電子元件測試模組的啟閉裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種電子元件測試模組的啟閉裝置，其測試模組設(shè)有測試座、蓋體及定位框架，該具散熱結(jié)構(gòu)的蓋體蓋置于測試座上，并與定位框架相互扣合定位，該啟閉裝置包含移載機構(gòu)及啟閉單元，該移載機構(gòu)系設(shè)有作至少一方向位移的移載具，以連結(jié)裝配啟閉單元，該啟閉單元設(shè)有作至少一方向位移的勾具，以勾持開啟定位框架，使蓋體彈性外擺而開啟，該啟閉單元另設(shè)有多個作至少一方向位移的第一壓抵件及第二壓抵件，以分別壓抵蓋體及定位框架相互蓋置定位于測試座上，而關(guān)閉測試模組的蓋體；藉此，可自動化啟閉測試模組，不僅節(jié)省人力成本，并縮短啟閉作業(yè)時間，達到節(jié)省成本及提升測試產(chǎn)能的實用效益。
【專利說明】電子元件測試模組的啟閉裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型提供一種可自動化啟閉測試模組的啟閉裝置，不僅縮減人力，并縮短啟閉作業(yè)時間，進而節(jié)省成本及提升測試產(chǎn)能。

【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)今，電子元件于后段封裝完成后，為確保產(chǎn)品品質(zhì)，會將電子元件置入測試模組的測試座而進行測試作業(yè)，以檢測電子元件于制作過程中是否遭受損壞，以淘汰出不良品，由于電子元件于執(zhí)行測試作業(yè)的過程中，其本身會因執(zhí)行程式作業(yè)而產(chǎn)生自熱，為避免電子元件的自熱溫度超出預(yù)設(shè)的測試溫度，而影響測試品質(zhì)，業(yè)者于測試模組的測試座上方裝配有具散熱結(jié)構(gòu)的蓋體，并利用散熱結(jié)構(gòu)與電子元件作冷熱交換，使電子元件的溫度保持于預(yù)設(shè)的測試溫度范圍內(nèi)，進而確保電子元件的檢測合格率。
[0003]請參閱圖1、2，多個測試模組10裝配于測試電路板20上，各測試模組10包含測試座11、定位框架12及蓋體13，該測試座11設(shè)有容置電子元件的容置槽111，并于容置槽111內(nèi)配置有多個電性連接測試電路板20的探針112，該定位框架12的一端以第一樞軸121樞設(shè)于測試座11的一端，并利用第一樞軸121帶動一扣抵塊122作角度擺動及第一方向(如Z方向)位移，扣抵塊122與測試座11間則設(shè)有第一彈簧123，另于定位框架12的兩側(cè)設(shè)有扣孔124，該蓋體13的一端以第二樞軸131樞設(shè)于測試座11的另一端，并與測試座11間設(shè)有第二彈簧132，蓋體13的另一端則設(shè)有卡扣部133，并于兩側(cè)相對應(yīng)定位框架12的扣孔124位置設(shè)有凸扣件134，另于蓋體13的頂面設(shè)有散熱結(jié)構(gòu)，該散熱結(jié)構(gòu)設(shè)有一凸伸出于蓋體13底面的傳導(dǎo)件135，以接觸傳導(dǎo)電子元件的自熱，并連結(jié)位于蓋體13頂面的散熱鰭片136，該蓋體13壓抵第二彈簧132，并蓋置于測試座11上，該蓋體13的卡扣部133則扣合于扣抵塊122定位，該定位框架12蓋置于測試座11上，并使扣抵塊122壓抵第一彈簧123，該定位框架12的扣孔124則扣合于蓋體13的凸扣件134定位；請參閱圖3，于使用時，工作人員以手部將定位框架12向外扳動，定位框架12即以第一樞軸121為旋轉(zhuǎn)中心，而帶動扣抵塊122向外擺動，令扣抵塊122釋放蓋體13的卡扣部133，以及使扣孔124脫離蓋體13的凸扣件134，蓋體13即利用第二彈簧132的彈力而向外擺動開啟，接著工作人員以手動方式將待測的電子元件30置入于測試座11的容置槽111內(nèi)；請參閱圖4、5，于完成電子元件30上料作業(yè)后，工作人員以手動方式將蓋體13蓋置于測試座11上，令卡扣部133扣合于扣抵塊122定位，并使傳導(dǎo)件135接觸電子元件30，該定位框架12再蓋置于測試座11上，令扣孔124扣合蓋體13的凸扣件134，進而將蓋體13確實定位于測試座11上，使傳導(dǎo)件135接觸傳導(dǎo)電子元件30于測試過程中所產(chǎn)生的自熱，再利用蓋體13頂面的散熱鰭片136散熱，使電子元件30的溫度保持于預(yù)設(shè)測試溫度范圍內(nèi)，進而確保電子元件30的檢測合格率；然而，此一手動啟閉測試模組10的使用方式，具有如下缺失:
