一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，由一個分束器、一個動臂和一個靜臂組成；其特征在于所述動臂和靜臂為光路折疊結(jié)構(gòu)，且共享同一個固定的雙面平面反射鏡，此平面反射鏡的兩個反射面分別垂直反射動臂和靜臂的入射光束返回至分束器；所述靜臂光路插有補償板，以補償兩臂之間光程差。動臂光路的折疊結(jié)構(gòu)能夠很好地克服邁克爾遜干涉儀動鏡掃描中的光束傾斜和橫移問題，靜臂光路中插入補償板可以降低成像傅里葉變換光譜測量對面陣探測器動態(tài)范圍的高要求，兩臂光路的折疊和共用同一雙面平面反射鏡可以減小掃描干涉儀的體積。據(jù)其構(gòu)建的成像傅里葉變換光譜儀更為小型緊湊，可在物理、生物、化學、醫(yī)學、藥學、食品、環(huán)保、遙感、航天等多領域產(chǎn)生良好的應用效益。
【專利說明】一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置

【技術領域】
[0001] 本申請涉及一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置。

【背景技術】
[0002] 成像傅里葉變換光譜儀采用面陣探測器代替單點探測器，拓展了普通傅里葉變換 光譜儀的空間分辨能力，能夠?qū)Υ郎y目標的二維空間圖像信息和一維光譜信息同時獲取， 實現(xiàn)成像光譜（或稱光譜成像）測量。在恰當?shù)脑O計下，成像傅里葉變換光譜儀能夠很好的 繼承一般傅里葉變換光譜儀的若干光譜測量優(yōu)點，如：1多通道、2高光通量、3高光譜測量 精度、4寬測量波段、5高/可調(diào)諧光譜分辨率、6全波段分辨率一致。豐富的空間和光譜信 息獲取能力使得成像傅里葉變換光譜儀在物理、生物、化學、醫(yī)學、藥學、食品、環(huán)保、遙感、 航天等多個領域具有重要的應用價值。
[0003] 典型成像傅里葉變換光譜儀的核心是邁克爾遜干涉儀，其基本結(jié)構(gòu)及工作原理如 圖1所示。成像傅里葉變換光譜儀系統(tǒng)還包括光源、光收集系統(tǒng)、面陣探測器和主控計算機 等部分。待測目標發(fā)出的光經(jīng)光譜儀前端的光收集系統(tǒng)收集準直后進入邁克爾遜干涉儀， 干涉儀的分束器（半透半反鏡）將其平分為透射和反射兩個光束，一束射向動鏡，另一束射 向定鏡；兩束光分別被定鏡和動鏡反射后回到分束器重新相遇，經(jīng)分束器再次分束；在干 涉儀出射的兩路重合光束光程差小于光源相干長度條件下，二者產(chǎn)生干涉；出射干涉光束 經(jīng)筒鏡聚焦成像至面陣探測器；當動鏡在干涉儀兩臂零光程差附近作直線往復掃描時，計 算機控制探測器記錄一系列干涉圖像，該系列數(shù)字圖像相同像素位置處的數(shù)值構(gòu)成該處光 信號的離散干涉圖樣；根據(jù)傅里葉變換光譜技術原理，計算機對目標圖像所有像素位置的 干涉圖樣進行快速離散傅里葉變換處理，即可得到待測目標的數(shù)字圖像和像上所有像素處 的光譜，實現(xiàn)成像光譜測量。
[0004] 典型的邁克爾遜干涉儀是一種掃描干涉儀，其動鏡為平面反射鏡，在工作時由機 械致動器驅(qū)動做平行于光軸的直線往復掃描運動。但是任何機械驅(qū)動機制均無法保證動鏡 的絕對直線掃描，因此平面鏡在掃面過程中會產(chǎn)生傾斜，這將使平面鏡反射回的光束產(chǎn)生 更大的傾斜，以至無法與另一路參考光束保持光學平行，也即無法與其在分束器重新會和 時重合。由于傅里葉變換光譜儀的光譜分辨率與動鏡掃描光程成正比（掃描距離越長光 譜分辨率越高），因此當需要實現(xiàn)高光譜分辨率時，掃描距離的加長會導致這一傾斜更加嚴 重。動鏡傾斜不僅影響兩路光束在探測器上所成圖像的重合，導致像質(zhì)下降，而且會降低每 個像素處的干涉襯比度，甚至無法形成干涉，從而無法實現(xiàn)光譜測量。
