物件檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型系一種物件檢測裝置，包括：以一第二光源投射檢測物表面，使其反射受一第一檢測裝置擷取檢測物表面影像；另以一第一光源向光柵投射光源，使光柵上的網(wǎng)格經(jīng)一第二分光鏡折射至檢測物表面，再使其反射經(jīng)一第一分光鏡折射受一第二檢測裝置擷取檢測物表面具網(wǎng)格的影像；藉以不僅可以第一檢測裝置觀測檢測物表面影像，亦可同時以第二檢測裝置作強化表面瑕疵特征的凹痕、裂痕檢查。
【專利說明】物件檢測裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型系有關于一種檢測裝置，尤指一種用以在具反射表面的物件上進行檢測的物件檢測裝置。
【背景技術】
[0002]一般的電子組件由于體積微小，若發(fā)生瑕疵則檢查上相當困難，因此在高科技產(chǎn)業(yè)中慣用CCD鏡頭來作檢測，一方面將瑕疵部位放大，另一方面藉由數(shù)字化的影像來檢測其瑕疵部位的確實位置，以進行補救制程或淘汰程序。
[0003]一種以光柵配合CCD鏡頭進行檢測瑕疵的裝置曾被采用，其主要利用光柵所產(chǎn)生的網(wǎng)格變形，透過CCD鏡頭來檢出瑕疵的部位確實位置，在晶圓晶粒的瑕疵檢測中亦曾采用此種檢測方式，其通常于特定光源及角度下，經(jīng)人工方式透過CXD鏡頭進行觀察光柵因受瑕疵部位影響所產(chǎn)生的網(wǎng)格變形狀態(tài)，來檢出晶圓晶粒的瑕疵部位。
實用新型內(nèi)容
[0004]然而以光柵配合CCD鏡頭進行檢測瑕疵固然為業(yè)界所慣用，惟先前技術在晶圓晶粒的瑕疵檢測中采用此種方式檢測常遭遇一些問題，因為晶圓晶粒表面具有極亮的光澤，加上晶圓晶粒表面的平整度，使晶圓晶粒表面縱有瑕疵裂痕，在特定光源及角度下，晶圓晶粒表面光澤的反射，將使CCD鏡頭受到表面光澤反射光源的干擾，而不易檢測出瑕疵裂痕。
[0005]于是，本實用新型的目的，在于提供一種可依需要同時或切換不同檢測裝置對檢測物進行瑕疵凹痕、裂痕檢測的物件檢測裝置。
[0006]本實用新型的另一目的，在于提供一種可對易受表面光澤反射光源干擾，而不易檢測出瑕疵凹痕、裂痕的檢測物進行檢測的物件檢測裝置。
[0007]本實用新型的又一目的，在于提供一種可藉共用光路以不同檢測裝置對檢測物進行瑕疵凹痕、裂痕檢測的物件檢測裝置。
[0008]本實用新型的再一目的，在于提供一種可依需要同時或切換或不同檢測裝置對檢測物進行瑕疵凹痕、裂痕檢測的物件檢測裝置。
[0009]本實用新型的又再一目的，在于提供一種可對易受表面光澤反射光源干擾，而不易檢測出瑕疵凹痕、裂痕的檢測物進行檢測的物件檢測裝置。
[0010]依據(jù)本實用新型目的的物件檢測裝置，包括:一第一檢測裝置及一第二檢測裝置，二者各具有不同焦距而分別擷取檢測物表面影像，其中，第二檢測裝置擷取檢測物表面影像中光柵網(wǎng)格變化者。
[0011]依據(jù)本實用新型另一目的的物件檢測裝置，包括:一具網(wǎng)格的光柵，經(jīng)一第一光源投射于檢測物表面；一第二檢測裝置，經(jīng)一第一分光鏡的折射擷取檢測物表面具網(wǎng)格影像，由影像中光柵網(wǎng)格變化觀測檢測物的瑕疵凹痕、裂痕者。
[0012]依據(jù)本實用新型又一目的的物件檢測裝置，包括:一第二光源，投射檢測物表面，其反射形成一第一檢測光路；一具網(wǎng)格的光柵，經(jīng)一第一光源投射于檢測物表面形成一第二檢測光路；該第一檢測光路由一第一檢測裝置擷取檢測物表面的影像；該第二光路由一第二檢測裝置擷取檢測物表面具網(wǎng)格的影像。