[0004]1.業(yè)者以人工作業(yè)方式啟閉測試模組10的定位框架12及蓋體13，若測試模組10數(shù)量龐大時，勢必需配置較多人力逐一啟閉定位框架12及蓋體13，造成增加作業(yè)成本的缺失。
[0005]2.于測試作業(yè)時，工作人員必須費力將多個測試模組10的定位框架12逐一向外扳啟，方可開啟蓋體13，以供電子元件30置入于測試座11，之后，再費力將蓋體13及定位框架12逐一重新蓋置定位于測試座11上，以致人工啟閉作業(yè)不僅耗時費力，亦降低測試產(chǎn)倉泛。
[0006]3.當工作人員以手動方式開啟測試模組10的蓋體13后，又需以手動方式逐一于測試座11取放電子元件30，更增加上下料作業(yè)時間，進而降低測試產(chǎn)能。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實用新型的目的一，是提供一種電子元件測試模組的啟閉裝置，其測試模組設(shè)有測試座、蓋體及定位框架，該具散熱結(jié)構(gòu)的蓋體系置于該測試座上，并與該定位框架相互扣合定位，該啟閉裝置包含移載機構(gòu)及啟閉單元，該移載機構(gòu)設(shè)有作至少一方向位移的移載具，以連結(jié)裝配該啟閉單元，該啟閉單元設(shè)有作至少一方向位移的勾具，以勾持開啟該定位框架，使該蓋體彈性外擺而開啟，該啟閉單元另設(shè)有多個作至少一方向位移的第一壓抵件及第二壓抵件，以分別壓抵該蓋體及該定位框架相互蓋置定位于該測試座上，而關(guān)閉該測試模組的蓋體；藉此，可自動化啟閉測試模組，而大幅縮減人力配置，達到節(jié)省成本的實用效益。
[0008]本實用新型的目的二，是提供一種電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該移載機構(gòu)的移載具帶動該啟閉單元的勾具及第一、二壓抵件位移至該測試模組上方，使該啟閉單元自動化一次啟閉一批次測試模組的蓋體及定位框架，而大幅縮減啟閉蓋體作業(yè)時間，達到提升測試產(chǎn)能的實用效益。
[0009]本實用新型的目的三，是提供一種電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉單元以架板裝配勾具及該第一、二壓抵件，并于該架板與該移載機構(gòu)的移載具間設(shè)有連接結(jié)構(gòu)，該連接結(jié)構(gòu)于該架板與該移載具間設(shè)有相互配合的具卡掣部的第一連結(jié)座及具嵌扣件的第二連結(jié)座，于更換整個啟閉單元時，可采氣動方式驅(qū)動嵌扣件自動化脫離或卡合卡掣部，即可便利裝拆整個啟閉單元，達到提升使用效能的實用效益。
[0010]本實用新型的目的四，是提供一種電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉裝置設(shè)有具至少一拾取器的拾取機構(gòu)，于該啟閉單元自動化開啟測試模組的蓋體后，該拾取機構(gòu)即可以拾取器自動化于該測試座取放電子元件，毋需以人工取放，以大幅縮減上下料作業(yè)時間，達到提升測試產(chǎn)能的實用效益。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為現(xiàn)有測試模組與測試電路板的示意圖；
[0012]圖2為現(xiàn)有測試模組的示意圖；
