本申請(qǐng)涉及光學(xué)測(cè)量，具體而言，涉及一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)被測(cè)物鏡進(jìn)行測(cè)試時(shí)，通常采用的是如圖1所示的測(cè)試儀器，包括：光源1、聚光鏡2、可變?yōu)V光片3、可變狹縫4、平行光管物鏡5、被測(cè)物鏡6、空間頻率狹縫7、透鏡8、旋轉(zhuǎn)光柵掃描器9、半反半透鏡10、目視觀察鏡11、聚光鏡12和光電接收器13；在具體地實(shí)施過(guò)程中，被測(cè)物鏡6將可變狹縫4成像在旋轉(zhuǎn)光柵掃描器9上，實(shí)現(xiàn)可變狹縫4和旋轉(zhuǎn)光柵掃描器9之間的相對(duì)掃描，有效掃描孔隨時(shí)間變化的光通量由光電接收器13接收后變成電信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)變頻。

2、由于被測(cè)物鏡6至光電接收器13之間的距離很長(zhǎng)，因此，圖1所示的測(cè)試儀器可用于測(cè)量長(zhǎng)焦距、具備一定口徑尺寸、軸線對(duì)稱結(jié)構(gòu)的被測(cè)物鏡，而無(wú)法測(cè)量短焦距、口徑小、軸線不對(duì)稱的被測(cè)物鏡。如何能夠測(cè)試短焦距、小口徑、非軸線對(duì)稱的被測(cè)物鏡，且成本較低，是目前急需解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例的目的在于提供一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置及方法，通過(guò)本申請(qǐng)的實(shí)施例的技術(shù)方案，測(cè)試裝置至少包括：光源模塊、分辨率模塊、陣列移動(dòng)模塊和測(cè)量模塊，其中，分辨率模塊位于光源模塊和陣列移動(dòng)模塊中間，陣列移動(dòng)模塊上放置有待測(cè)陣列；光源模塊用于提供原始光源；分辨率模塊用于根據(jù)原始光源，確定與原始光源對(duì)應(yīng)的周期性光源；陣列移動(dòng)模塊用于移動(dòng)待測(cè)陣列，以使光源模塊的中心、分辨率模塊的中心、待測(cè)陣列的中心和測(cè)量模塊的中心位于同一直線上；測(cè)量模塊用于對(duì)待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照，得到測(cè)量圖像，并根據(jù)測(cè)量圖像，確定與待測(cè)陣列對(duì)應(yīng)的調(diào)制傳遞函數(shù)值，通過(guò)本申請(qǐng)實(shí)施例提供的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，通過(guò)調(diào)節(jié)待測(cè)陣列與測(cè)量模塊之間的距離，對(duì)待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照分析，從而計(jì)算調(diào)制傳遞函數(shù)值，由于待測(cè)陣列和測(cè)量模塊之間的距離可以根據(jù)需要隨意調(diào)節(jié)，因此，可以測(cè)量短焦距的自聚焦透鏡陣列，且測(cè)試效率較高。

2、第一方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例提供了一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，所述測(cè)試裝置至少包括：光源模塊、分辨率模塊、陣列移動(dòng)模塊和測(cè)量模塊，其中，所述分辨率模塊位于所述光源模塊和所述陣列移動(dòng)模塊中間，所述陣列移動(dòng)模塊上放置有待測(cè)陣列；

3、所述光源模塊用于提供原始光源；

4、所述分辨率模塊用于根據(jù)所述原始光源，確定與所述原始光源對(duì)應(yīng)的周期性光源；

5、所述陣列移動(dòng)模塊用于移動(dòng)所述待測(cè)陣列，以使所述光源模塊的中心、所述分辨率模塊的中心、待測(cè)陣列的中心和所述測(cè)量模塊的中心位于同一直線上；

6、所述測(cè)量模塊用于對(duì)所述待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照，得到測(cè)量圖像，并根據(jù)所述測(cè)量圖像，確定與所述待測(cè)陣列對(duì)應(yīng)的調(diào)制傳遞函數(shù)值。

