本公開總體上涉及一種處理系統(tǒng)、檢查系統(tǒng)、處理方法和程序。更具體地，本公開涉及一種均適用于圖像檢查的處理系統(tǒng)、檢查系統(tǒng)、處理方法和程序。

背景技術(shù)：

1、專利文獻(xiàn)1公開了一種判定結(jié)果輸出設(shè)備，其包括第一階段通過/不通過判定器、最終階段通過/不通過判定器和顯示設(shè)備。第一階段合格與否判定器包括多個經(jīng)學(xué)習(xí)的卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(cnn)，每個經(jīng)學(xué)習(xí)的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)輸出已經(jīng)對由輸入圖像數(shù)據(jù)覆蓋的目標(biāo)做出的通過/不通過判定的結(jié)果。多個經(jīng)學(xué)習(xí)的cnn通過在機(jī)器學(xué)習(xí)過程期間向其輸入相互不同類型的訓(xùn)練數(shù)據(jù)來充當(dāng)相互不同的模型。僅當(dāng)由多個經(jīng)學(xué)習(xí)的cnn提供的通過/不通過判定的結(jié)果全部指示通過(go)時，最終階段通過/不通過判定器才判定目標(biāo)通過(即，無缺陷產(chǎn)品)。也就是說，如果由多個經(jīng)學(xué)習(xí)的cnn提供的通過/不通過判定結(jié)果中的至少一個指示不通過(no-go)，則最終階段通過/不通過判定器判定目標(biāo)不通過(即，有缺陷產(chǎn)品)。最終階段通過/不通過判定器向顯示設(shè)備輸出通過/不通過判定的結(jié)果。

2、引用列表

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：jp?2020-46731a

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、如果由多個經(jīng)學(xué)習(xí)的cnn提供的通過/不通過判定的結(jié)果中的至少一個指示不通過，則專利文獻(xiàn)1的判定結(jié)果輸出設(shè)備判定目標(biāo)不通過。這可以降低無法找到有缺陷目標(biāo)的可能性。然而，專利文獻(xiàn)1的判定結(jié)果輸出設(shè)備不能降低錯誤地將實(shí)際上無缺陷的目標(biāo)判定為不通過的可能性(即，不能降低過度檢測的發(fā)生率(在下文中被簡稱為“過度檢測率”))，這是專利文獻(xiàn)1的判定結(jié)果輸出設(shè)備的問題。

2、鑒于前述背景，因此，本公開的目的在于提供一種均有助于降低過度檢測率的處理系統(tǒng)、檢查系統(tǒng)、處理方法和程序。

3、根據(jù)本公開的一方面的處理系統(tǒng)包括輸出標(biāo)準(zhǔn)信息的輸出處理器。標(biāo)準(zhǔn)信息適用于檢查算法，檢查算法用于基于目標(biāo)的圖像數(shù)據(jù)檢查目標(biāo)，從而識別目標(biāo)的類別。標(biāo)準(zhǔn)信息包括關(guān)于要基于通過彼此不同的多個識別算法獲得的識別結(jié)果而定義的判定邊界的信息。判定邊界被用作用于通過檢查算法來確定目標(biāo)的類別是第一類別還是第二類別的標(biāo)準(zhǔn)。多個識別算法中的每個識別算法響應(yīng)于各自表示目標(biāo)的多個圖像數(shù)據(jù)集的輸入而針對多個圖像數(shù)據(jù)集中的每個圖像數(shù)據(jù)集識別類別。指示第一類別或第二類別的標(biāo)簽被附加到多個圖像數(shù)據(jù)集中的每個圖像數(shù)據(jù)集。判定邊界是要基于屬于所述識別結(jié)果的對應(yīng)識別結(jié)果的集合而定義的凸包邊界，該對應(yīng)識別結(jié)果是關(guān)于多個圖像數(shù)據(jù)集之中的被附加有指示第二類別的標(biāo)簽的圖像數(shù)據(jù)集的。

4、根據(jù)本公開的另一方面的檢查系統(tǒng)執(zhí)行應(yīng)用由上述處理系統(tǒng)提供的標(biāo)準(zhǔn)信息的檢查算法。檢查系統(tǒng)包括圖像獲取器、識別結(jié)果獲得器、以及判定器。圖像獲取器獲取目標(biāo)的圖像數(shù)據(jù)。識別結(jié)果獲得器通過將由圖像獲取器獲取的圖像數(shù)據(jù)輸入到多個識別算法中來從多個識別算法獲得識別結(jié)果。判定器基于由識別結(jié)果獲得器獲得的識別結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)信息的凸包邊界之間的位置關(guān)系來做出關(guān)于類別的判定。