[0013]依據(jù)本實用新型再一目的的物件檢測裝置，包括:一第一檢測裝置，用以擷取檢測物表面影像；一第一分光鏡，其設于第一檢測裝置與檢測物連成的軸向上；一第二檢測裝置，其對應該第一分光鏡，以擷取第一分光鏡折射的檢測物表面影像；一第二分光鏡，設于第一檢測裝置與檢測物連成的軸向上，其設有具網(wǎng)格的光柵，一第一光源向光柵投射光源，使光柵上的網(wǎng)格經(jīng)第二分光鏡折射至檢測物表面；一第二光源，位于第二分光鏡與檢測物表面間，并設于第一檢測裝置與檢測物連成的垂直軸向上。
[0014]依據(jù)本實用新型又再一目的的物件檢測裝置，包括:一光柵，具有網(wǎng)格，并受一第一光源投射而將網(wǎng)格投射于一檢測物表面；一第二檢測裝置，其經(jīng)自一第一分光鏡的折射，而擷取該檢測物表面反射的具網(wǎng)格的檢測物表面影像。
[0015]本實用新型實施例的物件檢測裝置，其以具網(wǎng)格的光柵屏蔽置于第一光源前端，使其投射于檢測物的檢測面上，再藉由第二檢測裝置的CCD鏡頭架構正確的焦距，清楚觀測檢測物表面網(wǎng)格變化，并標示瑕疵位置以屏幕用圖像顯示；其于檢測物原第一檢測裝置的CCD鏡頭檢測項目所需光學機構上，再架構第二組具部份同光路的感測系統(tǒng)，以同時取得不受光源反射干擾而清楚表現(xiàn)檢測物表面細微瑕疵裂痕的網(wǎng)格影像，用戶不僅可以第一檢測裝置觀測檢測物表面影像，亦可同時或切換以第二檢測裝置作排除光源反射干擾的表面細微瑕疵凹痕、裂痕檢查，不僅可提升檢測速度，亦可達到精確檢測的目的。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1系本實用新型實施例的機構配置示意圖。
[0017]圖2系本實用新型實施例中第一檢測光路的形成路徑示意圖。
[0018]圖3系本實用新型實施例中第二檢測光路的形成路徑示意圖。
[0019]圖4系本實用新型實施例中光柵的網(wǎng)格示意圖。
[0020]圖5系本實用新型實施例中光柵的網(wǎng)格出現(xiàn)變形的示意圖。
[0021]圖6系本實用新型實施例中將光柵的網(wǎng)格出現(xiàn)變形處以圖像顯示于屏幕的示意圖。
[0022]符號說明
[0023]I 第一檢測裝置 2 檢測物
[0024]3 第一分光鏡 31 鏡體
[0025]4 第二檢測裝置 5 第二分光鏡
[0026]51 鏡體52 光柵
[0027]53 第一光源6 第二光源
[0028]LI 第一檢測光路 L2 第二檢測光路
【具體實施方式】
[0029]請參閱圖1，本實用新型實施例的物件檢測裝置，可以圖中所示的裝置為例作說明；其中，包括:
[0030]一第一檢測裝置1，其可為一具有第一焦距的電荷耦合組件(CXD)或互補金屬氧化半導體(CMOS)，并與檢測物2呈垂直設置；
[0031]—第一分光鏡3,其鏡體31設為一左上右下的四十五度偏斜角度,并為第一檢測裝置I所對應，而設于第一檢測裝置I與檢測物2連成的垂直軸向上，且與第一檢測裝置I呈垂直相鄰；
[0032]一第二檢測裝置4，其可為一具有第二焦距的電荷耦合組件(CXD)或互補金屬氧化半導體(CMOS)，所述第二焦距小于第一檢測裝置I的第一焦距；第二檢測裝置4與檢測物2表面呈水平設置，并與第一檢測裝置I呈九十度夾角設置，其水平對應所述該第一分光鏡3，且與該第一分光鏡3呈水平相鄰，以擷取第一分光鏡折射的檢測物2表面影像；
[0033]—第二分光鏡5,其設為一左上右下的四十五度偏斜角度,并與第一分光鏡3垂直相鄰并對應，且設于第一檢測裝置I與檢測物2連成的垂直軸向上，其設有位于鏡體51 —側而與前述垂直軸向平行的光柵52，該光柵52與鏡體51呈四十五度夾角，并與第二檢測裝置4呈垂直；光柵52表面具有規(guī)律性網(wǎng)格狀條紋,其相對于鏡體51的另一側設有發(fā)光二極管(IR)所發(fā)射的第一光源53,該第一光源53向光柵52投射光源,使光柵52上的網(wǎng)格經(jīng)第二分光鏡5的鏡體51折射至檢測物2表面；
