顯微共聚焦熒光系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型給出一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)，包括激光器、第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、顯微物鏡、樣品臺(tái)、第一半反半透鏡、濾波片、第二半反半透鏡、CCD相機(jī)、第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡、光柵光譜儀、探測(cè)器以及計(jì)算機(jī)；本實(shí)用新型的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)能夠?qū)悠返墓庵掳l(fā)光進(jìn)行測(cè)量，得到光譜圖，從而可以對(duì)光致發(fā)光峰進(jìn)行分析，進(jìn)而得到物質(zhì)的特征電子躍遷，粒子是否有表面缺陷發(fā)光，樣品的發(fā)光性能、能級(jí)結(jié)構(gòu)和表面狀態(tài)等信息。
【專利說(shuō)明】顯微共聚焦熒光系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光致發(fā)光測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉及一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]光致發(fā)光(Photoluminescence,PL),即指當(dāng)外界光源照射物體時(shí),物體吸收光子，電子從基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài)，當(dāng)處于激發(fā)態(tài)的電子以輻射躍遷的方式返回基態(tài)時(shí)，能量以光的形式發(fā)出的現(xiàn)象。紫外輻射、可見(jiàn)光及紅外輻射均可引起光致發(fā)光。光致發(fā)光可以提供有關(guān)材料的結(jié)構(gòu)、成分及環(huán)境原子排列的信息，例如，在光致發(fā)光譜中，發(fā)光峰的峰位標(biāo)明了某個(gè)具有相互作用的能級(jí)間的能量間隔；光譜結(jié)構(gòu)的始端對(duì)應(yīng)最低光子能量，標(biāo)志著一種躍遷閾值；而光譜形狀則是這種躍遷概率或是能態(tài)分布的表征。對(duì)于半導(dǎo)體納米材料的光學(xué)性質(zhì)研究，是十分有用的一種實(shí)驗(yàn)技術(shù)。通過(guò)研究實(shí)驗(yàn)中所得的光致發(fā)光譜，通過(guò)對(duì)發(fā)光譜中峰位、半高寬等的分析，可以得出材料帶隙、缺陷、雜質(zhì)級(jí)能以及復(fù)合機(jī)制等信息。本實(shí)用新型提出一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)對(duì)光致發(fā)光進(jìn)行測(cè)量和分析。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)，包括激光器、第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、顯微物鏡、樣品臺(tái)、第一半反半透鏡、濾波片、第二半反半透鏡、CXD相機(jī)、第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡、光柵光譜儀、探測(cè)器以及計(jì)算機(jī)；所述激光器的激光發(fā)射方向依次設(shè)置有第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、第一半反半透鏡；所述第一半反半透鏡將反射的激光通過(guò)顯微物鏡投射到樣品臺(tái)，并通過(guò)所述顯微物鏡收集樣品臺(tái)上樣品由激光激發(fā)產(chǎn)生的光致發(fā)光的熒光；所述第一半反半透鏡將收集的樣品熒光一路透射至濾波片、第二半反半透鏡至CCD相機(jī)；另一路透射至第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡至光柵光譜儀，所述探測(cè)器對(duì)光柵光譜儀聚焦的光進(jìn)行探測(cè)，并將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)。
