本技術(shù)涉及半導(dǎo)體測試的領(lǐng)域，尤其是涉及一種探針調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

1、芯片測試探針是用于測試芯片電路的一種工具，它能夠在芯片表面上接觸到電路引腳，并將測試信號傳遞給芯片，然后根據(jù)芯片的響應(yīng)來判斷芯片電路的性能和功能是否正常。芯片測試探針通常由探頭、導(dǎo)線和連接器組成，其中探頭是與芯片引腳直接接觸的部分。

2、相關(guān)技術(shù)中，當(dāng)部分芯片需要兩根探針同時接觸到一個芯片引腳上進行測試時，通常采用兩根獨立的探針座承載探針，從而分別控制兩個探針座帶動兩根探針抵接到同一芯片引腳上進行測試。

3、然而，相關(guān)技術(shù)中設(shè)置的兩根探針的高度難以保持一致，從而容易導(dǎo)致兩根探針抵接于芯片引腳時的針壓不同，以導(dǎo)致測試結(jié)果不準(zhǔn)確。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實用新型提出一種探針調(diào)節(jié)裝置，具有令兩根探針的高度保持一致，以提高測試結(jié)果的準(zhǔn)確性的效果。

2、根據(jù)本實用新型實施例的一種探針調(diào)節(jié)裝置，包括：固定座；兩個承載件，所述承載件設(shè)置于所述固定座上，所述承載件呈彈性設(shè)置；兩根探針，兩根所述探針分別一一對應(yīng)設(shè)置于兩個所述承載件上，且兩根所述探針能夠抵接于同一個芯片引腳上；針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)包括連接板以及兩個彈性組件，所述連接板的一端固定連接于所述固定座，另一端延伸至所述承載件的底部，兩個所述彈性組件設(shè)置于所述連接板上，兩個所述彈性組件分別一一對應(yīng)于兩個所述承載件，所述彈性組件能夠持續(xù)為所述承載件的頂部提供彈力；調(diào)平組件，所述調(diào)平組件活動設(shè)置于所述固定座上，所述調(diào)平組件能夠帶動其中一個所述承載件抬升。

3、根據(jù)本實用新型實施例的一種探針調(diào)節(jié)裝置，至少包括以下有益效果：當(dāng)探針對芯片進行測試時，首先需要對兩根探針施加針壓，通過彈性組件持續(xù)為承載件的頂部提供彈力，以驅(qū)動承載件下降，從而增大探針的針壓。在針壓調(diào)節(jié)的過程中，通過人為控制兩個彈性組件為承載件提供彈力的大小保持一致。此時，若兩個承載件呈同一高度，則兩根探針的針壓相等；若兩個承載件的高度不一致，通過調(diào)平組件與彈性組件配合，由于調(diào)平組件為承載件提供支撐力，彈性組件為承載件提供壓力，使得兩者呈相反作用力；當(dāng)承載件需要上升時，調(diào)平組件帶動承載件上升；當(dāng)承載件需要下降時，調(diào)平組件能夠為承載件讓位，從而利用彈性組件施加的壓力使得承載件下降，進而使得兩個承載件保持同一高度，從而使得兩根探針的針壓保持一致，以解決了兩根探針的高度難以保持一致，進而導(dǎo)致兩個探針的針壓不同，使得測試結(jié)果不準(zhǔn)確的問題。

4、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述承載件包括承載板以及彈片，所述彈片一端固定連接于所述固定座，另一端連接于所述承載板，所述探針設(shè)置于所述承載板遠離所述彈片的一端，所述彈片能夠產(chǎn)生彈性形變以令所述承載板升降。

5、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述承載板為pcb板，所述pcb板與所述探針電性連接。

6、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述彈性組件包括螺桿、調(diào)節(jié)螺母以及彈性件，所述承載板上貫穿開設(shè)有避位孔，所述避位孔與所述連接板對位，所述螺桿的一端固定連接于所述連接板，另一端豎直向上穿過所述避位孔，所述調(diào)節(jié)螺母與所述螺桿螺紋配合，所述彈性件設(shè)置于所述調(diào)節(jié)螺母與所述承載板之間。

7、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述彈性件包括彈簧，所述彈簧套設(shè)于所述螺桿外，所述彈簧的一端抵接于所述調(diào)節(jié)螺母，另一端抵接于所述承載板。

8、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述螺桿的頂部螺紋配合有限位螺母。

9、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述調(diào)平組件包括調(diào)平螺栓以及限位塊，所述固定座的頂部貫穿開設(shè)有第一螺孔，所述調(diào)平螺栓與所述第一螺孔螺紋配合，所述承載板上開設(shè)有穿孔，所述穿孔與所述第一螺孔對位，所述調(diào)平螺栓的底端穿過穿孔，所述限位塊固定套設(shè)于所述調(diào)平螺栓的端部。