[0013]圖3為現(xiàn)有手動開啟測試模組的使用示意圖；
[0014]圖4為現(xiàn)有手動關(guān)閉測試模組的使用示意圖(一)；
[0015]圖5為現(xiàn)有手動關(guān)閉測試模組的使用示意圖(二)；
[0016]圖6為本實用新型啟閉裝置的示意圖；
[0017]圖7為本實用新型啟閉裝置的啟閉單元的示意圖；
[0018]圖8為本實用新型啟閉裝置與測試模組的示意圖；
[0019]圖9為本實用新型啟閉裝置開啟測試模組的使用示意圖(一)；
[0020]圖10為本實用新型啟閉裝置開啟測試模組的使用示意圖(二)；
[0021]圖11為本實用新型啟閉裝置開啟測試模組的使用示意圖(三)；
[0022]圖12為本實用新型啟閉裝置開啟測試模組的使用示意圖(四)；
[0023]圖13為本實用新型啟閉裝置關(guān)閉測試模組的使用示意圖(一)；
[0024]圖14為本實用新型啟閉裝置關(guān)閉測試模組的使用示意圖(二)；
[0025]圖15為本實用新型啟閉裝置關(guān)閉測試模組的使用示意圖(三)；
[0026]圖16為本實用新型啟閉裝置關(guān)閉測試模組的使用示意圖(四)；
[0027]圖17為本實用新型啟閉裝置的移載機構(gòu)與啟閉單元的分離示意圖。
[0028]附圖標記說明:測試模組-10 ;測試座-11 ;容置槽-111 ;探針-112 ;定位框架-12 ;第一樞軸-121 ;扣抵塊-122 ;第一彈簧-123 ;扣孔-124 ;蓋體-13 ;第二樞軸-131 ；第二彈簧-132 ;卡扣部-133 ;凸扣件-134 ;傳導(dǎo)件-135 ;散熱鰭片-136 ;測試電路板-20 ；啟閉裝置-40 ;移載機構(gòu)-41 ;第一移送器-411 ;第二移送器-412 ;馬達-4121 ;傳動組-4122 ;機架-413 ;移載具-414 ;第二連結(jié)座-415 ;嵌扣件-4151 ;啟閉單元-42 ;架板-421 ;承置件-4211 ;第一連結(jié)座-422 ;卡掣部-4221 ;第一驅(qū)動源-423 ;勾具-424 ;第一壓抵件-425 ;第二驅(qū)動源-426 ;第二壓抵件-427 ;感測器-428 ;拾取機構(gòu)-43 ;第三移送器-431 ;拾取器-432 ;測試模組-50 ;測試座-51 ;容置槽-511 ;探針-512 ;定位框架_52 ；扳動部-521 ;第三樞軸-522 ;扣抵塊-523 ;第一彈簧-524 ;扣孔-525 ;蓋體-53 ;第四樞軸-531 ;第二彈簧-532 ;卡扣部-533 ;凸扣件-534 ;傳導(dǎo)件-535 ;散熱鰭片-536 ;電子元件-60。

【具體實施方式】
[0029]為對本實用新型作更進一步清楚的闡述，茲舉一較佳實施例并配合圖式，詳述如后:
[0030]請參閱圖6、7，本實用新型啟閉裝置40包含移載機構(gòu)41及啟閉單元42，該移載機構(gòu)41設(shè)有至少一移送器，以移送至少一移載具作至少一方向位移，于本實施例中，該移載機構(gòu)41設(shè)有第一移送器411及第二移送器412，該第一移送器411帶動一裝配有第二移送器412的機架413作較大行程的第一、二方向(如Z — X方向)位移,該第二移送器412設(shè)有馬達4121，以驅(qū)動傳動組4122位移，該傳動組4122包含皮帶輪組及螺桿螺座組，并以螺桿螺座組之螺座經(jīng)連結(jié)架連結(jié)一移載具414，以帶動移載具414作Z方向位移；該啟閉單元42設(shè)有作至少一方向位移的勾具，以勾啟測試模組的定位框架，而開啟測試模組的蓋體，啟閉單元42并設(shè)有多個作至少一方向位移的第一壓抵件及第二壓抵件，以分別壓抵測試模組的蓋體及定位框架蓋置定位于測試座上，而關(guān)閉測試模組的蓋體，更進一步，該啟閉單元42的勾具及第一、二壓抵件可直接裝配于移載具414上，或者裝配于一架板上，再以架板連結(jié)移載具414,于本實施例中，啟閉單兀42設(shè)有一架板421,并于架板421的頂面與移載機構(gòu)41的移載具414間設(