一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標(biāo)記的標(biāo)記板，通過所述影像儀探測(cè)得所述定位標(biāo)記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標(biāo)記板。本實(shí)用新型能夠在有限的空間內(nèi)，簡單實(shí)現(xiàn)標(biāo)記板的定位要求，降低標(biāo)記板的定位成本，提高定位精度。
【專利說明】一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型微電子光刻設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在微電子光刻設(shè)備制造領(lǐng)域，對(duì)準(zhǔn)和調(diào)焦調(diào)平傳感器裝置在制造集成過程中，應(yīng)用到一種對(duì)準(zhǔn)和調(diào)焦調(diào)平的模擬硅片基準(zhǔn)板，該板通過微納加工，在其表面刻有高精度對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和對(duì)準(zhǔn)圖案；上述傳感器在集成裝配過程中使用該標(biāo)記板進(jìn)行零部件的精確定位和裝配，其中標(biāo)記板安裝定位的精度直接影響傳感器集成后的測(cè)量精度，為此必須對(duì)該標(biāo)記板進(jìn)行精確定位。
[0003]在傳感器集成過程中，需要建立該標(biāo)記板上標(biāo)記中心到傳感器安裝載體接口之間的對(duì)應(yīng)坐標(biāo)關(guān)系，一般標(biāo)記板的材料選用低膨脹系數(shù)的熔石英作為基底材料，其上鍍有鋁膜或鉻金屬膜，加工精細(xì)標(biāo)記圖案，完成標(biāo)記刻蝕后，進(jìn)行標(biāo)記板的定位切割，最終交付成品使用。一般傳感器的工作距都較小，測(cè)量過程中就要求標(biāo)記板和機(jī)械載體之間的空間有限，需要在有限空間布置標(biāo)記板的位置?，F(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)準(zhǔn)傳感器采用衍射光柵標(biāo)記，調(diào)焦調(diào)平傳感器采用方形光斑對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在集成過程中標(biāo)記板I與傳感器載體2的位置關(guān)系如圖1a和Ib所示，即將切割后的標(biāo)記板I裝在傳感器載體2上，并利用標(biāo)記板I上的十字標(biāo)記3進(jìn)行位置標(biāo)定和調(diào)整，具體請(qǐng)參考圖2，標(biāo)記的精度通過銷4或者凸緣面定位安裝傳遞到傳感器載體2的接口處，作為傳感器集成過程中定位基準(zhǔn)，該方式只能夠滿足低精度標(biāo)記板定位方式。其安裝過程中精度不高的原因主要存在以下尺寸鏈環(huán)節(jié):1.標(biāo)記板I的標(biāo)記刻蝕精度很高，但因玻璃材料切割加工困難，板最終的外形尺寸切割精度不高；2.傳感器載體2接口處自身加工精度容易出現(xiàn)偏差；綜上所述，現(xiàn)有安裝過程中，標(biāo)記板I定位精度受到加工精度影響，要想提高定位精度，加工成本會(huì)很高。另外一種定位安裝方式是通過修磨標(biāo)記板I和傳感器載體2之間的轉(zhuǎn)接板，實(shí)現(xiàn)定位方式，該安裝方式精度會(huì)提高，但修磨費(fèi)時(shí)，一般使用加工中心進(jìn)行六自由度的精銑，制造成本高，同時(shí)重復(fù)定位引入誤差。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型提供一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，以降低標(biāo)記板定位成本，提高標(biāo)記板的定位精度。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標(biāo)記的標(biāo)記板，通過所述影像儀探測(cè)得所述定位標(biāo)記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標(biāo)記板。
[0006]較佳地，所述固定裝置包括支撐架，所述支撐架上固定有X向定位模塊、Y向定位模塊以及Z向定位模塊，其中，
[0007]所述標(biāo)記板放置于所述支撐架上；
[0008]所述X向定位模塊包括X向頂出單元和第一壓簧，所述X向頂出單元沿所述標(biāo)記板的X向設(shè)置，所述第一壓簧與所述X向頂出單元相對(duì)設(shè)置；[0009]所述Y向定位模塊包括Y向頂出單元和第二壓簧，所述Y向頂出單元沿所述標(biāo)記板的Y向設(shè)置，所述第二壓簧與所述Y向頂出單元相對(duì)設(shè)置；
[0010]所述Z向定位模塊包括Z向頂出單元和第三壓簧，所述Z向頂出單元沿所述標(biāo)記板的Z向設(shè)置，所述第三壓簧與所述Z向頂出單元相對(duì)設(shè)置。
