一種掃描頻域干涉儀的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種掃描頻域干涉儀，所述的干涉儀含有寬帶脈沖、脈沖展寬器、部分反射鏡、分束片、被測(cè)樣品、平面反射鏡、光譜儀和條紋相機(jī)。所述脈沖展寬器將寬帶脈沖展寬為線性啁啾脈沖，所述線性啁啾脈沖通過(guò)光學(xué)振蕩腔產(chǎn)生一個(gè)等時(shí)間間隔的脈沖序列，所述光學(xué)振蕩腔由兩塊部分反射鏡構(gòu)成；所述分束片、平面反射鏡和被測(cè)樣品表面構(gòu)成不等臂邁克爾遜干涉儀；所述光譜儀和條紋相機(jī)分別用來(lái)色散啁啾脈沖和記錄頻譜干涉條紋。本實(shí)用新型掃描頻域干涉儀可以在單發(fā)實(shí)驗(yàn)內(nèi)測(cè)量大時(shí)間尺度的物理量變化歷史，測(cè)量具有高時(shí)間分辨的特點(diǎn)。本實(shí)用新型的掃描頻域干涉儀的特點(diǎn)表明其將可以用作持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)、特征位置變化快的物理量測(cè)試系統(tǒng)。
【專利說(shuō)明】 一種掃描頻域干涉儀

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于超快光學(xué)測(cè)試技術(shù)，具體涉及一種掃描頻域干涉儀。

【背景技術(shù)】
[0002]研宄強(qiáng)沖擊波作用下的材料動(dòng)力學(xué)性能，是材料物理領(lǐng)域的熱點(diǎn)問(wèn)題之一。通過(guò)測(cè)量被沖擊材料中的沖擊波速度和粒子速度，有助于推導(dǎo)材料的應(yīng)力-應(yīng)變狀態(tài)和檢驗(yàn)物質(zhì)性態(tài)的理論模型(激光干涉測(cè)速技術(shù)，國(guó)防工業(yè)出版社，胡紹樓)。其中，粒子速度的測(cè)量通常采用自由面速度法，常用的診斷設(shè)備有任意反射面的速度干涉儀(VISAR)、超快顯微干涉儀、頻域干涉儀(FDI)和啁啾脈沖頻域干涉儀(CPSI)等測(cè)試系統(tǒng)。
[0003]VISAR—般應(yīng)用在長(zhǎng)脈沖激光驅(qū)動(dòng)沖擊波的測(cè)量實(shí)驗(yàn)中，其診斷物理量的時(shí)間尺度在ns量級(jí)，但時(shí)間分辨能力通常在數(shù)十ps的水平上(Line-1maging velocimeterfor shock diagnostics at the OMEGA laser facility, Rev.Sc1.1nstrum.，P.M.Celliersj D.K.Bradley, G.W.Collins, D.G.Hicks, T.R.Boehly and W.J.Armstrong),如果物理量在某些特定位置的變化較快，測(cè)試結(jié)果將不能反映變化的細(xì)節(jié)。相對(duì)而言，超快顯微干涉儀和FDI屬于超快測(cè)量技術(shù)，能反映fs時(shí)間尺度的物理量變化，是測(cè)量飛秒激光驅(qū)動(dòng)沖擊波的常見(jiàn)方法，不過(guò)，兩者都屬于離散式點(diǎn)測(cè)試技術(shù)，在測(cè)量一定時(shí)間范圍內(nèi)的物理量變化時(shí)，需要進(jìn)行大量的實(shí)驗(yàn)發(fā)次，因此對(duì)實(shí)驗(yàn)條件的重復(fù)性要求車文高(Single-shot measurement of temporal phase shifts by frequency-domainholography, Opt.Lett., S.P.Le Blanc, E.ff.Gaul, N.H.Mat I is, A.Rundquist,and M.C.Downer)。