[0034]—第二光源6,為一環(huán)形光源,位于第二分光鏡5與檢測物2表面間，并設于第一檢測裝置I與檢測物2連成的垂直軸向上。
[0035]請參閱圖2，該第二光源6以環(huán)狀且垂直方向朝檢測物2表面投射光源，使光路在檢測物2表面呈一百八十度反射,而經(jīng)第二分光鏡5鏡體51及第一分光鏡3的鏡體31,而為具有第一焦距的第一檢測裝置I的C⑶鏡頭所擷取影像；此由第二光源6向檢測物2表面投射，而使第一檢測裝置I擷取影像的光路為第一檢測光路LI。
[0036]請參閱圖3,該第二分光鏡5的IR所發(fā)射的第一光源53以水平方向朝向光柵52投射光源，使光柵52上的網(wǎng)格經(jīng)四十五度偏斜角度的鏡體51偏折，而以九十度角折射方向投射在檢測物2表面，將該光柵52的網(wǎng)格與檢測物2表面影像反射，經(jīng)第二分光鏡5鏡體51及第一分光鏡3的鏡體31折射，而為具有第二焦距的第二檢測裝置4的CXD鏡頭所擷取影像，此由第二分光鏡5的IR發(fā)射第一光源53向光柵52投射，而使第二檢測裝置4擷取影像的光路為第二檢測光路L2。
[0037]所述第一檢測光路LI與第二檢測光路L2的發(fā)光源不同，但其由檢測物2表面反射一第二分光鏡5鏡體51 —第一分光鏡3的光路部份相同，而自第一分光鏡3形成分岐，其雖共同經(jīng)由一第一分光鏡取得檢測物2表面影像，第一檢測裝置I系經(jīng)第一分光鏡直接擷取，且取得檢測物2表面無光柵52上網(wǎng)格的直接影像；第二檢測裝置4則經(jīng)由第一分光鏡3折射而擷取具光柵52上網(wǎng)格的檢測物2表面影像，操作者藉操控由第一檢測裝置I或第二檢測裝置4擷取影像，系統(tǒng)可以控制由第一檢測光路LI或第二檢測光路L2執(zhí)行，以獲得不同焦距CXD鏡頭的取像結果。
[0038]在操作上可以二者同時或經(jīng)由切換決定欲由第一檢測裝置I經(jīng)由第一檢測光路LI擷取影像，或由第二檢測裝置4經(jīng)由第二檢測光路L2擷取影像，而擷取的影像可傳輸反應至可閱讀的屏幕上；其中，第一檢測裝置I經(jīng)由第一檢測光路LI，由于CXD鏡頭垂直該檢測物2，因此，其所擷取者為自檢測物2正面取得的表面影像；第二檢測裝置4經(jīng)由第二檢測光路L2，由于第二檢測裝置4非垂直對應地平行該檢測物2表面，因此，其所擷取者為檢測物2經(jīng)第一分光鏡3的鏡體31分光折射的表面影像，故可抵消光源對檢測物2表面反射的影響，使第二檢測裝置4的CCD鏡頭可不受光源反射干擾地擷取到檢測物2表面細微的瑕疵、凹痕裂痕。
[0039]請參閱圖4，所述光柵52為具有規(guī)律性網(wǎng)格狀條紋的屏蔽，光源向光柵52投射而使規(guī)律性網(wǎng)格狀條紋在檢測物表面遇到瑕疵裂痕時，如圖5所示，藉由CCD鏡頭可以清楚觀測到瑕疵裂痕處網(wǎng)格的變化，并如圖6所示，可將瑕疵裂痕處網(wǎng)格的變化轉化為以方形框圈劃顯示的圖像，呈現(xiàn)標示瑕疵凹痕、裂痕的部位于顯示屏幕中，以供操作人員便利的判讀。
[0040]本實用新型實施例的物件檢測裝置，其以具網(wǎng)格的光柵52屏蔽置于第一光源53前端，使其投射于檢測物2的檢測面上，再藉由第二檢測裝置4的CCD鏡頭架構正確的焦距，清楚觀測檢測物2表面網(wǎng)格變化，并予以標示瑕疵位置以屏幕用圖像顯示；其于檢測物2原第一檢測裝置I的CCD鏡頭檢測項目所需光學機構上，再架構第二組具部份同光路的感測系統(tǒng)，以同時取得不受光源反射干擾而清楚表現(xiàn)檢測物2表面細微瑕疵凹痕、裂痕的網(wǎng)格影像，用戶不僅可以第一檢測裝置I觀測檢測物2表面影像，亦可切換以第二檢測裝置4作排除光源反射干擾的表面細微瑕疵裂痕檢查，不僅可提升檢測速度，亦可達到精確檢測的目的。