[0005] 空心角錐回射器由三個相互垂直的反射面組成，其特點是入射光束在其內(nèi)部經(jīng)三 次反射后產(chǎn)生回射，回射光束與入射光束保持高度平行，因此具有出入射光束平行自補償 機制。利用空心角錐回射器作為邁克爾遜干涉儀動鏡，即使在掃描過程中產(chǎn)生微小的傾斜， 由于其自補償機制，可以有效地克服動鏡反射光束傾斜。但是，雖然空心角錐回射器可以保 證入射反射光束平行，卻會引入反射光束相對入射光束的橫移。由于筒鏡的不完美，這種橫 移會導致兩束光束經(jīng)其聚焦后的成像質(zhì)量下降甚至干涉消失，影響成像光譜測量。而且，由 于光束在角錐回射器內(nèi)部的三次反射，使得干涉儀動臂光程大大加長；根據(jù)傅里葉變換光 譜技術原理，為保證動鏡掃描范圍可以覆蓋干涉儀零光程差位置，參考臂光程也不得不相 應延長。這樣大大增加了以其為動鏡的掃描干涉儀所占用的空間，不利于據(jù)此構(gòu)建的成像 傅里葉變換光譜儀的小型化和緊湊化。
[0006] 另外，傳統(tǒng)的成像傅里葉變換光譜儀在測量中目標圖像的最亮像素和最暗像素處 所形成的干涉峰光強可能會跨越極大的范圍，這對面陣探測器的動態(tài)范圍提出了極為苛刻 的要求。若面陣探測器的像素動態(tài)范圍不夠大，則極易導致亮像素處干涉信號測量的飽和 或暗像素處干涉過于微弱而無法探測的后果。從而劣化光譜儀的光譜測量。
[0007] 鑒于上述問題，本發(fā)明中敘述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置采用 一種光路折疊的干涉儀動、靜臂結(jié)構(gòu)，能夠有效地克服邁克爾遜干涉儀動鏡掃描中的光束 傾斜和橫移問題，減小成像傅里葉變換光譜儀的整體體積使其更為小型緊湊，還可以降低 成像傅里葉變換光譜測量對面陣探測器動態(tài)范圍的高要求。
[0008] 本發(fā)明提出一種新型的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，包括一個分 束器，一個動臂和一個靜臂（參考臂），其特征在于所述動臂和靜臂共享同一個固定的雙面 平面反射鏡，此平面反射鏡的兩個反射面分別垂直反射動臂和靜臂的入射光束返回至分束 器；所述靜臂光路插有補償板，以補償兩臂之間光程差。其動臂由一個空心角錐回射器和一 個固定的雙面平面反射鏡組成光路折疊結(jié)構(gòu)，其中的空心角錐回射器由一個直線平移臺驅(qū) 動實現(xiàn)直線往復光程掃描，其靜臂由同一雙面平面反射鏡、一塊光程補償板和一個45°反 射鏡組成光路折疊結(jié)構(gòu)。動臂光路的折疊結(jié)構(gòu)能夠很好地克服邁克爾遜干涉儀動鏡掃描中 的光束傾斜和橫移問題，靜臂光路中插入補償板可以降低成像傅里葉變換光譜測量對面陣 探測器動態(tài)范圍的高要求，兩臂光路的折疊和共用同一雙面平面反射鏡可以減小掃描干涉 儀的體積，使據(jù)其構(gòu)建的成像傅里葉變換光譜儀更為小型緊湊。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] -種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，由一個分束器，一個動臂和一 個靜臂組成，靜臂也稱參考臂，其特征在于所述動臂和靜臂共享同一個固定的雙面平面反 射鏡，此平面反射鏡的兩個反射面分別垂直反射動臂和靜臂的入射光束返回至分束器；所 述靜臂光路插有補償板，以補償兩臂之間光程差。
[0010] 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所述分束器是非偏 振50 :50分光比型分束器，所述分束器位于成像傅里葉變換光譜儀光收集系統(tǒng)產(chǎn)生的準直 光路上，經(jīng)分束器分束的透射和反射光束互相垂直，干涉儀的入射光束與出射光束互相垂 直；所述分束器是常規(guī)的立方體分束器，或是一種45°平行四邊體分束器。