shè)有連接結(jié)構(gòu)，該連接結(jié)構(gòu)于架板421與移載具414間設(shè)有相互配合的具卡掣部的第一連結(jié)座及具嵌扣件的第二連結(jié)座，以供裝拆啟閉單元42，于本實施例中，該連接結(jié)構(gòu)于架板421的頂面設(shè)有具卡掣部4221的第一連結(jié)座422，該卡掣部4221可為環(huán)槽，該移載具414于底面相對應(yīng)第一連結(jié)座422的位置設(shè)有第二連結(jié)座415，該第二連結(jié)座415設(shè)有多個可為珠體的嵌扣件4151，并以氣動方式驅(qū)動多個嵌扣件4151卡掣或脫離第一連結(jié)座422的卡掣部4221，另于架板421底部的承置件4211 —側(cè)裝配有可為壓缸的第一驅(qū)動源423，該第一驅(qū)動源423驅(qū)動勾具424作Z方向位移，該承置件4211的底部則裝配有可為滾輪的第一壓抵件425，又該架板421的底部系裝配有呈X方向配置且為壓缸的第二驅(qū)動源426，該第二驅(qū)動源426驅(qū)動可為滾輪的第二壓抵件427作X方向位移，另該啟閉裝置40設(shè)有至少一感測器，用以感測測試模組的蓋體是否開啟，于本實施例中，于啟閉單元42的第一驅(qū)動源423 —側(cè)設(shè)有感測器428。
[0031]請參閱圖8、9，為本實用新型啟閉裝置40應(yīng)用的測試模組50，多個測試模組50配置于測試電路板上，該測試模組50包含測試座51、定位框架52及蓋體53，該測試座51設(shè)有容置電子元件的容置槽511，并于容置槽511內(nèi)配置有多個電性連接測試電路板的探針512,該定位框架52的一端設(shè)有可為橫桿的扳動部521,另一端則以第三樞軸522樞設(shè)于測試座51的一端，并以第三樞軸522帶動一扣抵塊523作角度擺動及Z方向位移，扣抵塊523與測試座51間設(shè)有第三彈簧524，該定位框架52的兩側(cè)設(shè)有扣孔525，該蓋體53的一端以第四樞軸531樞設(shè)于測試座51的另一端,并與測試座51間設(shè)有第四彈簧532,蓋體53的另一端則為卡扣部533，并于兩側(cè)相對應(yīng)定位框架52的扣孔525位置設(shè)有凸扣件534，另于蓋體53的頂面設(shè)有散熱結(jié)構(gòu)，該散熱結(jié)構(gòu)設(shè)有一凸伸出于蓋體53底面的傳導(dǎo)件535，以接觸傳導(dǎo)電子元件的自熱，并連結(jié)位于蓋體53頂面的散熱鰭片536，該蓋體53壓抵第四彈簧532，并蓋置于測試座51上，令卡扣部533扣合于扣抵塊523定位，該定位框架52蓋置于測試座51上，且位于蓋體53的外部，定位框架52帶動扣抵塊523作Z方向位移壓抵第三彈簧524，并令扣孔525扣合于蓋體53的凸扣件534，進而將蓋體53確實定位于測試座51上；于使用啟閉裝置40開啟測試模組50時，該啟閉裝置40的移載機構(gòu)41的第一移送器411載送第二移送器412及啟閉單元42作X方向位移至測試模組50的上方，第二移送器412的馬達4121驅(qū)動傳動組4122,并經(jīng)由傳動組4122帶動移載具414及啟閉單元42作Z方向下降位移，該啟閉單元42的第一驅(qū)動源423則驅(qū)動勾具424作Z方向位移，令勾具424對應(yīng)于測試模組50的定位框架52的扳動部521,接著該移載機構(gòu)41的第一移送器411及第二移送器412帶動啟閉單元42作X — Z方向位移，使啟閉單元42的勾具424勾持該定位框架52的扳動部521向外擺動，并令定位框架52的扣孔525脫離蓋體53的凸扣件534。
[0032]請參閱圖8、9、10，由于定位框架52已無下壓扣抵塊523，該扣抵塊523可利用第三彈簧524的復(fù)位彈力而帶動定位框架52向外彈性擺動，使定位框架52脫離啟閉單元42的勾具424，并釋放蓋體53的卡扣部533，該蓋體53則利用第四彈簧532的復(fù)位彈力，并以第四樞軸531為旋轉(zhuǎn)中心而向外彈性擺動開啟。