[0041]惟以上所述者，僅為本實用新型的較佳實施例而已，當不能以此限定本實用新型實施的范圍，即大凡依本實用新型申請專利范圍及實用新型說明內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本實用新型專利涵蓋的范圍內(nèi)。
【權利要求】
1.一種物件檢測裝置，其特征在于，包括: 第一檢測裝置及第二檢測裝置，二者各具有不同焦距而分別擷取檢測物表面影像，其中，第二檢測裝置擷取檢測物表面影像中光柵網(wǎng)格變化者。
2.如權利要求1所述的物件檢測裝置，其特征在于，該第一檢測裝置及第二檢測裝置共同經(jīng)由第一分光鏡取得檢測物表面影像。
3.一種物件檢測裝置，其特征在于，包括: 具網(wǎng)格的光柵，經(jīng)第一光源投射于檢測物表面； 第二檢測裝置，經(jīng)第一分光鏡的折射擷取檢測物表面具網(wǎng)格影像，由影像中光柵網(wǎng)格變化觀測檢測物的瑕疵凹痕、裂痕者。
4.一種物件檢測裝置，其特征在于，包括: 第二光源，投射檢測物表面，其反射形成第一檢測光路； 具網(wǎng)格的光柵，經(jīng)第一光源投射于檢測物表面形成第二檢測光路； 該第一檢測光路由第一檢測裝置擷取檢測物表面的影像；該第二光路由第二檢測裝置擷取檢測物表面具網(wǎng)格的影像。
5.如權利要求4所述的物件檢測裝置，其特征在于，該第一檢測光路與第二檢測光路在第一分光鏡形成分岐，使第一檢測裝置經(jīng)第一分光鏡直接擷取檢測物表面影像，第二檢測裝置則經(jīng)由第一分光鏡折射而擷取檢測物表面具網(wǎng)格的影像。
6.如權利要求1、3、4任一項所述的物件檢測裝置，其特征在于，該光柵網(wǎng)格先經(jīng)第二分光鏡折射后，再投射至檢測物表面。
7.如權利要求1、3、4任一項所述的物件檢測裝置，其特征在于，該擷取的檢測物表面影像以屏幕予以標示瑕疵位置并用圖像顯示者。
8.如權利要求1、3、4任一項所述的物件檢測裝置，其特征在于，該第二檢測裝置與檢測物表面非垂直對應者。
9.一種物件檢測裝置，其特征在于，包括: 第一檢測裝置，用以擷取檢測物表面影像； 第一分光鏡，其設于第一檢測裝置與檢測物連成的軸向上； 第二檢測裝置，其對應該第一分光鏡，以擷取第一分光鏡折射的檢測物表面影像；第二分光鏡，設于第一檢測裝置與檢測物連成的軸向上，其設有具網(wǎng)格的光柵，第一光源向光柵投射光源，使光柵上的網(wǎng)格經(jīng)第二分光鏡折射至檢測物表面； 第二光源，位于第二分光鏡與檢測物表面間，并設于第一檢測裝置與檢測物連成的垂直軸向上。
10.一種物件檢測裝置，其特征在于，包括: 光柵，具有網(wǎng)格，并受第一光源投射而將網(wǎng)格投射于檢測物表面； 第二檢測裝置，其經(jīng)自第一分光鏡的折射，而擷取該檢測物表面反射的具網(wǎng)格的檢測物表面影像。
11.如權利要求10所述的物件檢測裝置，其特征在于，該光柵的網(wǎng)格先經(jīng)第二分光鏡折射后，再投射至檢測物表面。
【文檔編號】G01N21/95GK203929672SQ201420358669
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年6月30日 優(yōu)先權日:2014年3月4日
【發(fā)明者】陳國慶, 王國倫, 林啟豐 申請人:萬潤科技股份有限公司