[0011] 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所述動臂由一個空 心角錐回射器、一個直線平移臺和一個固定的雙面平面反射鏡組成，所述空心角錐回射器 位于所述分束器的透射光路上，且錐角背向所述立體分束器，所述空心角錐回射器的直線 往復掃描運動由其所處的直線平移臺驅(qū)動，所述固定的雙面平面反射鏡的反射面垂直于所 述角錐回射器的回射光路。
[0012] 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所述靜臂由同一個 雙面平面反射鏡、一塊光程差補償板和一個45°反射鏡組成；所述45°反射鏡位于靜臂光 路上，其反射面與其入射光路成45°角；所述補償板的入射和出射面垂直于所述45°反射 鏡的反射光路，所述固定的雙面平面反射鏡反射面垂直于所述45°反射鏡的反射光路。
[0013] 一種45°平行四邊體分束器，其特征在于所述平行四邊體分束器為實心玻璃，兩 相鄰工作面所夾銳角為45°，一對相對的平行的工作面為分光面和反光面，另一對相對的 平行的工作面為光束出入射面；分光工作面加鍍多層介質(zhì)膜，反光工作面加鍍金屬膜，兩個 直邊出入射工作面加鍍增透膜。
[0014] 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所述45°反射鏡是 平面反射鏡，或是斜面鍍金屬膜的45°玻璃直角棱鏡；采用玻璃直角棱鏡作為45°反射鏡 可以起到補償板增加光程的作用，其出入射工作面加鍍增透膜。
[0015] 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所述雙面平面反射 鏡的兩個工作面平行，為雙面鍍金屬膜的玻璃平板，或單面鍍金屬膜的實心玻璃平板；采用 單面鍍金屬膜的玻璃平板作為反射鏡時，金屬鍍膜面朝向空心角錐反射器，另一面加鍍增 透膜，玻璃基板可以起到補償板增加光程的作用。
[0016] 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于從垂直于所述空心 角錐回射器口徑面上看進去，圓形口徑被對稱分成了大小相等的6個扇形區(qū)域；旋轉(zhuǎn)調(diào)整 所述空心角錐回射器，使其入射光束和出射光束處于所述6個扇形區(qū)域中一對對稱相對的 扇形區(qū)域內(nèi)。
[0017] 本發(fā)明的有益效果為：1)有效地克服邁克爾遜干涉儀動鏡掃描中的光束傾斜和 橫移問題，2)減小掃描干涉儀的整體體積，3)降低成像傅里葉變換光譜測量對面陣探測器 的動態(tài)范圍高要求。本發(fā)明十分利于成像傅里葉變換光譜儀的小型化、緊湊化以及成本降 低。據(jù)此實現(xiàn)的成像傅里葉變換光譜儀可在物理、生物、化學、醫(yī)學、藥學、食品、環(huán)保、遙感、 航天等多領域產(chǎn)生良好的應用效益。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018] 圖1為本發(fā)明【背景技術】中的成像傅里葉變換光譜儀結(jié)構(gòu)及工作原理示意圖
[0019] 圖2、圖3、圖4、圖5均為本發(fā)明【具體實施方式】中成像傅里葉變換光譜測量用掃描 干涉儀裝置的結(jié)構(gòu)示意圖
[0020] 圖6為圖2、圖3、圖4、圖5中3的P向結(jié)構(gòu)示意圖
[0021] 附圖標記說明：
[0022] 1、入射光束；2、立方體分束器；3、空心角錐回射器；4、直線平移臺；5、45°平面反 射鏡6、補償板7、雙面平面反射鏡8、出射光束9、單面金屬鍍膜補償板10、45°反射直角棱 鏡11、45°平行四邊體分束器12、回射器入射光束13、回射器回射光束。

【具體實施方式】
[0023] 為能清楚說明本方案的技術特點，下面結(jié)合附圖與【具體實施方式】，對本方案進行 闡述。