7、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例通過(guò)調(diào)節(jié)待測(cè)陣列與測(cè)量模塊之間的距離，對(duì)待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照，從而計(jì)算調(diào)制傳遞函數(shù)值，由于待測(cè)陣列和測(cè)量模塊之間的距離可以根據(jù)需要隨意調(diào)節(jié)，因此，可以測(cè)量短焦距的自聚焦透鏡陣列，且測(cè)試效率較高。

8、在一些實(shí)施例，所述測(cè)量模塊具體用于：

9、在無(wú)光源的情況下，對(duì)環(huán)境和探測(cè)能量進(jìn)行標(biāo)定，得到標(biāo)定數(shù)值；

10、在所述光源模塊發(fā)出光源的情況下，獲取測(cè)量圖像，并根據(jù)所述測(cè)量圖像，確定測(cè)量數(shù)值；

11、根據(jù)所述測(cè)量數(shù)值和所述標(biāo)定數(shù)值，確定與所述測(cè)量圖像對(duì)應(yīng)的光強(qiáng)最大值和光強(qiáng)最小值；

12、根據(jù)所述光強(qiáng)最大值和所述光強(qiáng)最小值，確定在所述待測(cè)陣列的工作距離下的調(diào)制傳遞函數(shù)值。

13、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例通過(guò)對(duì)環(huán)境和和探測(cè)能量進(jìn)行標(biāo)定，得到標(biāo)定數(shù)值，在根據(jù)預(yù)設(shè)光源獲取測(cè)量圖像，計(jì)算在所述待測(cè)陣列的工作距離下的調(diào)制傳遞函數(shù)值，減少了環(huán)境的干擾，提高了檢測(cè)效率。

14、在一些實(shí)施例，所述陣列移動(dòng)模塊具體用于從三個(gè)不同方向移動(dòng)所述待測(cè)陣列，以使所述光源模塊的中心、所述分辨率模塊的中心、待測(cè)陣列的中心和所述測(cè)量模塊的中心位于同一直線上。

15、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例通過(guò)陣列移動(dòng)模塊對(duì)待測(cè)陣列實(shí)時(shí)移動(dòng)，確保從三個(gè)不同方向移動(dòng)所述待測(cè)陣列，以使所述光源模塊的中心、所述分辨率模塊的中心、待測(cè)陣列的中心和所述測(cè)量模塊的中心位于同一直線上，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

16、在一些實(shí)施例，所述光源模塊用于提供單色或復(fù)色的原始光源。

17、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，可以設(shè)置單色或復(fù)色的原始光源，通過(guò)設(shè)置單色的光源，減少檢測(cè)的干擾因素，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

18、在一些實(shí)施例，所述分辨率模塊至少包括分辨率柵格板，所述分辨率柵格板用于將所述原始光源轉(zhuǎn)換成周期性明暗條紋圖像。

19、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例通過(guò)設(shè)置分辨率柵格板，可以生成清晰的待檢測(cè)目標(biāo)周期頻率的像，便于計(jì)算調(diào)制傳遞函數(shù)值。

20、在一些實(shí)施例，所述測(cè)量模塊至少包括測(cè)量單元和移動(dòng)單元，所述移動(dòng)單元與所述測(cè)量單元相連，所述移動(dòng)單元用于控制所述測(cè)量單元移動(dòng)，以使所述待測(cè)陣列位于所述分辨率模塊和所述測(cè)量單元的中間位置。

21、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例通過(guò)設(shè)置移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)測(cè)量單元在光軸上移動(dòng)，保證被測(cè)陣列時(shí)刻處于工作距離內(nèi)，保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

22、在一些實(shí)施例，所述測(cè)量單元至少包括照相機(jī)或近場(chǎng)分析儀中的一種。

23、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中的測(cè)量可以是照相機(jī)，也可以是近場(chǎng)分析儀，可以獲取成像的照片進(jìn)行能量或相對(duì)能量的分析。

24、在一些實(shí)施例，所述測(cè)試裝置還包括遠(yuǎn)程終端，其中，所述遠(yuǎn)程終端與所述測(cè)量單元相連，所述遠(yuǎn)程終端用于控制所述測(cè)量單元移動(dòng)，以使所述待測(cè)陣列位于所述分辨率模塊和所述測(cè)量單元的中間位置。

25、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例，通過(guò)將測(cè)量單元與遠(yuǎn)程終端相連，可以控制測(cè)量單元移動(dòng)，提高測(cè)量單元的移動(dòng)效率。