[0011]較佳地,所述X/Y向頂出單元包括相應(yīng)向頂塊、相應(yīng)向支架以及相應(yīng)向微分頭,所述相應(yīng)向支架固定于所述支撐架上，所述相應(yīng)向微分頭的定端固定于所述相應(yīng)向支架上，動(dòng)端與所述相應(yīng)向頂塊固定連接，所述相應(yīng)向頂塊與所述標(biāo)記板相接觸。
[0012]較佳地，所述X/Y向頂出單元還包括相應(yīng)向鎖緊螺釘，所述相應(yīng)向鎖緊螺釘安裝于所述相應(yīng)向頂塊上。
[0013]較佳地，所述X向頂出單元為兩組，兩組X向頂出單元分設(shè)于標(biāo)記板的兩角處。
[0014]較佳地，所述第一壓簧通過所述第一壓簧支架固定于所述支撐架上；所述第二壓簧通過所述第二壓簧支架固定于所述支撐架上。
[0015]較佳地，所述第三壓簧固定于所述Y向支架和/或第二壓簧支架上。
[0016]較佳地，所述Z向頂出單元包括調(diào)整螺釘以及Z向鎖緊螺釘，所述調(diào)整螺釘安裝于所述支撐架上且與所述標(biāo)記板接觸，所述Z向鎖緊螺釘安裝于所述調(diào)整螺釘上。
[0017]較佳地，所述調(diào)整螺釘采用球頭銷。
[0018]較佳地，所述Z向頂出單元至少為三組，Z向頂出單元分布于所述標(biāo)記板的底面。
[0019]較佳地，所述標(biāo)記板的定位標(biāo)記分為中間區(qū)域刻的測(cè)量標(biāo)記和在所述標(biāo)記板四周刻的十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
[0020]較佳地，與橫切割邊相近的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線垂直于與豎切割邊相近的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線。
[0021]較佳地，上下對(duì)應(yīng)的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線垂直于左右對(duì)應(yīng)的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線。
[0022]較佳地，所述影像儀探測(cè)得所述測(cè)量標(biāo)記和所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息。
[0023]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標(biāo)記的標(biāo)記板，通過所述影像儀探測(cè)得所述定位標(biāo)記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標(biāo)記板。本實(shí)用新型能夠在有限的空間內(nèi)，簡單實(shí)現(xiàn)標(biāo)記板的定位要求,降低標(biāo)記板的定位成本,提高定位精度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1a?Ib為現(xiàn)有技術(shù)中標(biāo)記板與傳感器載體的位置關(guān)系示意圖；
[0025]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中標(biāo)記板的定位系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)安裝于傳感器載體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖4為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖5為本實(shí)用新型一【具體實(shí)施方式】的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)中標(biāo)記板的示意圖。
[0029]圖1a?2中:1-標(biāo)記板、2_傳感器載體、3_十字標(biāo)記、4_銷；
[0030]圖3?5中:10_支撐架、20-X向頂出單元、21-第一壓簧、22_X向頂塊、23_X向支架、24-X向微分頭、25-X向鎖緊螺釘、26-第一壓簧支架、30-Y向頂出單元、31-第二壓簧、32-Y向頂塊、33-Υ向支架、34-Υ向微分頭、35_Υ向鎖緊螺釘、36-第二壓簧支架、40-Ζ向頂出單元、41-第三壓簧、42-調(diào)整螺釘、43-Ζ向鎖緊螺釘、50-標(biāo)記板、51-測(cè)量標(biāo)記、52-十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記、53-切割邊。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加清晰易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說明。