[0024] 圖2所示為本發(fā)明所述的一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置的俯 視圖：待測目標發(fā)出的光被成像傅里葉變換光譜儀前端的光收集系統(tǒng)收集、準直為入射光 束1，1進入光譜儀后射向立方體分束器2 ;經(jīng)過2的反射光束經(jīng)45°平面反射鏡5反射后 光路發(fā)生90°折疊射向補償板6,光束透射過6之后垂直入射雙面平面反射鏡7的一側(cè)反 射面，最后被固定不動的7垂直反射，沿入射光路原路返回至2 ;干涉儀的靜臂由2、5、6、7 組成。
[0025] 所述入射光束1經(jīng)過2的透射光束射向空心角錐回射器3,入射3的光束以一定 的橫移被3折疊回射，沿與入射光束180°的方向射向7的另一側(cè)反射面，最后被7垂直反 射，沿入射光路原路返回至2 ;其中，3可以沿入射光束平行方向由直線平移臺4驅(qū)動做直線 往復掃描運動；干涉儀的動臂由2、3和7組成。
[0026] 沿所述動臂和靜臂被原路反射回的兩光束在所述分束器2重新會合并被再次分 束；其中兩束重合沿入射光束1原路返回，另外兩束重合沿垂直于入射光束1的方向形成 干涉儀的出射光束8 ;在組成8的兩束光束光程差小于光源的相干長度條件下，二者產(chǎn)生干 涉，可由成像傅里葉變換光譜儀的筒鏡聚焦成像至面陣探測器，并由面陣探測器記錄待測 目標的干涉圖像。
[0027] 所述掃描干涉儀裝置在用于成像傅里葉變換光譜測量工作時，通過所述直線平移 臺4驅(qū)動空心角錐回射器3,使3沿入射光束平行方向在干涉儀的動靜臂零光程差附近做直 線往復掃描運動，可以不斷連續(xù)改變兩臂間的光程差。此時由計算機控制面陣探測器記錄 待測目標的一系列干涉圖像，該系列數(shù)字圖像相同像素位置處的數(shù)值構(gòu)成該處光信號的離 散干涉圖樣。之后與一般成像傅里葉變換光譜儀的原理相同，利用計算機對該系列目標干 涉圖像所有像素位置的干涉圖樣進行快速離散傅里葉變換處理，即可得到待測目標的數(shù)字 圖像和像上所有像素處的光譜，實現(xiàn)成像光譜測量。
[0028] 如圖6所示，所述空心角錐回射器具有三個相互垂直的反射面，三個面中任意兩 個面的接縫會成像在第三個面上，因此，從垂直于所述大角錐回射器口徑面上看進去，圓形 口徑被對稱分成了大小相等的6個扇形區(qū)域。在本發(fā)明的實施中，旋轉(zhuǎn)調(diào)整所述空心角錐 回射器3,使得回射器入射光束12和回射器出射光束13相對其圓形口徑圓心對稱的處于6 個扇形區(qū)域中一對相對的扇形區(qū)域內(nèi)，這樣能夠避免所述12、13光束打在回射器任意兩個 反射面的接縫處，從而造成光損失和降低反射光束質(zhì)量。
[0029] 所述掃描干涉儀動臂的實現(xiàn)利用了角錐回射器的反光特點：即任意入射光束只要 其入射點與回射器口徑圓心不重合，反射光束均會以一定橫向位移被回射，且出射光束與 入射光束保持平行；入射點和出射點處于角錐反射器圓形入射口徑的同一條直徑線上，且 入射點與出射點相對圓心對稱。當所述空心角錐回射器3掃描時，其自補償機制可以保證 由直線平移臺4產(chǎn)生的任何微小傾斜都不會影響其出射光束13與入射光束12的平行度； 而3的傾斜產(chǎn)生的回射光束13的微小橫移由于雙面平面反射鏡7的反射面始終保持與回 射光束13的垂直而得到補償。因此，所述光路折疊的動臂結(jié)構(gòu)可以巧妙地避免邁克爾遜干 涉儀動鏡掃描過程中的光束傾斜和橫移問題。
[0030] 所述固定的雙面平面反射鏡7可由圓形玻璃材料為基底，兩個反射面可根據(jù)成像 傅里葉變換光譜儀的光譜工作范圍選擇加鍍不同材料的金屬膜實現(xiàn)，也可以由有關金屬材 料塊狀基底兩面拋光實現(xiàn)。所述掃描干涉儀裝置中的動臂靜臂由于均采用了光路折疊的結(jié) 構(gòu)，得以共享同一塊雙面平面反射鏡7作為兩臂完成光束原路反射的器件。這一設計方案 使得整個干涉儀裝置的結(jié)構(gòu)十分緊湊，非常有利于據(jù)此構(gòu)建的成像傅里葉變換光譜儀的小 型化。在實際實施中，在滿足機械強度要求的前提下，根據(jù)幾何計算可知雙面反射鏡7的厚 度越薄越容易使整個干涉儀體積縮小。