[0033]請參閱圖8、11，然為確認測試模組50的蓋體53是否正常開啟，于啟閉單元42的第一驅(qū)動源423驅(qū)動勾具424作Z方向向上位移復(fù)位后,該移載機構(gòu)41的第一移送器411及第二移送器412帶動啟閉單元42作X — Z方向位移，使啟閉單元42的感測器428位于感測作業(yè)高度，使感測器428感測蓋體53是否正常開啟，若無感測到蓋體53，則為異常狀態(tài)，工作人員即需排除異常，以避免影響后續(xù)電子元件上料作業(yè)，若感測到蓋體53，則為正常狀態(tài)，而可繼續(xù)進行電子元件上料作業(yè)。
[0034]請參閱圖8、12，該電子元件上料作業(yè)可采人工上料或自動化上料，由于本實用新型可自動化開啟測試模組50的蓋體53，為使啟閉裝置40—貫自動化作業(yè)，而大幅縮減上下料作業(yè)時間，本實用新型啟閉裝置40更包含設(shè)有拾取機構(gòu)43，該拾取機構(gòu)43設(shè)有至少一取放電子元件的拾取器，以及設(shè)有至少一移送器帶動拾取器作至少一方向位移，于本實施例中，該拾取機構(gòu)43設(shè)有第三移送器431帶動具有待測電子元件60的拾取器432作X方向位移至測試模組50的測試座51上方，第三移送器431再帶動拾取器432作Z方向位移將待測電子元件60置入于測試座51的容置槽511，使待測電子元件60電性接觸測試座51的探針512，于完成上料作業(yè)后，該拾取機構(gòu)43的第三移送器431再帶動拾取器432作X — Z方向位移離開測試模組50的上方。
[0035]請參閱圖8、13、14，于完成電子元件上料作業(yè)后，該啟閉單元42的第二驅(qū)動源426驅(qū)動第二壓抵件427作X方向向外位移，該移載機構(gòu)41的第一移送器411及第二移送器412帶動啟閉單元42作X — Z方向位移，令啟閉單元42的第二壓抵件427位于蓋體53的外側(cè)方；接著啟閉單元42的第二驅(qū)動源426驅(qū)動第二壓抵件427作X方向向內(nèi)位移，令第二壓抵件427壓抵蓋體53作動，該蓋體53即以第四樞軸531為旋轉(zhuǎn)中心而向下擺動，且壓縮第四彈簧532,以蓋置于測試座51上,并令卡扣部533扣合于扣抵塊523而定位。
[0036]請參閱圖8、15，該移載機構(gòu)41的第一移送器411及第二移送器412帶動啟閉單元42作X — Z方向位移，使啟閉單元42的第一壓抵件425壓抵定位框架52作動，定位框架52即以第三樞軸522為旋轉(zhuǎn)中心而向下擺動，并利用第三樞軸522帶動扣抵塊523作Z方向位移，扣抵塊523即下壓彈簧524及蓋體53的卡扣部533，于定位框架52的扣孔525扣合于蓋體53的凸扣件534后，即可確實將蓋體53定位于測試座51上，以關(guān)閉測試座51。
[0037]請參閱圖8、16，該移載機構(gòu)41的第一移送器411及第二移送器412帶動啟閉單元42作X — Z方向位移離開測試模組50,由于蓋體53蓋置于測試座51上時，令傳導(dǎo)件535接觸待測電子元件60，當待測電子元件60于測試座51內(nèi)執(zhí)行測試作業(yè)且產(chǎn)生自熱時，待測電子元件60的自熱可經(jīng)由傳導(dǎo)件535傳導(dǎo)至散熱鰭片536散熱，使得待測電子元件60保持于預(yù)設(shè)的測試溫度范圍內(nèi)，進而確保檢測合格率，當測試完畢后，該啟閉裝置40可利用啟閉單元42開啟測試模組50的定位框架52及蓋體53，進而開啟測試座51以供上下料。
[0038]請參閱圖17，本實用新型的啟閉裝置40可更換啟閉單元42而因應(yīng)不同測試模組，由于移載機構(gòu)41的移載具414與啟閉單元42的架板421利用連接結(jié)構(gòu)的第一連結(jié)座422及第二連結(jié)座415連結(jié)組裝，于更換啟閉單元42時，可采氣動方式驅(qū)動第二連結(jié)座415的嵌扣件4151內(nèi)縮退位而脫離第一連結(jié)座422的卡掣部4221，使移載具414與架板421分離，即可便利更換啟閉單元42，達到提升使用便利性的實用效益。