[0004]CPSI是指首先將一束寬帶脈沖展寬為線性啁啾脈沖，然后通過(guò)不等臂邁克爾遜干涉儀或馬赫-曾德干涉儀產(chǎn)生具有一定延遲時(shí)間差的兩束脈沖，最后它們(至少一束傳播加載上被測(cè)信號(hào))以共軸傳輸?shù)姆绞竭M(jìn)入光譜儀，在記錄系統(tǒng)中形成頻譜干涉條紋，通過(guò)對(duì)條紋解譜可得隨時(shí)間變化的被測(cè)信號(hào)。CPSI是在FDI基礎(chǔ)上發(fā)展出的一種單發(fā)實(shí)驗(yàn)測(cè)量技術(shù)，它利用線性啁啾脈沖的啁啾特性，實(shí)現(xiàn)了高時(shí)間分辨和連續(xù)測(cè)試的有機(jī)結(jié)合(Single-shot chirped-pulse spectral interferometry used to measure thefemtosecond 1nizat1n dynamics of air，Opt.Lett., C.Y.Chien, B.La Fontaine,A.Desparois, Z.Jiang, T.ff.Johnston, J.C.Kieffer, H.epin, and F.Vidal),從而可以對(duì)快速變化的物理量(如激光驅(qū)動(dòng)沖擊波上升沿)實(shí)施有效測(cè)量。遺憾的是，CPSI的單發(fā)測(cè)量時(shí)間尺度和時(shí)間分辨能力之間是一種相互制約的關(guān)系，當(dāng)單發(fā)測(cè)量的時(shí)間尺度增加時(shí)，相應(yīng)的時(shí)間分辨能力將出現(xiàn)下降，這對(duì)于持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)、特征位置變化快的物理量測(cè)試，仍需多發(fā)實(shí)驗(yàn)才能完成。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種掃描頻域干涉儀，應(yīng)用于持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)、特征位置變化快的物理量測(cè)試。本實(shí)用新型的掃描頻域干涉儀，同時(shí)具有大量程和高時(shí)間分辨的測(cè)試特點(diǎn)，對(duì)物理量變化歷史的測(cè)量均在單發(fā)實(shí)驗(yàn)內(nèi)完成，避免了實(shí)驗(yàn)條件變化對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生的影響。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:
[0007]本實(shí)用新型的掃描頻域干涉儀，包括:
[0008]寬帶脈沖、脈沖展寬器、部分反射鏡、分束片、被測(cè)樣品、平面反射鏡、光譜儀和條紋相機(jī)。
[0009]光束的傳輸過(guò)程是，一束寬帶脈沖首先通過(guò)脈沖展寬器，然后依次垂直入射到兩塊部分反射鏡上，其中，部分反射鏡I的反射光沿原路返回，透射光則垂直入射到部分反射鏡II上，部分反射鏡II的反射光在兩塊部分反射鏡構(gòu)成的振蕩腔內(nèi)振蕩傳輸，透射光則在傳播通過(guò)分束片時(shí)分為透射脈沖和反射脈沖，透射和反射脈沖分別垂直入射到平面反射鏡上和被測(cè)樣品表面，被垂直反射后，兩束脈沖第二次通過(guò)分束片時(shí)實(shí)現(xiàn)同軸合束，然后依次進(jìn)入光譜儀和條紋相機(jī)。
[0010]上述技術(shù)方案中，所述寬帶脈沖為飛秒激光脈沖或超連續(xù)脈沖，脈沖帶寬不小于10 nm0
[0011]可選地，所述脈沖展寬器為光柵展寬器、色散玻璃或其它光學(xué)色散元件中的一種。
[0012]所述脈沖展寬器將寬帶脈沖展寬為線性啁啾脈沖，線性啁啾脈沖為脈沖頻率隨時(shí)間線性變化的脈沖；改變脈沖展寬器的參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)所述線性啁啾脈沖脈寬的調(diào)節(jié)。
[0013]所述部分反射鏡1、部分反射鏡II的反射率和透射率分別為90%，10%O
[0014]所述部分反射鏡I和部分反射鏡II構(gòu)成一個(gè)光學(xué)振蕩腔；從光學(xué)振蕩腔的一端垂直輸入一個(gè)脈沖，另一端則共軸輸出一個(gè)脈沖序列；脈沖序列中相鄰脈沖的光程差等于光學(xué)振蕩腔腔長(zhǎng)的兩倍，即脈沖序列中相鄰脈沖的時(shí)間間隔等于光在振蕩腔內(nèi)往返一次所用的時(shí)間，因此，改變部分反射鏡I和部分反射鏡II之間的相對(duì)距離，可以實(shí)現(xiàn)脈沖序列中相鄰脈沖間隔的調(diào)節(jié)。
