自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),包括固定底板、第一移動(dòng)板、第二移動(dòng)板、第三移動(dòng)板以及樣品臺(tái);固定底板與第一移動(dòng)板之間設(shè)置有復(fù)數(shù)條第一滑軌,第一移動(dòng)板與第二移動(dòng)板之間設(shè)置有復(fù)數(shù)條與第一滑軌相互垂直的第二滑軌;第三移動(dòng)板的上端面設(shè)置有第三滑軌,樣品臺(tái)的下端面設(shè)置有第四滑軌,第三移動(dòng)板與樣品臺(tái)的兩側(cè)均設(shè)置有相互交叉的第一升降斜撐與第二升降斜撐,第二升降斜撐可沿第三滑軌、第四滑軌滑動(dòng),從而調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的高度。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,采用三維樣品移動(dòng)平臺(tái),具有良好的空間移動(dòng)能力,使得X熒光光譜儀可自動(dòng)、準(zhǔn)確定位樣品待測(cè)點(diǎn),將待測(cè)樣品準(zhǔn)確移動(dòng)到聚焦準(zhǔn)直器正下方與X光光斑重合,提高檢測(cè)精度。
【專利說明】自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種樣品移動(dòng)平臺(tái),尤其涉及一種應(yīng)用于熒光光譜儀上的可自動(dòng)定位的樣品移動(dòng)平臺(tái),屬于X熒光光譜儀制造領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]X熒光光譜儀是一種主要用于化學(xué)元素定性和定量分析的儀器,其分析元素范圍一般為(n)Na-(92)U,其優(yōu)點(diǎn)是分析速度快,可以進(jìn)行非破壞性分析、現(xiàn)場(chǎng)分析、在線分析及原位分析,因此應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛。
[0003]目前,能量色散X射線熒光光譜儀根據(jù)光路照射的方式不同主要分兩大類:下照式熒光光譜儀和上照式熒光光譜儀。
[0004]傳統(tǒng)的下照式熒光光譜儀普遍采用45°角照射135°角接收檢測(cè)信號(hào)的方案,導(dǎo)致X射線的能量不能夠完全用于激發(fā)被測(cè)物品的電子能量,特別是對(duì)于有鍍層或多鍍層的待測(cè)樣品,X射線穿透厚度及穿透強(qiáng)度由于入射角度影響達(dá)不到使用要求。
[0005]上照式熒光光譜儀,待測(cè)樣品在光路的正下方,測(cè)試時(shí)需要將待測(cè)樣品點(diǎn)移至準(zhǔn)直器的正下方與X射線光管發(fā)射的X光光斑重合,保證每次測(cè)量時(shí),X射線對(duì)待測(cè)樣品的激發(fā)效率相同。
[0006]然而,目前市場(chǎng)上的上照式熒光光譜儀,有些都沒有樣品移動(dòng)平臺(tái)這樣的裝置,在移動(dòng)樣品時(shí)完全是依靠手工操作,在移動(dòng)距離很小時(shí),很難達(dá)到微調(diào)的效果,無法保證每次測(cè)量時(shí)將選定的待測(cè)點(diǎn)與X光光斑精準(zhǔn)重合。還有些移動(dòng)平臺(tái)是二維的,所以調(diào)節(jié)能力十分有限,并且這種移動(dòng)平臺(tái)一般是手動(dòng)調(diào)節(jié)的,在調(diào)節(jié)時(shí)間和效果上也會(huì)存在局限。
[0007]另外,目前的熒光光譜儀大多是對(duì)材質(zhì)均一的樣品進(jìn)行表面處理后,對(duì)樣品表面進(jìn)行測(cè)試,然而對(duì)于小樣品如電阻引腳、非常細(xì)的項(xiàng)鏈等就無法進(jìn)行選點(diǎn)測(cè)試,這是由于X光光斑較大,測(cè)試時(shí)計(jì)數(shù)率較低,對(duì)測(cè)試的準(zhǔn)確度造成很大的影響。
[0008]因此,提供一種自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),使得X熒光光譜儀可自動(dòng)、準(zhǔn)確定位樣品待測(cè)點(diǎn),提高檢測(cè)精度,是業(yè)界亟待解決的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0009]為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷,本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),使得X熒光光譜儀可自動(dòng)、準(zhǔn)確定位樣品待測(cè)點(diǎn),提高檢測(cè)精度。
[0010]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案為:
[0011]一種自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),包括位于底部的固定底板、位于所述固定底板上方的第一移動(dòng)板、位于所述第一移動(dòng)板上方的第二移動(dòng)板、位于所述第二移動(dòng)板上方的第三移動(dòng)板以及位于所述第三移動(dòng)板上方、與第三移動(dòng)板水平設(shè)置的樣品臺(tái);
[0012]所述固定底板與第一移動(dòng)板之間沿固定底板的長(zhǎng)度方向平行設(shè)置有復(fù)數(shù)條第一滑軌,所述第一移動(dòng)板與第二移動(dòng)板之間沿固定底板的寬度方向平行設(shè)置有復(fù)數(shù)條與所述第一滑軌相互垂直的第二滑軌;[0013]所述第三移動(dòng)板的上端面設(shè)置有第三滑軌,所述樣品臺(tái)的下端面設(shè)置有與所述第三滑軌相互平行的第四滑軌,所述第三移動(dòng)板與樣品臺(tái)的兩側(cè)均對(duì)應(yīng)設(shè)置有相互交叉的第一升降斜撐與第二升降斜撐,第二升降斜撐的兩端可沿第三滑軌、第四滑軌滑動(dòng),從而調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的高度。
[0014]進(jìn)一步的,所述固定底板上設(shè)置有第一電機(jī),所述第一電機(jī)上設(shè)置有第一絲桿螺母,并與第一移動(dòng)板固定連接。這樣設(shè)置是為了使在第一電機(jī)控制下,第一移動(dòng)板可以沿左右方向滑動(dòng)。
[0015]進(jìn)一步的,所述第一移動(dòng)板上設(shè)置有第二電機(jī),所述第二電機(jī)上設(shè)置有第二絲桿螺母,并與第二移動(dòng)板固定連接。這樣設(shè)置是為了使在第二電機(jī)控制下,第二移動(dòng)板可以沿前后方向滑動(dòng)。
[0016]進(jìn)一步的,所述第三移動(dòng)板上設(shè)置有第三電機(jī)。
[0017]優(yōu)選的,所述第一升降斜撐的兩端通過固定座分別與樣品臺(tái)、第三移動(dòng)板的兩端固定連接。
[0018]優(yōu)選的,所述第三滑軌上設(shè)置有第三滑塊,第四滑軌上設(shè)置有第四滑塊,所述第二升降斜撐的一端通過第三滑塊與第三滑軌連接,所述第二升降斜撐的另一端通過第四滑塊與第四滑軌連接。從而在第一升降斜撐保持不動(dòng)的情況下,第二升降斜撐可以沿第三滑軌、第四滑軌滑動(dòng),使樣品臺(tái)升高或者降低。
[0019]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案之一,所述第二移動(dòng)板與第三移動(dòng)板之間垂直設(shè)置有一增高支架。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果為:
[0021]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,采用三維樣品移動(dòng)平臺(tái),具有良好的空間移動(dòng)能力、承載能力,使得X熒光光譜儀可自動(dòng)、準(zhǔn)確定位樣品待測(cè)點(diǎn),將待測(cè)樣品準(zhǔn)確移動(dòng)到聚焦準(zhǔn)直器正下方與X光光斑重合,提高檢測(cè)精度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征和技術(shù)要點(diǎn),下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0023]圖1是本實(shí)用新型所公開的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0024]圖2是本實(shí)用新型第一移動(dòng)板及第二移動(dòng)板的連接結(jié)構(gòu)主視圖;
[0025]圖3是本實(shí)用新型第三移動(dòng)板及樣品臺(tái)的連接結(jié)構(gòu)主視圖;
[0026]圖4是本實(shí)用新型所公開的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)定位流程圖。
[0027]附圖標(biāo)記說明:1-固定底板,2-第一移動(dòng)板,21-第一滑軌,22-第一電機(jī),22a-第一電機(jī)支架,23-第一絲桿螺母,23a-第一絲桿螺母座,24-第一光電開關(guān),3-第二移動(dòng)板,31-第二滑軌,32-第二電機(jī),32a-第二電機(jī)支架,33-第二絲桿螺母,33a_第二絲桿螺母座,34-第二光電開關(guān),4-第三移動(dòng)板,41-第三滑軌,42-第三電機(jī),42a-第三電機(jī)支架,43a-第三絲桿螺母座,44-第一升降斜撐,45-第二升降斜撐,46-第三滑塊,47-隔套,5-樣品臺(tái),51-第四滑軌,52-第四滑塊。