需說明的是，本實(shí)用新型附圖均采用簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0032]本實(shí)用新型提供的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，如圖3?5所示，包括固定裝置、影像儀(圖中未示出)和帶有定位標(biāo)記的標(biāo)記板50，通過所述影像儀探測(cè)得所述定位標(biāo)記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標(biāo)記板50。具體地，本實(shí)用新型先將標(biāo)記板50上的定位標(biāo)記與切割邊53進(jìn)行精確測(cè)量，在裝配過程中可以消除切割精度帶來的影響。測(cè)量時(shí)，通過將標(biāo)記板50放在影像儀上測(cè)量，通過投影光的反射或者透射方式尋找定位標(biāo)記和切割邊53的外緣，從而將定位標(biāo)記的定位轉(zhuǎn)移到標(biāo)記板50的機(jī)械邊緣；然后將標(biāo)記板50安裝在固定裝置上，對(duì)標(biāo)記板50進(jìn)行定位調(diào)整，調(diào)整的過程中，將載體安放在三座標(biāo)儀上，通過三座標(biāo)的探頭測(cè)量標(biāo)記板50外緣切割邊53到載體的接口之間的定位精度，該過程邊測(cè)邊調(diào)，直到達(dá)到要求的標(biāo)記定位精度。通過以上方式可以完成標(biāo)記到載體機(jī)械基準(zhǔn)的定位精度，該精度的高低取決于影像儀和三座標(biāo)的測(cè)量精度，操作簡單，成本低廉。
[0033]較佳地，所述固定裝置包括支撐架10，所述支撐架10上固定有X向定位模塊、Y向定位模塊以及Z向定位模塊，其中，
[0034]所述標(biāo)記板50放置于所述支撐架10上，所述X向定位模塊、Y向定位模塊以及Z向定位模塊均用于調(diào)節(jié)所述標(biāo)記板50在所述支撐架10上的位置；
[0035]具體地，所述X向定位模塊包括X向頂出單元20和第一壓簧21，所述X向頂出單元20沿所述標(biāo)記板50的X向設(shè)置，所述第一壓簧21與所述X向頂出單元20相對(duì)設(shè)置；
[0036]所述Y向定位模塊包括Y向頂出單元30和第二壓簧31，所述Y向頂出單元30沿所述標(biāo)記板50的Y向設(shè)置，所述第二壓簧31與所述Y向頂出單元30相對(duì)設(shè)置；
[0037]所述Z向定位模塊包括Z向頂出單元40和第三壓簧41，所述Z向頂出單元40沿所述標(biāo)記板50的Z向設(shè)置，所述第三壓簧41與所述Z向頂出單元40相對(duì)設(shè)置。
[0038]換句話說，所述X向頂出單元20和第一壓簧21分設(shè)于所述標(biāo)記板50沿圖中X方向的兩側(cè)，調(diào)整所述標(biāo)記板50在X方向上的位置；所述Y向頂出單元30和第二壓簧31分設(shè)于所述標(biāo)記板50沿圖中Y方向的兩側(cè)，調(diào)整所述標(biāo)記板50在Y方向上的位置；所述Z向頂出單元40和第三壓簧41分設(shè)于所述標(biāo)記板50沿圖中Z方向的兩側(cè)，調(diào)整所述標(biāo)記板50在Z方向上的位置，這樣，即可完成標(biāo)記板50在6個(gè)自由度內(nèi)的精度調(diào)整。
[0039]較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3和圖4，所述X向頂出單元20包括X向頂塊22、X向支架23以及X向微分頭24，所述X向支架23固定于所述支撐架10上，所述X向微分頭24的定端固定于所述X向支架23上，動(dòng)端與所述X向頂塊22固定連接，所述X向頂塊22與所述標(biāo)記板50相接觸。具體地，通過調(diào)節(jié)所述X向微分頭24，從而推動(dòng)所述X向頂塊22，進(jìn)而對(duì)所述標(biāo)記板50的位置進(jìn)行調(diào)整，此時(shí)，所述第一壓簧21在整個(gè)調(diào)整過程中為標(biāo)記板50提供回復(fù)力。較佳地，所述X向頂出單元20還包括X向鎖緊螺釘25，所述X向鎖緊螺釘25安裝于所述X向頂塊22上，當(dāng)位置調(diào)整完成后，利用所述X向鎖緊螺釘25將所述X向頂塊22與所述支撐架10的相對(duì)位置固定，確保標(biāo)記板50重復(fù)定位時(shí)位置不變。
[0040]較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3和圖4，所述X向頂出單元20為兩組，兩組X向頂出單元20分設(shè)于標(biāo)記板50的兩角處，分別對(duì)兩組X向頂出單元20進(jìn)行調(diào)節(jié)，即可完成標(biāo)記板50在Rz (繞Z向旋轉(zhuǎn))方向的位置調(diào)整。