[0031] 根據(jù)幾何計算可知，所述掃描干涉儀裝置中若無所述補償板6,則動臂光程將始 終大于靜臂光程；根據(jù)傅里葉變換光譜儀工作原理，空心角錐回射器3的掃描行程必須覆 蓋兩臂的零光程差位置，因此需要插入高于空氣折射率材料的補償板以增加靜臂光路的光 程。所述補償板6可由圓形玻璃材料為基底，兩個平行的入射面可根據(jù)成像傅里葉變換光 譜儀的光譜工作范圍選擇加鍍不同的增透膜實現(xiàn)。根據(jù)幾何光學計算可知，制成所述補償 板6所用玻璃材料的折射率越高越有益于所述掃描干涉儀體積的減小。
[0032] 當待測目標的光譜覆蓋很寬的波段時，普通干涉儀在零光程差處形成的干涉峰光 強可能會覆蓋極大的范圍，因此對探測器的動態(tài)范圍要求苛刻。而所述補償板6為玻璃材 料制成，對不同波長的光信號具有不同的折射率，因此具有一定的色散；根據(jù)傅里葉變換光 譜技術原理，所述補償板6的插入，使得所述掃描干涉儀對不同波長的光信號零光程差位 置不同，因此可以大大降低所述掃描干涉儀產(chǎn)生的干涉信號的光強范圍，弱化據(jù)其進行的 成像傅里葉變換光譜測量對面陣探測器動態(tài)范圍的高要求，從而降低據(jù)其構(gòu)建的成像傅里 葉變換光譜儀系統(tǒng)成本。
[0033] 圖2所示的實施方式闡明了本發(fā)明的核心原理，據(jù)此思想還可以給出若干種改進 的實施方案，如圖3、4、5所示：
[0034] 如圖3所示，圖2靜臂中的雙面平面反射鏡7和補償板6可合并為一個單面金屬 鍍膜補償板9。所述9可由圓形玻璃材料為基底，朝向3的一面垂直于其出射光束，對該面 拋光后，根據(jù)成像傅里葉變換光譜儀的光譜工作范圍，選擇加鍍一定厚度不同材料的金屬 膜作為動鏡兩臂的共享反射鏡；所述9的另一面與金屬鍍膜面平行，可加鍍增透膜。所述9 的使用合并了兩個元件6和7,不僅減少了元件數(shù)目，降低了成本和實際中元件安裝的復雜 性，根據(jù)幾何計算可知，還有利于比圖2所示方案進一步減小整個所述掃描干涉儀的體積。
[0035] 如圖4所示，圖3靜臂中的45°平面反射鏡5可由一個45°反射直角棱鏡10替 代。所述10為實心玻璃材料制成，其斜邊反射面根據(jù)成像傅里葉變換光譜儀的光譜工作范 圍選擇加鍍不同材料的金屬膜實現(xiàn)，其直邊兩平面可根據(jù)成像傅里葉變換光譜儀的光譜工 作范圍加鍍增透膜。所述10的引入等效于補償板6和平面反射鏡5的合并，但是仍需使用 9以平衡兩臂的光程。根據(jù)幾何計算可知，用所述10替代5,可以減小9的厚度，從而進一 步縮小如圖3所7]^干涉儀的體積。
[0036] 如圖5所示，圖3中的所述立方體分束器2和45°平面反射鏡5可合并為一個 45°平行四邊體分束器11。所述11可由實心玻璃材料制成，兩相鄰工作面所夾銳角為 45° ; -對相對的平行的工作面為分光面和反光面，另一對相對的平行的工作面為光束出 入射面；所述分光工作面根據(jù)成像傅里葉變換光譜儀的光譜工作范圍選擇加鍍多層介質(zhì) 膜，所述反光工作面根據(jù)成像傅里葉變換光譜儀的光譜工作范圍選擇加鍍金屬膜，所述兩 個出入射工作面可以根據(jù)成像傅里葉變換光譜儀的光譜工作范圍選擇加鍍增透膜。實際實 施中，入射光束1垂直入射所述11的一個入射面后至其分光工作面，經(jīng)所述分光工作面透 射的光束射向干涉儀動臂；經(jīng)分光工作面反射的光束射向所述11的45°反光面，經(jīng)45°反 光面反射后沿著與所述入射光束1平行的方向，經(jīng)所述11的出射面透射而出，射向所述掃 描干涉儀的靜臂；動靜兩臂入射光束被所述單面金屬鍍膜補償板9反射后沿著上述光路原 路返回至所述11的分光面重新相遇，經(jīng)再次分束后，兩束射出所述掃描干涉儀的光束重合 形成所述出射光束8。所述11的使用合并了圖3所示方案中的兩個元件2和5或圖4所示 方案中的2和10 ;這一方案不僅減少了元件數(shù)目，降低了實際中元件安裝的復雜性，根據(jù)幾 何計算可知，使用這一方案可以減小9的厚度，還有利于比圖2、圖3和圖4所示方案進一步 減小整個所述掃描干涉儀的體積。
