本技術(shù)涉及探針測試，具體涉及一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置。

背景技術(shù)：

1、探針測試儀是電子加工廠中針對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行測試的設(shè)備，可對半導(dǎo)體晶片的電阻率等性能進(jìn)行檢測，從而可檢測出生產(chǎn)的產(chǎn)品是否合格，是電子加工廠中重要的測試設(shè)備。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，如中國專利公告號為：cn208984755u的一種半導(dǎo)體晶片加工及對晶片進(jìn)行探針測試的裝置，包括半導(dǎo)體晶片檢測裝置，所述半導(dǎo)體晶片檢測裝置上靠近其底部的兩側(cè)開設(shè)有第一斜面。本實(shí)用新型通過設(shè)置移動塊、滾珠和放置塊，當(dāng)需要移動半導(dǎo)體晶片檢測裝置時，轉(zhuǎn)動螺紋桿驅(qū)動與其螺紋連接的兩個移動塊做相離運(yùn)動，使移動塊沿著半導(dǎo)體晶片檢測裝置的兩側(cè)滑動到與地面接觸，然后反向轉(zhuǎn)動螺紋桿，通過螺紋桿將兩個移動塊相向運(yùn)動，將半導(dǎo)體晶片檢測裝置和放置塊抬起，從而方便移動半導(dǎo)體晶片檢測裝置；將移動塊復(fù)位即可，使?jié)L珠懸空，半導(dǎo)體晶片檢測裝置通過放置塊穩(wěn)定地放置在地面上，達(dá)到了移動到合適位置后穩(wěn)定放置半導(dǎo)體晶片檢測裝置的效果。

3、但現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置在使用的過程中，測試儀的位置無法進(jìn)行調(diào)整，影響設(shè)備使用效果，不便于不同身高人員對測試儀的使用，降低了設(shè)備的工作效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，包括底座，所述底座的上表面固定連接有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌的內(nèi)表面滑動連接有移動架，所述移動架的外表面固定連接有滾珠，所述滾珠的外表面與導(dǎo)軌的內(nèi)表面滑動連接，所述導(dǎo)軌的頂部設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置的外表面與移動架的外表面固定連接，所述調(diào)節(jié)裝置的外表面固定連接有測試儀，所述測試儀的外表面固定連接有檢測裝置，將滾珠在底座上的導(dǎo)軌滑行，通過移動架改變調(diào)節(jié)裝置上的測試儀的位置，先將半導(dǎo)體晶片放置在檢測臺上。

2、優(yōu)選的，所述檢測裝置包括固定板，所述固定板的外表面與測試儀的外表面固定連接，所述固定板的上表面固定連接有檢測臺，所述檢測臺的內(nèi)表面滑動連接有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的外表面固定連接有夾板，所述夾板的外表面與檢測臺的內(nèi)表面滑動連接，檢測裝置上的晶片擠壓兩側(cè)的夾板，夾板使檢測臺的壓縮彈簧發(fā)生擠壓，固定板上的夾板相對于晶片發(fā)生相向運(yùn)動，對晶片的兩側(cè)進(jìn)行夾持固定。

3、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)裝置包括轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿的外表面轉(zhuǎn)動連接有移動桿，所述轉(zhuǎn)動桿的外部設(shè)置有錐形柱，所述移動桿的外表面與錐形柱的內(nèi)表面滑動連接，通過設(shè)置調(diào)節(jié)裝置，當(dāng)需要對測試儀的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)時，拉動轉(zhuǎn)動桿，轉(zhuǎn)動桿會帶動移動桿。

4、優(yōu)選的，所述錐形柱的外表面固定連接有伸縮彈簧，所述伸縮彈簧的外部設(shè)置有定位桿，所述定位桿的外表面與錐形柱的外表面滑動連接，所述錐形柱的外表面固定連接有限位筒，所述限位筒的內(nèi)表面與定位桿的外表面滑動連接，轉(zhuǎn)動桿會帶動移動桿上的錐形柱在配合塊的內(nèi)部滑動，使錐形柱上的伸縮彈簧發(fā)生壓縮。

5、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動桿的外表面與定位桿的外表面固定連接，所述定位桿的外表面滑動連接有收縮彈簧，所述收縮彈簧的外表面與轉(zhuǎn)動桿的外表面固定連接，轉(zhuǎn)動桿帶動定位桿在錐形柱上的限位筒上滑動，定位桿使錐形柱進(jìn)入到錐形槽內(nèi)進(jìn)行復(fù)位，通過收縮彈簧對定位桿進(jìn)行復(fù)位。

6、優(yōu)選的，所述移動桿的外表面滑動連接有配合塊，所述配合塊的外表面與移動架的外表面固定連接，所述定位桿的外表面與配合塊的內(nèi)表面滑動連接，所述配合塊的外表面固定連接有升降板，所述測試儀的外表面固定連接有支撐板，所述支撐板的壁中開設(shè)有錐形槽，所述錐形槽的內(nèi)表面與錐形柱的外表面相接觸，所述支撐板的壁中開設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)表面與升降板的外表面滑動連接，錐形柱從錐形槽的內(nèi)壁抽出時，可使升降板在支撐板上的滑槽內(nèi)滑動，將支撐板滑動至人員需要的位置后，松開轉(zhuǎn)動桿，錐形柱對受到伸縮彈簧的彈力作用下，使錐形柱卡進(jìn)支撐板上對應(yīng)的錐形槽的內(nèi)壁。