【具體實(shí)施方式】[0028]下面將結(jié)合本實(shí)施例中的附圖,對(duì)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行具體、清楚、完整地描述。
[0029]參見圖1及圖2所示,本實(shí)施例的一種自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),包括位于底部的固定底板1、位于所述固定底板I上方的第一移動(dòng)板2、位于所述第一移動(dòng)板2上方的第二移動(dòng)板3、位于所述第二移動(dòng)板3上方的第三移動(dòng)板4以及位于所述第三移動(dòng)板4上方、與第三移動(dòng)板4水平設(shè)置的樣品臺(tái)5 ;
[0030]所述固定底板I與第一移動(dòng)板2之間沿固定底板I的長(zhǎng)度方向平行設(shè)置有復(fù)數(shù)條第一滑軌21。所述固定底板I上設(shè)置有第一電機(jī)22,第一電機(jī)22連接在第一電機(jī)支架22a上,第一光電開關(guān)24也固定在第一電機(jī)支架22a上。第一電機(jī)22帶有絲桿,絲桿上連接有第一絲桿螺母23,并通過第一絲桿螺母座23a與第一移動(dòng)板2固定連接,從而使得在第一電機(jī)22控制下,第一移動(dòng)板2依靠第一滑軌21隨之沿左右方向滑動(dòng)。
[0031]所述第一移動(dòng)板2與第二移動(dòng)板3之間沿固定底板I的寬度方向平行設(shè)置有復(fù)數(shù)條與所述第一滑軌21相互垂直的第二滑軌31。所述第一移動(dòng)板2上設(shè)置有第二電機(jī)32,第二電機(jī)32連接在第二電機(jī)支架32a上,第二光電開關(guān)34也固定在第二電機(jī)支架32a上。第二電機(jī)32帶有絲桿,絲桿上連接有第二絲桿螺母33,并通過第二絲桿螺母座33a與第二移動(dòng)板3固定連接,從而使得在第二電機(jī)32控制下,第二移動(dòng)板3依靠第二滑軌31隨之沿前后方向滑動(dòng)。
[0032]本實(shí)施例的樣品移動(dòng)平臺(tái)在移動(dòng)時(shí),具體的移動(dòng)距離采用攝像頭自動(dòng)聚焦定位技術(shù)獲得。
[0033]假設(shè)攝像頭能拍攝到的樣品的范圍是長(zhǎng)L寬W,則面積是LXW。假設(shè)光斑O坐標(biāo)為(xl,yl),A是待測(cè)樣品點(diǎn)(x2,y2),其坐標(biāo)均可通過與熒光光譜儀連接的電腦中的軟件獲取。AO表示待測(cè)樣品點(diǎn)與光斑在水平面上的距離。
[0034]如果要將待測(cè)樣品點(diǎn)A移動(dòng)到與光斑O重合,則可得到A點(diǎn)在X方向的水平向量是x=xl-x2, A點(diǎn)在Y方向的垂直向量是y=yl_y2 ;
[0035]假設(shè)水平、垂直放大倍數(shù)分別記為p、w,則通過AO向量在X和y方向的分向量,可計(jì)算出樣品的水平移動(dòng)距離Sx和垂直移動(dòng)距離Sy分別為:
[0036]Sx=x/p ; Sy=y/w。
[0037]通過第一滑軌21與第二滑軌31的共同移動(dòng),將待測(cè)樣品點(diǎn)移動(dòng)到與X光光斑重
入
口 ο
[0038]所述第二移動(dòng)板3與第三移動(dòng)板4之間垂直設(shè)置有一增高支架6。
[0039]參見圖3所示,所述第三移動(dòng)板4的上端面設(shè)置有第三滑軌41,所述樣品臺(tái)5的下端面設(shè)置有與所述第三滑軌41相互平行的第四滑軌51,所述第三移動(dòng)板4與樣品臺(tái)5的兩側(cè)均對(duì)應(yīng)設(shè)置有相互交叉的第一升降斜撐44與第二升降斜撐45,所述第一升降斜撐44的兩端通過固定座44a分別與樣品臺(tái)5、第三移動(dòng)板4的兩端固定連接;所述第三滑軌41上設(shè)置有第三滑塊46,第四滑軌51上設(shè)置有第四滑塊52,所述第二升降斜撐45的一端通過第三滑塊46與第三滑軌41連接,所述第二升降斜撐45的另一端通過第四滑塊52與第四滑軌51連接。所述第三移動(dòng)板4上設(shè)置有第三電機(jī)42,第三電機(jī)42連接在第三電機(jī)支架42a上,第三電機(jī)42帶有絲桿,絲桿上連接有第三絲桿螺母及第三絲桿螺母座43a,從而在第一升降斜撐44保持不動(dòng)的情況下,第二升降斜撐45的兩端可以沿第三滑軌46、第四滑軌51滑動(dòng),從而調(diào)節(jié)樣品臺(tái)5的高度,使樣品臺(tái)5升高或者降低,將待測(cè)樣品點(diǎn)移至聚焦準(zhǔn)直器的正下方與探測(cè)器保持指定高度,保證每次測(cè)量時(shí),X射線對(duì)待測(cè)樣品的激發(fā)效率相同。
[0040]作為本實(shí)施例的優(yōu)選方案之一,所述第二升降斜撐45兩端的內(nèi)側(cè)設(shè)置有隔套47。
[0041]參見圖4所示,為自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)定位的流程圖。