[0004]所述光柵光譜儀設(shè)置有第三狹縫板、第一球面反射鏡、光柵、第二球面反射鏡，所述第四透鏡將光透射至第三狹縫板，經(jīng)過(guò)狹縫入射至第一球面反射鏡，第一球面反射鏡將光通過(guò)光柵射向第二球面反射鏡，第二球面反射鏡將光反射至探測(cè)器。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0005]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0006]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0007]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0008]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所不，本實(shí)施例的顯微共聚焦突光系統(tǒng)包括激光器1、第一透鏡2、第一狹縫板3、第二透鏡4、顯微物鏡5、樣品臺(tái)6、第一半反半透鏡7、濾波片8、第二半反半透鏡9、(XD相機(jī)10、第三透鏡11、第二狹縫板12、第四透鏡13、光柵光譜儀14、探測(cè)器15以及計(jì)算機(jī)16 ;所述激光器I的激光發(fā)射方向依次設(shè)置有第一透鏡2、第一狹縫板3、第二透鏡4、第一半反半透鏡7 ;所述第一半反半透鏡7將反射的激光通過(guò)顯微物鏡5投射到樣品臺(tái)6，并通過(guò)所述顯微物鏡5收集樣品臺(tái)6上樣品由激光激發(fā)產(chǎn)生的光致發(fā)光的熒光；所述第一半反半透鏡7將收集的樣品熒光一路透射至濾波片8、第二半反半透鏡9至CXD相機(jī)10 ;另一路透射至第三透鏡11、第二狹縫板12、第四透鏡13至光柵光譜儀14，所述探測(cè)器15對(duì)光柵光譜儀14聚焦的光進(jìn)行探測(cè)，并將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)16。
[0009]本實(shí)施例的顯微共聚焦熒光系統(tǒng)中的激光器I出射激光經(jīng)由外部光路(第一透鏡
2、第一狹縫板3、第二透鏡4、一半反半透鏡7)進(jìn)入顯微物鏡5照射到樣品上，樣品受到激光的激發(fā)，產(chǎn)生光致發(fā)光，樣品發(fā)出的熒光由顯微物鏡進(jìn)行收集，經(jīng)過(guò)第一半反半透鏡7變成平行光，使得樣品所發(fā)熒光分為兩部分，一部分通過(guò)濾波片8、第二半反半透鏡9進(jìn)入CCD相機(jī)10進(jìn)行成像，一部分經(jīng)由第三透鏡11、第二狹縫板12、第四透鏡13進(jìn)入光柵光譜儀14，經(jīng)光柵分光后聚焦至探測(cè)器15。探測(cè)器15將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)，根據(jù)所探測(cè)的樣品發(fā)光波長(zhǎng)不同選擇合適的探測(cè)器。通過(guò)計(jì)算機(jī)顯示相應(yīng)的光致發(fā)光譜圖。同時(shí)也可以通過(guò)計(jì)算機(jī)對(duì)光柵光譜儀狹縫的大小、曝光時(shí)間、所要探測(cè)波長(zhǎng)等一系列參數(shù)進(jìn)行控制。
[0010]通過(guò)顯微共聚焦熒光系統(tǒng)得到的光譜圖可以對(duì)光致發(fā)光峰進(jìn)行分析，進(jìn)而得到物質(zhì)的特征電子躍遷，粒子是否有表面缺陷發(fā)光，樣品的發(fā)光性能、能級(jí)結(jié)構(gòu)和表面狀態(tài)等信肩、O
[0011]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種顯微共聚焦突光系統(tǒng)，包括激光器、第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、顯微物鏡、樣品臺(tái)、第一半反半透鏡、濾波片、第二半反半透鏡、C⑶相機(jī)、第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡、光柵光譜儀、探測(cè)器以及計(jì)算機(jī)；其特征在于，所述激光器的激光發(fā)射方向依次設(shè)置有第一透鏡、第一狹縫板、第二透鏡、第一半反半透鏡；所述第一半反半透鏡將反射的激光通過(guò)顯微物鏡投射到樣品臺(tái)，并通過(guò)所述顯微物鏡收集樣品臺(tái)上樣品由激光激發(fā)產(chǎn)生的光致發(fā)光的熒光；所述第一半反半透鏡將收集的樣品熒光一路透射至濾波片、第二半反半透鏡至CCD相機(jī)；另一路透射至第三透鏡、第二狹縫板、第四透鏡至光柵光譜儀，所述探測(cè)器對(duì)光柵光譜儀聚焦的光進(jìn)行探測(cè)，并將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)后傳輸給計(jì)算機(jī)O
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯微共聚焦熒光系統(tǒng)，其特征在于，所述光柵光譜儀設(shè)置有第三狹縫板、第一球面反射鏡、光柵、第二球面反射鏡，所述第四透鏡將光透射至第三狹縫板，經(jīng)過(guò)狹縫入射至第一球面反射鏡，第一球面反射鏡將光通過(guò)光柵射向第二球面反射鏡，第二球面反射鏡將光反射至探測(cè)器。
【文檔編號(hào)】G01N21/64GK204044069SQ201420344033
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年6月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月18日
【發(fā)明者】勵(lì)春亞 申請(qǐng)人:象山星旗電器科技有限公司