10、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述固定座上設(shè)置有用于鎖緊所述調(diào)平螺栓的鎖緊件。

11、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述鎖緊件包括鎖緊螺栓，所述固定座的一側(cè)開設(shè)有第二螺孔，所述第二螺孔與所述第一螺孔連通，所述第二螺孔與所述鎖緊螺栓螺紋配合，以能夠抵緊所述調(diào)平螺栓。

12、根據(jù)本實用新型的一些實施例，所述連接板上設(shè)置有導(dǎo)電部，在所述探針測試芯片之前，所述導(dǎo)電部的頂部抵接于所述承載板，且抵接于所述承載板時通電，當(dāng)探針抵接于芯片引腳上時，所述導(dǎo)電部脫離所述承載板，以使所述導(dǎo)電部斷電。

技術(shù)特征：

1.一種探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述承載件包括承載板(210)以及彈片(220)，所述彈片(220)一端固定連接于所述固定座(100)，另一端連接于所述承載板(210)，所述探針(300)設(shè)置于所述承載板(210)遠離所述彈片(220)的一端，所述彈片(220)能夠產(chǎn)生彈性形變以令所述承載板(210)升降。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述承載板(210)為pcb板，所述pcb板與所述探針(300)電性連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述彈性組件包括螺桿(421)、調(diào)節(jié)螺母(422)以及彈性件，所述承載板(210)上貫穿開設(shè)有避位孔(424)，所述避位孔(424)與所述連接板(410)對位，所述螺桿(421)的一端固定連接于所述連接板(410)，另一端豎直向上穿過所述避位孔(424)，所述調(diào)節(jié)螺母(422)與所述螺桿(421)螺紋配合，所述彈性件設(shè)置于所述調(diào)節(jié)螺母(422)與所述承載板(210)之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述彈性件包括彈簧(4231)，所述彈簧(4231)套設(shè)于所述螺桿(421)外，所述彈簧(4231)的一端抵接于所述調(diào)節(jié)螺母(422)，另一端抵接于所述承載板(210)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述螺桿(421)的頂部螺紋配合有限位螺母(500)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述調(diào)平組件包括調(diào)平螺栓(710)以及限位塊(720)，所述固定座(100)的頂部貫穿開設(shè)有第一螺孔，所述調(diào)平螺栓(710)與所述第一螺孔螺紋配合，所述承載板(210)上開設(shè)有穿孔(730)，所述穿孔(730)與所述第一螺孔對位，所述調(diào)平螺栓(710)的底端穿過穿孔(730)，所述限位塊(720)固定套設(shè)于所述調(diào)平螺栓(710)的端部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述固定座(100)上設(shè)置有用于鎖緊所述調(diào)平螺栓(710)的鎖緊件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述鎖緊件包括鎖緊螺栓(810)，所述固定座(100)的一側(cè)開設(shè)有第二螺孔，所述第二螺孔與所述第一螺孔連通，所述第二螺孔與所述鎖緊螺栓(810)螺紋配合，以能夠抵緊所述調(diào)平螺栓(710)。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述連接板(410)上設(shè)置有導(dǎo)電部(600)，在所述探針(300)測試芯片之前，所述導(dǎo)電部(600)的頂部抵接于所述承載板(210)，且抵接于所述承載板(210)時通電，當(dāng)探針(300)抵接于芯片引腳上時，所述導(dǎo)電部(600)脫離所述承載板(210)，以使所述導(dǎo)電部(600)斷電。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種探針調(diào)節(jié)裝置，包括：固定座；兩個承載件，承載件設(shè)置于所述固定座上，所述承載件呈彈性設(shè)置；兩根探針，兩根分別一一對應(yīng)設(shè)置于兩個所述承載件上，且兩根探針能夠抵接于同一個芯片引腳上；針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)，針壓調(diào)節(jié)機構(gòu)包括連接板以及兩個彈性組件，連接板的一端固定連接于所述固定座，另一端延伸至所述承載板的底部，兩個彈性組件設(shè)置于所述連接板上，兩個彈性組件分別一一對應(yīng)于兩個承載件，所述彈性組件能夠持續(xù)為所述承載件的頂部提供彈力；調(diào)平組件，調(diào)平組件活動設(shè)置于所述固定座上，所述調(diào)平組件能夠帶動其中一個所述承載件抬升。本申請具有令兩根探針的高度保持一致，以提高測試結(jié)果的準(zhǔn)確性的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：林生財
受保護的技術(shù)使用者：矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231214
技術(shù)公布日：2024/12/19