5、根據(jù)本公開的又一方面的處理方法包括輸出處理步驟，該輸出處理步驟包括輸出標(biāo)準(zhǔn)信息。標(biāo)準(zhǔn)信息適用于檢查算法，檢查算法用于基于目標(biāo)的圖像數(shù)據(jù)檢查目標(biāo)，從而識別目標(biāo)的類別。標(biāo)準(zhǔn)信息包括關(guān)于要基于通過彼此不同的多個識別算法獲得的識別結(jié)果而定義的判定邊界的信息。判定邊界被用作用于通過檢查算法來確定目標(biāo)的類別是第一類別還是第二類別的標(biāo)準(zhǔn)。多個識別算法中的每個識別算法響應(yīng)于各自表示目標(biāo)的多個圖像數(shù)據(jù)集的輸入而針對多個圖像數(shù)據(jù)集中的每個圖像數(shù)據(jù)集識別類別。指示第一類別或第二類別的標(biāo)簽被附加到多個圖像數(shù)據(jù)集中的每個圖像數(shù)據(jù)集。判定邊界是要基于屬于所述識別結(jié)果的對應(yīng)識別結(jié)果的集合而定義的凸包邊界，該對應(yīng)識別結(jié)果是關(guān)于多個圖像數(shù)據(jù)集之中的被附加有指示第二類別的標(biāo)簽的圖像數(shù)據(jù)集的。

6、根據(jù)本公開的又一方面的程序被設(shè)計(jì)為使一個或多個處理器執(zhí)行上述處理方法。

技術(shù)特征：

1.一種包括輸出處理器的處理系統(tǒng)，所述輸出處理器被配置為輸出標(biāo)準(zhǔn)信息，所述標(biāo)準(zhǔn)信息適用于檢查算法，所述檢查算法用于基于目標(biāo)的圖像數(shù)據(jù)檢查所述目標(biāo)，從而識別所述目標(biāo)的類別，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，還包括算法處理器，所述算法處理器被配置為：將所述多個圖像數(shù)據(jù)集輸入到所述多個識別算法中，并且輸出通過所述多個識別算法獲得的識別結(jié)果。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的處理系統(tǒng)，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，還包括邊界定義器，所述邊界定義器被配置為：基于針對所述多個圖像數(shù)據(jù)集之中的被附加有指示所述第二類別的標(biāo)簽的圖像數(shù)據(jù)集而獲得的對應(yīng)識別結(jié)果來定義所述凸包邊界。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理系統(tǒng)，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理系統(tǒng)，還包括邊界定義器，所述邊界定義器被配置為：基于針對所述多個圖像數(shù)據(jù)集之中的被附加有指示所述第二類別的標(biāo)簽的圖像數(shù)據(jù)集而獲得的對應(yīng)識別結(jié)果來定義所述凸包邊界，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的處理系統(tǒng)，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的處理系統(tǒng)，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的處理系統(tǒng)，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求8至11中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，還包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)，還包括標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整器，所述標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整器被配置為：通過針對所述凸包邊界進(jìn)行預(yù)定裕度調(diào)整以擴(kuò)大被所述凸包邊界包圍的區(qū)域來調(diào)整所述標(biāo)準(zhǔn)。

14.一種檢查系統(tǒng)，被配置為執(zhí)行應(yīng)用由根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的處理系統(tǒng)提供的標(biāo)準(zhǔn)信息的檢查算法，所述檢查系統(tǒng)包括：

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢查系統(tǒng)，其中，

16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的檢查系統(tǒng)，其中，

17.一種處理方法，包括：

18.一種程序，被設(shè)計(jì)為使一個或多個處理器執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求17所述的處理方法。

技術(shù)總結(jié)
本公開的目的是降低過度檢測率。處理系統(tǒng)(1)包括輸出處理器(11)，其輸出適用于檢查算法的標(biāo)準(zhǔn)信息(D1)。標(biāo)準(zhǔn)信息(D1)包括關(guān)于要基于通過彼此不同的多個識別算法(A0)獲得的識別結(jié)果而定義的判定邊界的信息。判定邊界被用作用于通過檢查算法確定目標(biāo)(T1)的類別是第一類別還是第二類別的標(biāo)準(zhǔn)。多個識別算法(A0)中的每個識別算法針對多個圖像數(shù)據(jù)集(DS1)中的每個圖像數(shù)據(jù)集識別類別。判定邊界是要基于屬于識別結(jié)果的對應(yīng)識別結(jié)果的集合而定義的凸包邊界(B1)，該對應(yīng)識別結(jié)果是關(guān)于多個圖像數(shù)據(jù)集(DS1)之中的被附加有指示第二類別的標(biāo)簽的圖像數(shù)據(jù)集(DS1)的。

技術(shù)研發(fā)人員：菅澤裕也,村田久治,杰弗里·納因戈蘭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：松下知識產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/9