[0015]所述分束片的分光比為1:1，分束片、平面反射鏡與被測(cè)樣品表面一起構(gòu)成不等臂邁克爾遜干涉儀；當(dāng)一個(gè)脈沖序列輸入不等臂邁克爾遜干涉儀，輸出為具有固定延遲時(shí)間差且共軸傳輸?shù)膬蓚€(gè)脈沖序列，它們的能量之和是輸入脈沖序列能量的一半，另一半能量返回輸入脈沖序列的入射方向，沒(méi)有被利用，其中，經(jīng)歷被測(cè)樣品表面的脈沖序列為探測(cè)光，經(jīng)歷平面反射鏡的脈沖序列為參考光。
[0016]所述光譜儀和條紋相機(jī)的作用分別是色散進(jìn)入其中的光學(xué)脈沖和記錄產(chǎn)生的頻譜干涉條紋；頻譜干涉條紋由參考光和探測(cè)光之間的頻域干涉產(chǎn)生，干涉條紋方向平行于光譜儀的光譜軸和條紋相機(jī)的空間坐標(biāo)軸，此外，干涉條紋沿條紋相機(jī)的時(shí)間軸方向以一定的間隔周期性出現(xiàn)，間隔代表的時(shí)間長(zhǎng)度等于脈沖序列中的相鄰脈沖間隔；使用數(shù)據(jù)處理程序?qū)︻l譜干涉條紋進(jìn)行解譜，可得被測(cè)樣品表面的運(yùn)動(dòng)速度；系統(tǒng)測(cè)量的最小時(shí)間分辨為，式中，為寬帶脈沖的傅里葉變換極限脈寬，為線性啁啾脈沖的脈寬，系統(tǒng)的測(cè)試量程等于條紋相機(jī)的記錄時(shí)間范圍。
[0017]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，一束寬帶脈沖通過(guò)脈沖展寬器展寬為線性啁啾脈沖；由部分反射鏡I和部分反射鏡II構(gòu)成一個(gè)光學(xué)振蕩腔，線性啁啾脈沖從一端(部分反射鏡I 一側(cè))進(jìn)入其中，光學(xué)振蕩腔的另一端(部分反射鏡II一側(cè))輸出一個(gè)等間隔的啁啾脈沖序列；分束片、平面反射鏡和被測(cè)樣品表面構(gòu)成不等臂邁克爾遜干涉儀，啁啾脈沖序列由分束片導(dǎo)入不等臂邁克爾遜干涉儀，輸出為具有固定延遲時(shí)間差且共軸傳輸?shù)膬蓚€(gè)啁啾脈沖序列，分別為參考光和探測(cè)光，其中，當(dāng)樣品表面因樣品被沖擊而運(yùn)動(dòng)時(shí)，依據(jù)多普勒原理，被其反射的探測(cè)光束將帶有運(yùn)動(dòng)信息；當(dāng)兩個(gè)啁啾脈沖序列繼續(xù)傳播進(jìn)入光譜儀后，被其色散，然后由條紋相機(jī)記錄下兩脈沖序列之間形成的頻譜干涉條紋，頻譜干涉條紋沿條紋相機(jī)的時(shí)間軸方向以一定的間隔周期性出現(xiàn)；通過(guò)對(duì)頻譜干涉條紋進(jìn)行解譜，可得樣品表面在大時(shí)間尺度范圍內(nèi)的高時(shí)間分辨速度變化歷史。
[0018]與現(xiàn)有的任意反射面的速度干涉儀(VISAR)或啁啾脈沖頻域干涉儀(CPSI)相比，上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0019]1、本實(shí)用新型的掃描頻域干涉儀，相對(duì)于VISAR，可以對(duì)特征位置變化快的物理量進(jìn)行有效測(cè)量。
[0020]2、本實(shí)用新型的掃描頻域干涉儀，相對(duì)于CPSI，可以通過(guò)單發(fā)實(shí)驗(yàn)測(cè)量更寬時(shí)間范圍內(nèi)的物理量變化歷史。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的掃描頻域干涉儀工作原理圖；
[0022]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例2中皮秒激光驅(qū)動(dòng)沖擊波自由面速度測(cè)量的掃描頻域干涉儀工作原理圖。
[0023]其中:1.寬帶脈沖 2.脈沖展寬器 3.部分反射鏡I 4.部分反射鏡II 5.被測(cè)樣品 6.分束片I 7.平面反射鏡I 8.光譜儀 9.條紋相機(jī) 10.飛秒激光器 11.分束片II 12.光柵展寬器 13.平面反射鏡II 14.平面反射鏡III 15.平面反射鏡IV 16.平面反射鏡V 17.平面反射鏡VI 18.透鏡 19.平面反射鏡VII。

【具體實(shí)施方式】
[0024]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。
[0025]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型還可以采用不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。
[0026]實(shí)施例1