[0042]開始先將待測(cè)樣品放在樣品臺(tái)上,選擇待測(cè)點(diǎn),電腦計(jì)算樣品移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的水平和垂直移動(dòng)距離,然后先移動(dòng)第一移動(dòng)板、第二移動(dòng)板,將待測(cè)樣品點(diǎn)移動(dòng)到與X光光斑重合,再移動(dòng)第三移動(dòng)板使樣品待測(cè)點(diǎn)與探測(cè)器保持一定高度,調(diào)整好距離后移動(dòng)雙電機(jī),開始測(cè)試,得出結(jié)果,測(cè)試結(jié)束。
[0043]本實(shí)施例結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,采用三維樣品移動(dòng)平臺(tái),具有良好的空間移動(dòng)能力、承載能力,使得X熒光光譜儀可自動(dòng)、準(zhǔn)確定位樣品待測(cè)點(diǎn),將待測(cè)樣品準(zhǔn)確移動(dòng)到聚焦準(zhǔn)直器正下方與X光光斑重合,提高檢測(cè)精度。
[0044]上述【具體實(shí)施方式】,僅為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思和結(jié)構(gòu)特征,目的在于讓相關(guān)人士能夠據(jù)以實(shí)施,但以上所述內(nèi)容并不限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍,凡是依據(jù)本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)所作的任何等效變化或修飾,均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,該自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái)包括位于底部的固定底板、位于所述固定底板上方的第一移動(dòng)板、位于所述第一移動(dòng)板上方的第二移動(dòng)板、位于所述第二移動(dòng)板上方的第三移動(dòng)板以及位于所述第三移動(dòng)板上方、與第三移動(dòng)板水平設(shè)置的樣品臺(tái); 所述固定底板與第一移動(dòng)板之間沿固定底板的長(zhǎng)度方向平行設(shè)置有復(fù)數(shù)條第一滑軌,所述第一移動(dòng)板與第二移動(dòng)板之間沿固定底板的寬度方向平行設(shè)置有復(fù)數(shù)條與所述第一滑軌相互垂直的第二滑軌; 所述第三移動(dòng)板的上端面設(shè)置有第三滑軌,所述樣品臺(tái)的下端面設(shè)置有與所述第三滑軌相互平行的第四滑軌,所述第三移動(dòng)板與樣品臺(tái)的兩側(cè)均對(duì)應(yīng)設(shè)置有相互交叉的第一升降斜撐與第二升降斜撐,第二升降斜撐可沿第三滑軌、第四滑軌滑動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述固定底板上設(shè)置有第一電機(jī),所述第一電機(jī)上設(shè)置有第一絲桿螺母,并與第一移動(dòng)板固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述第一移動(dòng)板上設(shè)置有第二電機(jī),所述第二電機(jī)上設(shè)置有第二絲桿螺母,并與第二移動(dòng)板固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述第三移動(dòng)板上設(shè)置有第三電機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述第一升降斜撐的兩端通過固定座分別與樣品臺(tái)、第三移動(dòng)板的兩端固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述第三滑軌上設(shè)置有第三滑塊,第四滑軌上設(shè)置有第四滑塊,所述第二升降斜撐的一端通過第三滑塊與第三滑軌連接,所述第二升降斜撐的另一端通過第四滑塊與第四滑軌連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)定位樣品移動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述第二移動(dòng)板與第三移動(dòng)板之間垂直設(shè)置有一增高支架。
【文檔編號(hào)】G01N21/01GK203786038SQ201420195026
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年4月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月21日
【發(fā)明者】楊振, 楊劍 申請(qǐng)人:蘇州三值精密儀器有限公司