[0039]以上所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設(shè)計精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進，均應(yīng)落入本實用新型權(quán)利要求書確定的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種電子元件測試模組的啟閉裝置，其特征在于其包含: 移載機構(gòu):設(shè)有至少一移送器，以驅(qū)動至少一移載具作至少一方向位移； 啟閉單元:裝配于該移載機構(gòu)的移載具，并設(shè)有作至少一方向位移的勾具，以勾持該測試模組的定位框架外擺，而開啟該測試模組的蓋體，該啟閉單元另設(shè)有多個作至少一方向位移的第一壓抵件及第二壓抵件，以分別壓抵該定位框架及該蓋體蓋置定位于該測試模組的測試座上，而關(guān)閉該測試模組的蓋體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉裝置的移載機構(gòu)設(shè)有第一移送器及第二移送器，該第一移送器帶動至少一裝配該第二移送器的機架作第一、二方向位移，該第二移送器帶動該移載具及該啟閉單兀作第一方向位移。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該移載機構(gòu)的第二移送器設(shè)有馬達，以驅(qū)動至少一傳動組位移，該傳動組連結(jié)驅(qū)動該移載具位移。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉單元的第一壓抵件及第二壓抵件為滾輪。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉單元設(shè)有第一驅(qū)動源，該第一驅(qū)動源驅(qū)動該勾具作至少一方向位移。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉單元設(shè)有第二驅(qū)動源，該第二驅(qū)動源驅(qū)動該第二壓抵件作至少一方向位移。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉單元設(shè)有至少一架板，并于該架板上裝配有該第一、二驅(qū)動源及該第一壓抵件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉單元的架板與該移載機構(gòu)的移載具間設(shè)有連接結(jié)構(gòu)，該連接結(jié)構(gòu)于該架板與該移載具間設(shè)有相互配合的具卡掣部的第一連結(jié)座及具嵌扣件的第二連結(jié)座。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉裝置設(shè)有至少一感測器，用以感測該測試模組的蓋體是否開啟。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件測試模組的啟閉裝置，其中，該啟閉裝置設(shè)有拾取機構(gòu)，該拾取機構(gòu)設(shè)有至少一取放電子元件的拾取器，以及設(shè)有至少一移送器帶動該拾取器作至少一方向位移。
【文檔編號】G01R1/02GK204142761SQ201420531693
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年9月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月16日
【發(fā)明者】鄭煒彥, 賴正鑫, 陳奐維, 陳彥瑋, 李政勛 申請人:臺灣暹勁股份有限公司