26、在一些實(shí)施例，所述測(cè)試裝置還包括勻化模塊，所述勻化模塊位于所述光源模塊和所述分辨率模塊中間，所述勻化模塊用于將所述原始光源均勻化。

27、本申請(qǐng)的一些實(shí)施例通過(guò)勻化模塊對(duì)原始光源進(jìn)行均勻化處理，提高光源成像的準(zhǔn)確性。

28、第二方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例提供了一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試方法，應(yīng)用于第一方面任一所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，所述方法包括：

29、在光源模塊的中心、分辨率模塊的中心、待測(cè)陣列的中心和測(cè)量模塊的中心位于同一直線，且所述待測(cè)陣列位于所述分辨率模塊和所述測(cè)量模塊的中間位置的情況下，對(duì)所述待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照，得到測(cè)量圖像；

30、根據(jù)所述測(cè)量圖像，確定與所述待測(cè)陣列對(duì)應(yīng)的調(diào)制傳遞函數(shù)值。

技術(shù)特征：

1.一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)試裝置至少包括：光源模塊、分辨率模塊、陣列移動(dòng)模塊和測(cè)量模塊，其中，所述分辨率模塊位于所述光源模塊和所述陣列移動(dòng)模塊中間，所述陣列移動(dòng)模塊上放置有待測(cè)陣列；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)量模塊具體用于：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述陣列移動(dòng)模塊具體用于從三個(gè)不同方向移動(dòng)所述待測(cè)陣列，以使所述光源模塊的中心、所述分辨率模塊的中心、待測(cè)陣列的中心和所述測(cè)量模塊的中心位于同一直線上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述光源模塊用于提供單色或復(fù)色的原始光源。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述分辨率模塊至少包括分辨率柵格板，所述分辨率柵格板用于將所述原始光源轉(zhuǎn)換成周期性明暗條紋圖像。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)量模塊至少包括測(cè)量單元和移動(dòng)單元，所述移動(dòng)單元與所述測(cè)量單元相連，所述移動(dòng)單元用于控制所述測(cè)量單元移動(dòng)，以使所述待測(cè)陣列位于所述分辨率模塊和所述測(cè)量單元的中間位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)量單元至少包括照相機(jī)或近場(chǎng)分析儀中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)試裝置還包括遠(yuǎn)程終端，其中，所述遠(yuǎn)程終端與所述測(cè)量單元相連，所述遠(yuǎn)程終端用于控制所述測(cè)量單元移動(dòng)，以使所述待測(cè)陣列位于所述分辨率模塊和所述測(cè)量單元的中間位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，其特征在于，所述測(cè)試裝置還包括勻化模塊，所述勻化模塊位于所述光源模塊和所述分辨率模塊中間，所述勻化模塊用于將所述原始光源均勻化。

10.一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試方法，其特征在于，應(yīng)用于如權(quán)利要求1-9任一所述的自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置，所述方法包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)的一些實(shí)施例提供一種自聚焦透鏡陣列調(diào)制傳遞函數(shù)值的測(cè)試裝置及方法，該裝置包括：光源模塊、分辨率模塊、陣列移動(dòng)模塊和測(cè)量模塊，光源模塊用于提供原始光源；分辨率模塊用于根據(jù)原始光源，確定與原始光源對(duì)應(yīng)的周期性光源；陣列移動(dòng)模塊用于移動(dòng)待測(cè)陣列；測(cè)量模塊用于對(duì)待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照，得到測(cè)量圖像，并根據(jù)測(cè)量圖像，確定與待測(cè)陣列對(duì)應(yīng)的調(diào)制傳遞函數(shù)值，通過(guò)調(diào)節(jié)待測(cè)陣列與測(cè)量模塊之間的距離，對(duì)待測(cè)陣列的成像進(jìn)行拍照分析，從而計(jì)算調(diào)制傳遞函數(shù)值，由于待測(cè)陣列和測(cè)量模塊之間的距離可以根據(jù)需要隨意調(diào)節(jié)，因此，可以測(cè)量短焦距的自聚焦透鏡陣列，且測(cè)試效率較高，且成本較低。

技術(shù)研發(fā)人員：房艷,王旭東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：飛秒光電科技(西安)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19