，所述第二探針列探針組的探針數(shù)目不等于所述第一探針列探針組的探針數(shù)目。
9.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，相鄰探針的接觸段的中心線距離小于等于40 μ m。
10.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，所述等長的接觸段的誤差范圍大于等于O小于等于I密耳。
11.如權(quán)利要求4所述的探針模塊，其特征在于，還包括有一第五探針列，其設(shè)置在所述通孔的邊緣與最靠近所述通孔的邊緣的探針列之間，所述第五探針列具有多個(gè)第三探針，每一個(gè)第三探針分別對(duì)應(yīng)其中的一個(gè)探針組。
12.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，所述探針列的列數(shù)小于等于9。
13.如權(quán)利要求3所述的探針模塊，其特征在于，其中最靠近所述第二側(cè)的探針列的第一探針的夾角與其相鄰的第二探針的夾角的角度差絕對(duì)值大于等于最靠近所述第一側(cè)的探針列的第一探針的夾角與其相鄰的第二探針的夾角的角度差絕對(duì)值。
14.如權(quán)利要求1所述的探針模塊，其特征在于，其中靠近所述第一方向第二側(cè)的探針列所具有最小夾角的探針的夾角與靠近第一方向第一側(cè)的探針列所具有最大夾角的探針的夾角的角度差絕對(duì)值小于等于第一方向最后一列探針列所具有最小夾角的探針的夾角與其前一列的探針列所具有最大夾角的探針的夾角的角度差絕對(duì)值。
15.一種探針模塊，其特征在于，包括: 一基材，其具有一通孔； 至少四個(gè)第一探針列，其分別固設(shè)在所述基材上，所述這些第一探針列在一第一方向由一第一側(cè)向一第二側(cè)排列，每一個(gè)第一探針列具有朝一第二方向排列的至少兩個(gè)探針，其中至少兩個(gè)第一探針列的探針數(shù)不相同，每一個(gè)探針分別具有一接觸段以及一懸臂段，所述懸臂段的一端連接在所述基材上而另一端向所述通孔方向延伸而與所述接觸段連接，所述接觸段與所述懸臂段具有一夾角，每一個(gè)探針列的探針具有等長的接觸段； 其中，對(duì)兩相鄰的第一探針列而言，靠近所述第一側(cè)的第一探針列所具有最大夾角的探針的夾角小于靠近所述第二側(cè)的第一探針列所具有最小夾角的探針的夾角。
16.如權(quán)利要求15所述的探針模塊，其特征在于，所述每一個(gè)第一探針列在所述第二方向排列的探針，其夾角在所述第二方向由一第一側(cè)向一第二側(cè)漸增。
17.如權(quán)利要求15所述的探針模塊，其特征在于，所述每一個(gè)第一探針列相鄰兩探針的夾角角度差絕對(duì)值為大于等于2度。
18.如權(quán)利要求15所述的探針模塊，其特征在于，其中靠近所述第一側(cè)的第一探針列所具有最大夾角的探 針的夾角與靠近所述第二側(cè)的第一探針列所具有最小夾角的探針的夾角角度差絕對(duì)值為大于等于I度。
19.如權(quán)利要求15所述的探針模塊，其特征在于，還包括有至少一個(gè)第二探針列，每一個(gè)第二探針列具有一探針，其中兩相鄰的第一探針列與第二探針列之間靠近所述第一側(cè)的第一探針列所具有最大夾角的探針的夾角與靠近所述第二側(cè)的第二探針列的探針?biāo)哂械膴A角角度差絕對(duì)值為大于等于I度。
20.如權(quán)利要求19所述的探針模塊，其特征在于，其中在所述第一方向上，相鄰的兩個(gè)第二探針列所具有的探針在靠近所述第一側(cè)的探針夾角小于靠近所述第二側(cè)的探針夾角。
【文檔編號(hào)】G01R1/073GK203720216SQ201420009722
【公開日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年1月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月21日
【發(fā)明者】張嘉泰 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司