本技術(shù)涉及晶圓生產(chǎn)，具體為一種用于晶圓封裝的測試工裝。

背景技術(shù)：

1、晶圓的生產(chǎn)過程中封裝測試是非常重要的一步。測試一般分為一般測試和特殊測試，前者是將封裝后的芯片置于各種環(huán)境中檢測其電氣特性，如消耗功率、運(yùn)行速度、耐壓度等，經(jīng)過測試后的芯片，依照其電器特性劃分為不同等級；

2、目前的一種晶圓封裝測試裝置，如公告號cn219320359u的專利所述一種晶圓封裝測試裝置其組成包括：探針臺、玻璃殼、送氣裝置、抽氣裝置和排氣口，所述玻璃殼的頂部與探針臺的頂部固定連接，所述送氣裝置固定連接在玻璃殼的一側(cè)，所述抽氣裝置固定連接在玻璃殼的頂部，所述排氣口固定連接在玻璃殼的頂部一角；裝夾組件，所述裝夾組件包括滑動連接在第二固定板頂部的安裝板；過壓保護(hù)組件，所述過壓保護(hù)組件包括固定安裝在安裝板底部的第二圓桿。該實用新型中，晶圓裝夾方便，具有過壓保護(hù)的功能，保護(hù)晶圓測試時不被損壞。

3、針對上述中的相關(guān)技術(shù)，申請人發(fā)現(xiàn)一種晶圓封裝測試裝置在對晶圓進(jìn)行固定時，需要手動拉動手柄，并在彈簧的抵接下，實現(xiàn)對晶圓的固定，但在對多組晶圓進(jìn)行依次測試時，每個晶圓在進(jìn)行固定時，則會消耗過多的時間，增加晶圓在整個測試工序期間所消耗的時間，降低裝置在對晶圓進(jìn)行測試時的效率。為此，我們提出了一種用于晶圓封裝的測試工裝。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種能提高晶圓測試效率的裝置，可以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于晶圓封裝的測試工裝，包括探針臺，所述探針臺的底部設(shè)有固定臺，所述固定臺的頂部安裝有夾持組件，所述夾持組件包括托板，所述固定臺的頂部開設(shè)有供托板收納的收納槽，所述托板的底部通過齒板傳動連接有雙向螺紋桿，所述雙向螺紋桿的兩端均螺紋連接有螺紋套，所述螺紋套的頂部固設(shè)有傳動桿，所述固定臺的內(nèi)部開設(shè)有供傳動桿滑動的限位槽所述傳動桿的頂部設(shè)有夾板，所述托板與收納槽之間彈性連接有復(fù)位彈簧。

3、通過采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)對晶圓的自動固定。

4、優(yōu)選的，所述探針臺與固定臺之間固定安裝有液壓桿，所述探針臺的頂部設(shè)有玻璃罩，所述玻璃罩的頂部安裝有抽氣裝置，所述玻璃罩頂部靠近抽氣裝置的位置安裝有排氣閥，所述玻璃罩的一端安裝有送氣裝置，所述夾板與傳動桿之間安裝有調(diào)節(jié)組件。

5、通過采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)對晶圓的測試。

6、優(yōu)選的，所述托板底部的拐角處固設(shè)有限位滑桿，所述限位滑桿的呈u型，所述限位滑桿與固定臺之間滑動連接。

7、通過采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)對托板進(jìn)行限位。

8、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)組件包括固定框，所述固定框的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，所述夾板的一端固設(shè)有限位滑塊，所述限位滑塊與固定框的內(nèi)部滑動連接，所述固定框內(nèi)部遠(yuǎn)離限位滑塊的一端滑動連接有固定滑板，所述固定滑板與限位滑塊之間設(shè)有壓縮彈簧，所述固定滑板的一端轉(zhuǎn)動連接有螺紋軸，所述螺紋軸與固定框之間螺紋連接，所述螺紋軸的一端固設(shè)有轉(zhuǎn)盤。

9、通過采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)對夾板與晶圓之間的抵接效果進(jìn)行調(diào)節(jié)。

10、優(yōu)選的，所述壓縮彈簧的一端與限位滑塊之間固定連接，所述壓縮彈簧的另一端與固定滑板之間固定連接。

11、通過采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)對壓縮彈簧進(jìn)行固定。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

