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      一種可探測(cè)電荷變化特征的傳感器的制作方法

      文檔序號(hào):11249591閱讀:762來(lái)源:國(guó)知局
      一種可探測(cè)電荷變化特征的傳感器的制造方法與工藝

      本發(fā)明涉及一種可探測(cè)電荷變化特征的電荷傳感器。



      背景技術(shù):

      電荷傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究以及日常生活中。在航空航天領(lǐng)域射線強(qiáng)度的檢測(cè),核電子領(lǐng)域中電荷量的測(cè)量,生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中生化反應(yīng)速率的監(jiān)測(cè)中都用到電荷傳感器,甚至我們每天使用的電子產(chǎn)品,如手機(jī)等,也利用電荷傳感器來(lái)檢測(cè)電池的帶電量。

      在探測(cè)電荷的傳感器中,目前主要有諧振式傳感器、電荷積分放大器、電荷靈敏前置放大器、基于比較器的靜態(tài)電荷感應(yīng)器等。諧振式傳感器主要應(yīng)用于微機(jī)電領(lǐng)域,可以探測(cè)電荷量的大小,但由于這是一種機(jī)械結(jié)構(gòu)的傳感器,裝置復(fù)雜、容易老化與損壞。電荷積分放大器可測(cè)量固定量值的電荷,也可以通過輸出電壓峰值的變化感應(yīng)出電荷量的變化,但其不能實(shí)現(xiàn)非接觸式的電荷變化探測(cè)。電荷靈敏前置放大器既可以完全采用高性能集成運(yùn)放,也可由結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管與高性能集成運(yùn)放構(gòu)成,具有噪聲低、響應(yīng)好等優(yōu)點(diǎn),但這種傳感器基于密勒電容機(jī)理,極低頻截止頻率難以實(shí)現(xiàn),且增益隨著輸入電容變化而變化,實(shí)現(xiàn)困難、成本昂貴,一般用于固定目標(biāo)的自身電荷變化探測(cè)?;诒容^器的靜態(tài)電荷感應(yīng)器,其基于運(yùn)放的高輸入阻抗能夠?qū)崿F(xiàn)人體靜電荷量檢測(cè),但由于采用的是一種比較器電路,并不適用于電荷變化實(shí)時(shí)檢測(cè)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      針對(duì)以上現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,本發(fā)明的目的是提出一種可探測(cè)電荷變化特征的傳感器,不僅適用于固定目標(biāo)的自身電荷變化實(shí)時(shí)檢測(cè),亦適用運(yùn)動(dòng)目標(biāo)固定電荷量檢測(cè)。

      為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明提出的技術(shù)方案為:

      一種可探測(cè)電荷變化特征的傳感器,包括電荷獲取模塊、電荷變化處理模塊和需求信息提取模塊,其中,電荷獲取模塊包括探測(cè)極板和超高阻抗電路,電荷變化處理模塊包括微分電路,需求信息提取模塊包括陷波器和濾波器;所述探測(cè)極板用于感應(yīng)目標(biāo)電荷;所述超高阻抗電路將探測(cè)極板上感應(yīng)的目標(biāo)電荷轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)并輸入給微分電路;所述微分電路對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行處理,生成可以表征目標(biāo)電荷特征的電壓信號(hào),再輸入給陷波器;所述陷波器和濾波器對(duì)信號(hào)進(jìn)行噪聲濾除和放大濾波處理,最后輸出需求信號(hào)。

      進(jìn)一步地,所述超高阻抗電路的輸入電容不超過10pf,輸入阻抗達(dá)到百gω量級(jí)。

      進(jìn)一步地,所述微分電路的過零頻率點(diǎn)不超過1hz。

      進(jìn)一步地,所述濾波器為低通濾波器、帶通濾波器、高通濾波器中的一種或多種。

      本發(fā)明提出了一種可探測(cè)電荷變化特征的傳感器,其顯著特征在于基于超高阻抗傳感器和微分電路,能夠?qū)崿F(xiàn)電荷變化特征的探測(cè),具有高靈敏度、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低等顯著優(yōu)點(diǎn)。該電荷傳感器即可實(shí)現(xiàn)自身電荷變化的固定目標(biāo)探測(cè),亦可實(shí)現(xiàn)帶有固定電荷量的移動(dòng)目標(biāo)探測(cè),應(yīng)用范圍廣。

      附圖說(shuō)明

      圖1為本發(fā)明可探測(cè)電荷變化特征的傳感器結(jié)構(gòu)框圖;

      圖2為本發(fā)明實(shí)施例中移動(dòng)目標(biāo)電荷變化特征探測(cè)的電路圖;

      圖3為本發(fā)明實(shí)施例中低通濾波器的輸出信號(hào)實(shí)際波形圖。

      具體實(shí)施方式

      本發(fā)明可探測(cè)電荷變化特征的傳感器包括電荷獲取模塊、電荷變化處理模塊和需求信息提取模塊,分別用于探測(cè)目標(biāo)電荷、給出電荷變化特征和提取需求信息,其結(jié)構(gòu)框圖如附圖1所示,具體描述如下:

      (1)電荷獲取模塊:包括探測(cè)極板和超高阻抗電路,其中探測(cè)極板用于感應(yīng)目標(biāo)電荷,超高阻抗電路用于將極板上感應(yīng)的目標(biāo)電荷轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào),超高阻抗電路的輸入電容不超過10pf,輸入阻抗達(dá)到百gω量級(jí)。

      (2)電荷變化處理模塊:包括微分電路,其過零頻率點(diǎn)不超過1hz,用于給出步驟(1)獲得的電荷信號(hào)變化特征,對(duì)于自身電荷變化的固定目標(biāo)探測(cè),給出自身電荷變化細(xì)節(jié)特征,對(duì)于帶有固定電荷量的移動(dòng)目標(biāo)探測(cè),給出運(yùn)動(dòng)速度、距離等相關(guān)電荷變化特征。