[0041]較佳地，請(qǐng)重點(diǎn)參考圖3，所述Y向頂出單元30包括Y向頂塊32、Y向支架33以及Y向微分頭34,所述Y向支架33固定于所述支撐架10上,所述Y向微分頭34的定端固定于所述Y向支架33上，動(dòng)端與所述Y向頂塊32固定連接，所述Y向頂塊32與所述標(biāo)記板50相接觸。同理，可通過調(diào)節(jié)所述Y向微分頭34，從而推動(dòng)所述Y向頂塊32，進(jìn)而對(duì)所述標(biāo)記板50的位置進(jìn)行調(diào)整，此時(shí)，所述第二壓簧31在整個(gè)調(diào)整過程中為標(biāo)記板50提供回復(fù)力。較佳地，所述Y向頂出單元30還包括Y向鎖緊螺釘35，所述Y向鎖緊螺釘35安裝于所述Y向頂塊32上。同樣用于調(diào)整完成后，利用所述Y向鎖緊螺釘35將所述Y向頂塊32與所述支撐架10的相對(duì)位置固定，避免重復(fù)定位，提高效率。
[0042]較佳地，請(qǐng)重點(diǎn)參考圖3，所述第一壓簧21通過所述第一壓簧支架26固定于所述支撐架10上；所述第二壓簧31通過所述第二壓簧支架36固定于所述支撐架10上，所述第三壓簧41固定于所述Y向支架33和第二壓簧支架36上。
[0043]較佳地，請(qǐng)重點(diǎn)參考圖4，所述Z向頂出單元40包括調(diào)整螺釘42以及Z向鎖緊螺釘43，所述調(diào)整螺釘42安裝于所述支撐架10上且與所述標(biāo)記板50接觸，所述Z向鎖緊螺釘43安裝于所述調(diào)整螺釘42上。具體地，所述調(diào)整螺釘42采用球頭銷的形式，也就是說，所述調(diào)整螺釘42與所述標(biāo)記板50的接觸面處為球頭，定位導(dǎo)向處為銷配合，驅(qū)動(dòng)螺紋采用細(xì)牙螺距，以提高調(diào)整分辨率。較佳地，所述Z向頂出單元40至少為三組，本實(shí)施例中，三組Z向頂出單元40分布于所述標(biāo)記板50的底面。分別對(duì)所述三組Z向頂出單元40進(jìn)行調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)標(biāo)記板50的Z向調(diào)整(高度調(diào)整)以及傾斜調(diào)整。當(dāng)調(diào)整完成后，用所述Z向鎖緊螺釘43固定，避免后續(xù)動(dòng)作導(dǎo)致的誤差。
[0044]另外，本實(shí)施例中，所述X向微分頭24、Y向微分頭34以及調(diào)整螺釘42的分辨率均可達(dá)到微米精度，以確保調(diào)節(jié)的精度。
[0045]請(qǐng)重點(diǎn)參考圖5，本實(shí)用新型中的標(biāo)記板50的定位標(biāo)記分為中間區(qū)域刻的測(cè)量標(biāo)記51和在標(biāo)記板50的四周刻的十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記52，用于測(cè)量標(biāo)記板50切割邊53和測(cè)量標(biāo)記51的位置，所述影像儀探測(cè)得所述測(cè)量標(biāo)記51和所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記52的位置信息。由于十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記52和測(cè)量標(biāo)記51同時(shí)一次性制作，因此其定位精度比較高，但標(biāo)記板50切割精度不高，可以通過標(biāo)記板50上的十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記52建立測(cè)量標(biāo)記51的位置和旋轉(zhuǎn)方向。
[0046]具體地,請(qǐng)繼續(xù)參考圖5,所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記52共有8個(gè),從右上角順時(shí)針起依次為 52-a、52-b、52-c、52-d、52-e、52-f、52-g、52-h。其中 52_a 與 52_h 的連線垂直于 52_a 與52-d的連線，52-a與52-d的連線平行于52_b與52_c的連線。其他標(biāo)記所在位置皆有如此的幾何關(guān)系。測(cè)量標(biāo)記51到左切割邊的距離L0，可由測(cè)量標(biāo)記51到52-e與52_h連線的垂直距離LI加上該連線到左切割邊的距離L2來代替，即L0=L1+L2。
[0047]綜上所述，本實(shí)用新型提供的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀(圖中未示出)和帶有定位標(biāo)記的標(biāo)記板50，通過所述影像儀探測(cè)得所述定位標(biāo)記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標(biāo)記板50。本實(shí)用新型能夠在有限的空間內(nèi)，完成對(duì)標(biāo)記板50在6個(gè)自由度方向上的位置調(diào)節(jié)，且成本較低。
[0048]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標(biāo)記的標(biāo)記板，其特征在于，通過所述影像儀探測(cè)得所述定位標(biāo)記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標(biāo)記板。