[0027]圖1所示，本實(shí)用新型的一種掃描頻域干涉儀，外圍設(shè)備超連續(xù)脈沖激光器輸出寬光譜范圍400?2000 nm的超連續(xù)脈沖，通過(guò)外圍光學(xué)元件帶通濾光片后，超連續(xù)脈沖被濾成中心波長(zhǎng)800 nm、帶寬40 nm的寬帶脈沖I ;利用脈沖展寬器2將寬帶脈沖展寬為線性啁啾脈沖，啁啾脈沖的脈寬為200 pso線性啁啾脈沖垂直入射到部分反射鏡I 3上，其中，90%的入射光沿原路返回，剩余10%則透射過(guò)去；當(dāng)透射光束垂直入射到部分反射鏡II 4上時(shí)，10%透射出去，成為啁啾脈沖序列中的第一個(gè)脈沖，剩余90%被垂直反射后在部分反射鏡I 3和部分反射鏡II 4構(gòu)成的光學(xué)振蕩腔內(nèi)振蕩傳輸；光學(xué)振蕩腔的腔長(zhǎng)為30 cm，啁啾脈沖在振蕩傳輸過(guò)程中，每次經(jīng)過(guò)部分反射鏡II 4，便有10%的能量透射出去，依次成為脈沖序列中的后續(xù)脈沖，因此啁啾脈沖序列中相鄰脈沖之間的傳輸時(shí)間差等于脈沖在振蕩腔內(nèi)往返一次的時(shí)間即2 ns。分束片I 6、平面反射鏡I 7和被測(cè)樣品5表面一起構(gòu)成不等臂邁克爾遜干涉儀，其中被測(cè)樣品5表面充當(dāng)邁克爾遜干涉儀的一塊反射鏡；光學(xué)振蕩腔輸出的啁啾脈沖序列向前傳輸過(guò)程中，由分束片I 6導(dǎo)入不等臂邁克爾遜干涉儀，相應(yīng)的輸出為具有固定延遲時(shí)間差3 ps且共軸傳輸?shù)膬蓚€(gè)脈沖序列，其中經(jīng)歷被測(cè)樣品5表面的脈沖序列為探測(cè)光，經(jīng)歷平面反射鏡I 7的脈沖序列為參考光；當(dāng)被測(cè)樣品5表面具有一定的運(yùn)動(dòng)速度時(shí)，跟據(jù)多普勒原理，探測(cè)光束將帶有運(yùn)動(dòng)信息。最后，兩個(gè)啁啾脈沖序列傳輸進(jìn)入光譜儀8，被色散后，由條紋相機(jī)9記錄產(chǎn)生的頻譜干涉條紋；通過(guò)對(duì)頻譜干涉條紋進(jìn)行解譜，可得樣品表面在周期性時(shí)間區(qū)間(周期2 ns，時(shí)間區(qū)間200 ps)內(nèi)高時(shí)間分辨(?2.2 ps)的速度變化歷史。事實(shí)上，適當(dāng)?shù)卦O(shè)置線性啁啾脈沖脈寬、光學(xué)振蕩腔的腔長(zhǎng)和條紋相機(jī)的采樣時(shí)間，這些周期性的測(cè)量時(shí)間區(qū)間可以實(shí)現(xiàn)部分重疊。
[0028]以上對(duì)本實(shí)用新型的掃描頻域干涉儀的光路排布進(jìn)行了詳細(xì)的描述，為了更好的理解本實(shí)用新型的測(cè)量原理，以下將對(duì)本實(shí)用新型掃描頻域干涉儀的具體測(cè)速過(guò)程加以詳細(xì)介紹。
[0029]假設(shè)高斯型入射寬帶脈沖中心波長(zhǎng)800 nm、帶寬40 nm (相應(yīng)傅里葉變換極限脈寬fs);被脈沖展寬器展寬為線性啁啾脈沖后，脈寬ps;令光學(xué)振蕩腔的腔長(zhǎng)為30 cm，線性啁啾脈沖輸入振蕩腔后，輸出是一個(gè)時(shí)間上的脈沖序列，相鄰脈沖間隔為2 ns ;線性啁啾脈沖序列由分束片進(jìn)入不等臂邁克爾遜干涉儀，被分束片分成兩束，其中探測(cè)光(反射部分)垂直入射到被測(cè)樣品表面，如果被測(cè)樣品表面正在以一定的速度運(yùn)動(dòng)，根據(jù)多普勒原理，被其反射的探測(cè)光相位(相對(duì)被測(cè)樣品表面未運(yùn)動(dòng)時(shí))將發(fā)生變化；不等臂邁克爾遜干涉儀輸出的參考光和探測(cè)光具有一定的延遲時(shí)間差(假設(shè)3 ps)，當(dāng)它們先后進(jìn)入光譜儀時(shí)，參考光脈沖序列和探測(cè)光脈沖序列中的對(duì)應(yīng)脈沖(時(shí)間上相差3 ps)之間將發(fā)生頻域干涉。由于條紋相機(jī)(具有時(shí)間掃描功能)耦合在光譜儀上作為最終的記錄設(shè)備，記錄的數(shù)據(jù)圖像由多套相互平行的頻譜干涉條紋構(gòu)成，詳細(xì)地，頻譜條紋方向平行于條紋相機(jī)的空間軸，在條紋相機(jī)的時(shí)間軸方向上，相鄰兩套條紋處于平行狀態(tài)且間隔2 ns。