      (3)需求信息提取模塊:包括陷波器以及低通濾波器、帶通濾波器、高通濾波器中的一種或多種,用于對(duì)步驟(2)獲得的信號(hào)進(jìn)行噪聲濾除、放大濾波處理,提取需求信號(hào)。

      為使本發(fā)明所提傳感器更加清楚,將人體看作帶有固定電荷量的移動(dòng)目標(biāo),結(jié)合附圖2詳細(xì)描述其電荷量、運(yùn)動(dòng)距離和運(yùn)動(dòng)速度產(chǎn)生的相關(guān)電荷變化特征檢測(cè)結(jié)果:

      (1)等效成固定帶電荷量的人體距探測(cè)極板2m處正常走動(dòng),速度約1.5m/s,其速度方向平行于電荷獲取模塊的探測(cè)極板,極板采用普通pcb板,尺寸為5cm×3cm。在電荷獲取模塊的探測(cè)極板上感應(yīng)出電荷,電荷獲取模塊中超高阻抗電路的輸入電容c1一端接在運(yùn)算放大器a1的反向輸入端,另一端接地,且其值不超過10pf,輸入阻抗達(dá)到百gω量級(jí),通過超高阻抗電路將電荷轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的電壓信號(hào)。

      (2)電荷變化處理模塊中采用微分電路對(duì)高阻抗電路的電壓信號(hào)進(jìn)行處理,生成可以表征探測(cè)電荷特征的電壓信號(hào)。在本實(shí)施例中,微分電路的電阻r2與電容c3串聯(lián),一端接入運(yùn)算放大器a2的反向輸入端,一端接運(yùn)算放大器a1的輸出,電阻r3并聯(lián)接在運(yùn)算放大器a2的反向輸入端與輸出端之間。微分電路的過零頻率點(diǎn)不超過1hz。微分電路的輸出信號(hào)將會(huì)得到關(guān)于人體的帶電荷量、與極板之間距離以及運(yùn)動(dòng)速度的特征信息。

      (3)需求信息提取模塊中采用陷波器主要是為了去除存在的50hz工頻干擾。在本實(shí)施例中,陷波器的電阻r4與電阻r5串聯(lián),一端接入運(yùn)算放大器a3的同相輸入端,另一端接運(yùn)算放大器a2的輸出端,并且電阻r4與r5之間接入電容c6,電容c6的另一端接地;電容c4與電容c5串聯(lián),一端接入運(yùn)算放大器a3的同相輸入端,另一端接運(yùn)算放大器a2的輸出端,并且電容c4與c5之間接入電阻r6,電阻r6的另一端接地。陷波器的帶寬為47.7-52.6hz,在50hz處的增益為-46.6db。

      (4)需求信息提取模塊中采用的低通、帶通或者高通濾波器可以根據(jù)探測(cè)對(duì)象合理確定頻帶寬度,消除其它頻帶內(nèi)噪聲干擾,并且放大有用信號(hào)。在本實(shí)施例中采用低通濾波器,低通濾波器的電阻r7一端接運(yùn)算放大器a4的反向輸入端,一端接運(yùn)算放大器a3的輸出端,電阻r8和電容c7并聯(lián)接在運(yùn)算放大器a4的反向輸入端與輸出端之間。其截止頻率是16hz,能很大程度上去除16hz以上噪聲信號(hào),并且放大有用信號(hào)。

      (5)本實(shí)施例需求信息提取模塊中低通濾波器的輸出信號(hào)實(shí)際波形如附圖3輸出信號(hào)所示,該輸出波形是用采集到的輸出信號(hào)數(shù)據(jù)通過matlab繪制得到。該波形具有一定的對(duì)稱性,峰峰值為1.52v,波峰與波谷時(shí)間差為0.23s。波形特征與探測(cè)目標(biāo)的人體有關(guān),人體帶電量越多,信號(hào)幅值越大;人體運(yùn)動(dòng)速度越大,信號(hào)越窄;人體距極板越遠(yuǎn),信號(hào)越寬。

      需要說(shuō)明的是上述實(shí)施例,并非用來(lái)限定本發(fā)明的保護(hù)范圍,在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上所作出的等同變換或替換均落入本發(fā)明權(quán)利要求所保護(hù)的范圍。



      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提出了一種可探測(cè)電荷變化特征的傳感器,包括電荷獲取模塊、電荷變化處理模塊和需求信息提取模塊。其中,電荷獲取模塊包括探測(cè)極板和超高阻抗電路,電荷變化處理模塊包括微分電路,需求信息提取模塊包括陷波器和濾波器;探測(cè)極板用于感應(yīng)目標(biāo)電荷;超高阻抗電路將探測(cè)極板上感應(yīng)的目標(biāo)電荷轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)并輸入給微分電路;微分電路對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行處理,生成可以表征目標(biāo)電荷特征的電壓信號(hào),再輸入給陷波器;陷波器和濾波器對(duì)信號(hào)進(jìn)行噪聲濾除和放大濾波處理,最后輸出需求信號(hào)。本發(fā)明的傳感器具有高靈敏度、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低等顯著優(yōu)點(diǎn),即可實(shí)現(xiàn)自身電荷變化的固定目標(biāo)探測(cè),亦可實(shí)現(xiàn)帶有固定電荷量的移動(dòng)目標(biāo)探測(cè)。

      技術(shù)研發(fā)人員:張麗敏;王剛;王舒凡;閆鋒
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:南京大學(xué)
      技術(shù)研發(fā)日:2017.05.10
      技術(shù)公布日:2017.09.15
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