7、本實(shí)用新型的有益效果如下：

8、1.本實(shí)用新型通過設(shè)置調(diào)節(jié)裝置，拉動轉(zhuǎn)動桿，轉(zhuǎn)動桿會帶動移動桿上的錐形柱在配合塊的內(nèi)部滑動，使錐形柱上的伸縮彈簧發(fā)生壓縮，當(dāng)錐形柱從錐形槽的內(nèi)壁抽出時，可使升降板在支撐板上的滑槽內(nèi)滑動，將支撐板滑動至人員需要的位置后，松開轉(zhuǎn)動桿，錐形柱對受到伸縮彈簧的彈力作用下，使錐形柱推進(jìn)支撐板上對應(yīng)的錐形槽的內(nèi)壁，轉(zhuǎn)動桿帶動定位桿在錐形柱上的限位筒上滑動，定位桿使錐形柱進(jìn)入到錐形槽內(nèi)進(jìn)行復(fù)位，從而完成了對于支撐板位置調(diào)節(jié)后的固定，同樣可滑動測試儀另一側(cè)的支撐板位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)一步完成了對于測試儀高度的調(diào)節(jié)，方便了不同身高工作人員對于測試儀的使用，提高了設(shè)備的工作效率。

9、2.本實(shí)用新型通過設(shè)置檢測裝置，將滾珠在底座上的導(dǎo)軌滑行，通過移動架改變調(diào)節(jié)裝置上的測試儀的位置，先將半導(dǎo)體晶片放置在檢測臺上，檢測裝置上的晶片擠壓兩側(cè)的夾板，夾板使檢測臺的壓縮彈簧發(fā)生擠壓，固定板上的夾板相對于晶片發(fā)生相向運(yùn)動，對晶片的兩側(cè)進(jìn)行夾持固定，防止在檢測時晶片發(fā)生偏移，避免影響設(shè)備的檢測效果，促進(jìn)設(shè)備的工作效果。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定連接有導(dǎo)軌(2)，所述導(dǎo)軌(2)的內(nèi)表面滑動連接有移動架(3)，所述移動架(3)的外表面固定連接有滾珠(31)，所述滾珠(31)的外表面與導(dǎo)軌(2)的內(nèi)表面滑動連接，所述導(dǎo)軌(2)的頂部設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置(4)，所述調(diào)節(jié)裝置(4)的外表面與移動架(3)的外表面固定連接，所述調(diào)節(jié)裝置(4)的外表面固定連接有測試儀(5)，所述測試儀(5)的外表面固定連接有檢測裝置(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，其特征在于：所述檢測裝置(6)包括固定板(7)，所述固定板(7)的外表面與測試儀(5)的外表面固定連接，所述固定板(7)的上表面固定連接有檢測臺(8)，所述檢測臺(8)的內(nèi)表面滑動連接有壓縮彈簧(9)，所述壓縮彈簧(9)的外表面固定連接有夾板(10)，所述夾板(10)的外表面與檢測臺(8)的內(nèi)表面滑動連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置(4)包括轉(zhuǎn)動桿(11)，所述轉(zhuǎn)動桿(11)的外表面轉(zhuǎn)動連接有移動桿(12)，所述轉(zhuǎn)動桿(11)的外部設(shè)置有錐形柱(13)，所述移動桿(12)的外表面與錐形柱(13)的內(nèi)表面滑動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，其特征在于：所述錐形柱(13)的外表面固定連接有伸縮彈簧(14)，所述伸縮彈簧(14)的外部設(shè)置有定位桿(15)，所述定位桿(15)的外表面與錐形柱(13)的外表面滑動連接，所述錐形柱(13)的外表面固定連接有限位筒(151)，所述限位筒(151)的內(nèi)表面與定位桿(15)的外表面滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動桿(11)的外表面與定位桿(15)的外表面固定連接，所述定位桿(15)的外表面滑動連接有收縮彈簧(16)，所述收縮彈簧(16)的外表面與轉(zhuǎn)動桿(11)的外表面固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，其特征在于：所述移動桿(12)的外表面滑動連接有配合塊(19)，所述配合塊(19)的外表面與移動架(3)的外表面固定連接，所述定位桿(15)的外表面與配合塊(19)的內(nèi)表面滑動連接，所述配合塊(19)的外表面固定連接有升降板(20)，所述測試儀(5)的外表面固定連接有支撐板(17)，所述支撐板(17)的壁中開設(shè)有錐形槽(18)，所述錐形槽(18)的內(nèi)表面與錐形柱(13)的外表面相接觸，所述支撐板(17)的壁中開設(shè)有滑槽(21)，所述滑槽(21)內(nèi)表面與升降板(20)的外表面滑動連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于半導(dǎo)體晶片的探針測試裝置，包括底座，所述底座的上表面固定連接有導(dǎo)軌，所述調(diào)節(jié)裝置的外表面固定連接有測試儀，所述測試儀的外表面固定連接有檢測裝置，本技術(shù)涉及探針測試技術(shù)領(lǐng)域。該裝置新型通過設(shè)置調(diào)節(jié)裝置，拉動轉(zhuǎn)動桿，轉(zhuǎn)動桿會帶動移動桿上的錐形柱在配合塊的內(nèi)部滑動，當(dāng)錐形柱從錐形槽的內(nèi)壁抽出時，可使升降板在支撐板上的滑槽內(nèi)滑動，將支撐板滑動至人員需要的位置后，松開轉(zhuǎn)動桿，錐形柱對受到伸縮彈簧的彈力作用下，使錐形柱卡進(jìn)支撐板上對應(yīng)的錐形槽的內(nèi)壁，定位桿使錐形柱進(jìn)入到錐形槽內(nèi)進(jìn)行復(fù)位，從而完成了對于支撐板位置調(diào)節(jié)后的固定，達(dá)到了測試目的。

技術(shù)研發(fā)人員：張巖,許賓賓
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆山君治電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231204
技術(shù)公布日：2024/9/19