[0037] 本發(fā)明未經(jīng)描述的技術特征可以通過或采用現(xiàn)有技術實現(xiàn)，在此不再贅述，當然， 上述說明并非是對本發(fā)明的限制，本發(fā)明也并不僅限于上述舉例，本【技術領域】的普通技術 人員在本發(fā)明的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也應屬于本發(fā)明的保護范 圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，由一個分束器，一個動臂和一個 靜臂組成，靜臂也稱為參考臂；其特征在于所述動臂和靜臂共享同一個固定的雙面平面反 射鏡，此雙面平面反射鏡的兩個反射面分別垂直反射動臂和靜臂的入射光束返回至分束 器；所述靜臂光路插有補償板，以補償兩臂之間光程差。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所 述分束器是非偏振50 : 50分光比型分束器，所述分束器位于成像傅里葉變換光譜儀光收 集系統(tǒng)產(chǎn)生的準直光路上，經(jīng)分束器分束的透射和反射光束互相垂直，干涉儀的入射光束 與出射光束互相垂直；分束器是常規(guī)的立方體分束器，或是一種平行四邊體分束器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所 述動臂由一個空心角錐回射器、一個直線平移臺和一個固定的雙面平面反射鏡組成；所述 空心角錐回射器位于所述分束器的反射或透射光路上，且錐角背向所述分束器，所述空心 角錐回射器的直線往復掃描運動由其所處的直線平移臺驅(qū)動，所述固定的雙面平面反射鏡 反射面垂直于所述角錐回射器的回射光路。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所 述靜臂由同一個雙面平面反射鏡、一塊光程差補償板和一個45°反射鏡組成；所述45°反 射鏡位于靜臂光路上，其反射面與入射光路成45°角，所述補償板的入射和出射面垂直于 所述45°反射鏡的反射光路，所述固定的雙面平面反射鏡反射面垂直于所述45°反射鏡 的反射光路。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所 述的平行四邊體分束器為實心玻璃制成，兩相鄰工作面所夾銳角為45°，一對相對的平行 的工作面為分光面和反光面，另一對相對的平行的工作面為光束出入射面；所述分光工作 面加鍍多層介質(zhì)膜，所述反光工作面加鍍金屬膜，所述兩個出入射工作面加鍍增透膜。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在于所 述的45°反射鏡使用平面金屬鍍膜反射鏡，或使用斜面鍍金屬膜的45°玻璃直角棱鏡；采 用玻璃直角棱鏡作為45°反射鏡可以起到補償板增加光程的作用，其直邊出入射工作面加 鍍增透膜。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的成像傅里葉變換光譜測量用掃描干涉儀裝置，其特征在 于所述雙面平面反射鏡的兩個工作面平行，為雙面鍍金屬膜的玻璃平板，或單面鍍金屬膜 的實心玻璃平板；采用單面鍍金屬膜的玻璃平板作為反射鏡時，金屬鍍膜面朝向空心角錐 反射器，另一面加鍍增透膜，玻璃基板可以起到補償板增加光程的作用。
【文檔編號】G01J3/45GK203869776SQ201420106176
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年3月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月10日
【發(fā)明者】李劍平 申請人:李劍平