13、其一，通過設(shè)置有夾持組件，通過晶圓自重對夾持組件中托板進(jìn)行下壓的方式，實現(xiàn)了對晶圓的自動固定，減少了晶圓在進(jìn)行固定時的步驟，縮短了晶圓在整個封裝工序中所消耗的時間，提高了裝置在對晶圓進(jìn)行測試時的效率。

14、其二，通過設(shè)置有夾板以及調(diào)節(jié)組件，通過調(diào)節(jié)組件中轉(zhuǎn)盤對螺紋軸的驅(qū)動，實現(xiàn)了夾板與晶圓之間抵接效果的快速調(diào)節(jié)，保證了晶圓在固定時的穩(wěn)定性，提高了裝置在使用時的實用性。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓封裝的測試工裝，其特征在于：包括探針臺（1），所述探針臺（1）的底部設(shè)有固定臺（101），所述固定臺（101）的頂部安裝有夾持組件（2），所述夾持組件（2）包括托板（201），所述固定臺（101）的頂部開設(shè)有供托板（201）收納的收納槽（202），所述托板（201）的底部通過齒板（203）傳動連接有雙向螺紋桿（204），所述雙向螺紋桿（204）的兩端均螺紋連接有螺紋套（205），所述螺紋套（205）的頂部固設(shè)有傳動桿（206），所述固定臺（101）的內(nèi)部開設(shè)有供傳動桿（206）滑動的限位槽（2061）所述傳動桿（206）的頂部設(shè)有夾板（207），所述托板（201）與收納槽（202）之間彈性連接有復(fù)位彈簧（208）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓封裝的測試工裝，其特征在于：所述探針臺（1）與固定臺（101）之間固定安裝有液壓桿（102），所述探針臺（1）的頂部設(shè)有玻璃罩（103），所述玻璃罩（103）的頂部安裝有抽氣裝置（104），所述玻璃罩（103）頂部靠近抽氣裝置（104）的位置安裝有排氣閥（105），所述玻璃罩（103）的一端安裝有送氣裝置（106），所述夾板（207）與傳動桿（206）之間安裝有調(diào)節(jié)組件（3）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓封裝的測試工裝，其特征在于：所述托板（201）底部的拐角處固設(shè)有限位滑桿（209），所述限位滑桿（209）的呈u型，所述限位滑桿（209）與固定臺（101）之間滑動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓封裝的測試工裝，其特征在于：所述調(diào)節(jié)組件（3）包括固定框（301），所述固定框（301）的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，所述夾板（207）的一端固設(shè)有限位滑塊（302），所述限位滑塊（302）與固定框（301）的內(nèi)部滑動連接，所述固定框（301）內(nèi)部遠(yuǎn)離限位滑塊（302）的一端滑動連接有固定滑板（303），所述固定滑板（303）與限位滑塊（302）之間設(shè)有壓縮彈簧（304），所述固定滑板（303）的一端轉(zhuǎn)動連接有螺紋軸（305），所述螺紋軸（305）與固定框（301）之間螺紋連接，所述螺紋軸（305）的一端固設(shè)有轉(zhuǎn)盤（3051）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于晶圓封裝的測試工裝，其特征在于：所述壓縮彈簧（304）的一端與限位滑塊（302）之間固定連接，所述壓縮彈簧（304）的另一端與固定滑板（303）之間固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于晶圓封裝的測試工裝，涉及晶圓生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括探針臺，探針臺的底部設(shè)有固定臺，固定臺的頂部安裝有夾持組件，夾持組件包括托板，固定臺的頂部開設(shè)有供托板收納的收納槽，托板的底部通過齒板傳動連接有雙向螺紋桿，雙向螺紋桿的兩端均螺紋連接有螺紋套，螺紋套的頂部固設(shè)有傳動桿，固定臺的內(nèi)部開設(shè)有供傳動桿滑動的限位槽傳動桿的頂部設(shè)有夾板，托板與收納槽之間彈性連接有復(fù)位彈簧。本技術(shù)通過晶圓自重對夾持組件中托板進(jìn)行下壓的方式，實現(xiàn)了對晶圓的自動固定，減少了晶圓在進(jìn)行固定時的步驟，縮短了晶圓在整個封裝工序中所消耗的時間，提高了裝置在對晶圓進(jìn)行測試時的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：張世隆,符耀方,楊兵兵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海東沅集成電路有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231229
技術(shù)公布日：2024/12/19