相對(duì)于樣品表面未運(yùn)動(dòng)時(shí)記錄的靜態(tài)條紋，此刻記錄的頻譜干涉條紋將存在移動(dòng)，通過(guò)數(shù)據(jù)處理可以求出條紋移動(dòng)對(duì)應(yīng)的探測(cè)光相位變化，進(jìn)一步利用多普勒相移公式即可求得樣品表面速度。由于探測(cè)光是一個(gè)線性啁啾脈沖序列(脈寬200 ps，相鄰脈沖間隔2 ns)，根據(jù)單幅數(shù)據(jù)圖像得到的樣品表面速度史對(duì)應(yīng)著周期性的時(shí)間區(qū)間，即得到的是樣品表面速度在周期性時(shí)間區(qū)間內(nèi)(周期2 ns，區(qū)間200 ps)的變化歷史，而周期性時(shí)間區(qū)間內(nèi)的測(cè)量具有高時(shí)間分辨(ps)的特點(diǎn)。
[0030]至此完成了此實(shí)施例的掃描頻域干涉儀。
[0031]實(shí)施例2
[0032]本實(shí)施例中的寬帶脈沖為飛秒激光脈沖。在測(cè)量皮秒激光驅(qū)動(dòng)沖擊波卸載時(shí)的樣品自由面速度時(shí)，使用飛秒激光器作為掃描頻域干涉儀的寬帶脈沖光源是較為便利的。飛秒激光器10輸出的飛秒激光脈沖被分束片11分為兩束。其中反射光束首先通過(guò)光柵展寬器12展寬為皮秒脈沖，作為泵浦驅(qū)動(dòng)光束使用；在通過(guò)平面反射鏡13、平面反射鏡14、平面反射鏡15和平面反射鏡16構(gòu)成的延遲光路后，泵浦光被平面反射鏡17反射，并被凸透鏡18聚焦在被測(cè)樣品5前表面，從而在樣品材料中驅(qū)動(dòng)沖擊波；當(dāng)沖擊波傳播到樣品后表面進(jìn)行卸載時(shí)，后表面開(kāi)始運(yùn)動(dòng)。另一束透過(guò)分束片11的飛秒激光脈沖，在被平面反射鏡19反射后，用作掃描頻域干涉儀的入射寬帶脈沖，如圖2所示。
[0033]以上所述，僅是本實(shí)用新型的可選實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制。
[0034]雖然本實(shí)用新型已以可選實(shí)施例披露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案做出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的干涉儀包括:寬帶脈沖、脈沖展寬器、部分反射鏡、分束片、被測(cè)樣品、平面反射鏡、光譜儀和條紋相機(jī)；所述的干涉儀光束的傳輸過(guò)程是，一束寬帶脈沖(I)首先通過(guò)脈沖展寬器(2)，然后依次垂直入射到部分反射鏡I (3)和部分反射鏡II (4)上，其中，部分反射鏡I (3)的反射光沿原路返回，透射光則垂直入射到部分反射鏡II (4)上，部分反射鏡II (4)的反射光在兩塊部分反射鏡構(gòu)成的光學(xué)振蕩腔內(nèi)振蕩傳輸，透射光則在傳播通過(guò)分束片(6 )時(shí)分為兩束脈沖即透射脈沖和反射脈沖，透射脈沖和反射脈沖分別垂直入射到平面反射鏡(7)上和被測(cè)樣品(5)表面，被垂直反射后，兩束脈沖第二次通過(guò)分束片(6)時(shí)實(shí)現(xiàn)同軸合束，然后依次進(jìn)入光譜儀(8)和條紋相機(jī)(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的寬帶脈沖為飛秒激光脈沖或超連續(xù)脈沖，脈沖帶寬大于10 nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的脈沖展寬器為光柵展寬器或色散玻璃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描頻域干涉儀，其特征在于，所述的部分反射鏡I(3)、部分反射鏡II (4)的反射率和透射率分別為90%，10%。
【文檔編號(hào)】G01P3/36GK204188637SQ201420658724
【公開(kāi)日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年11月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月7日
【發(fā)明者】谷渝秋, 范偉, 吳玉遲, 朱斌, 董克攻, 稅敏, 韓丹 申請(qǐng)人:中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心