2.如權(quán)利要求1所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述固定裝置包括支撐架，所述支撐架上固定有X向定位模塊、Y向定位模塊以及Z向定位模塊，其中， 所述標(biāo)記板放置于所述支撐架上； 所述X向定位模塊包括X向頂出單元和第一壓簧，所述X向頂出單元沿所述標(biāo)記板的X向設(shè)置，所述第一壓簧與所述X向頂出單元相對(duì)設(shè)置； 所述Y向定位模塊包括Y向頂出單元和第二壓簧，所述Y向頂出單元沿所述標(biāo)記板的Y向設(shè)置，所述第二壓簧與所述Y向頂出單元相對(duì)設(shè)置； 所述Z向定位模塊包括Z向頂出單元和第三壓簧，所述Z向頂出單元沿所述標(biāo)記板的Z向設(shè)置，所述第三壓簧與所述Z向頂出單元相對(duì)設(shè)置。
3.如權(quán)利要求2所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述X/Y向頂出單元包括相應(yīng)向頂塊、相應(yīng)向支架以及相應(yīng)向微分頭，所述相應(yīng)向支架固定于所述支撐架上，所述相應(yīng)向微分頭的定端固定于所述相應(yīng)向支架上，動(dòng)端與所述相應(yīng)向頂塊固定連接，所述相應(yīng)向頂塊與所述標(biāo)記板相接觸。
4.如權(quán)利要求3所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述X/Y向頂出單元還包括相應(yīng)向鎖緊螺釘，所述相應(yīng)向鎖緊螺釘安裝于所述相應(yīng)向頂塊上。
5.如權(quán)利要求3所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述X向頂出單元為兩組，兩組X向頂出單元分設(shè)于標(biāo)記板的兩角處。
6.如權(quán)利要求3所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述第一壓簧通過所述第一壓簧支架固定于所述支撐架上；所述第二壓簧通過所述第二壓簧支架固定于所述支撐架上。
7.如權(quán)利要求6所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述第三壓簧固定于所述Y向支架和/或第二壓簧支架上。
8.如權(quán)利要求2所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述Z向頂出單元包括調(diào)整螺釘以及Z向鎖緊螺釘，所述調(diào)整螺釘安裝于所述支撐架上且與所述標(biāo)記板接觸，所述Z向鎖緊螺釘安裝于所述調(diào)整螺釘上。
9.如權(quán)利要求8所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)整螺釘采用球頭銷。
10.如權(quán)利要求8所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述Z向頂出單元至少為三組，Z向頂出單元分布于所述標(biāo)記板的底面。
11.如權(quán)利要求1所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述標(biāo)記板的定位標(biāo)記分為在中間區(qū)域刻的測(cè)量標(biāo)記和在所述標(biāo)記板四周刻的十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
12.如權(quán)利要求11所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，與橫切割邊相近的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線垂直于與豎切割邊相近的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線。
13.如權(quán)利要求11所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，上下對(duì)應(yīng)的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線垂直于左右對(duì)應(yīng)的2個(gè)所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的連線。
14.如權(quán)利要求12或13所述的標(biāo)記板的定位系統(tǒng)，其特征在于，所述影像儀探測(cè)得所述測(cè)量標(biāo)記和所述十字對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK203720533SQ201420033952
【公開日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年1月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月20日
【發(fā)明者】程海林 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機(jī)械工程有限公司