這里描述的實(shí)施例的某些方面涉及一種標(biāo)尺、編碼器和該標(biāo)尺的制造方法。

背景技術(shù)：

1、作為編碼器等中使用的標(biāo)尺，已知一種標(biāo)尺，其中樹脂層設(shè)置在玻璃基板上，并且重復(fù)地具有鏡面凹入部分和粗糙表面凸出部分，并且氧化硅層、鋁層和氧化硅層順序地設(shè)置在凸出部分上(參見，例如，日本專利公開no.6-201906)。此外，通過將硫酸銨、氯化銨和硝酸銨單獨(dú)或組合溶解在氫氟酸中，并用其中根據(jù)需要單獨(dú)或組合加入硫酸、鹽酸和硝酸的溶液處理玻璃表面，玻璃表面得以處理。在這種情況下，已知在表面上形成細(xì)小的不規(guī)則性(參見，例如，日本專利申請(qǐng)公開no.7-237934)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在一個(gè)方面中，本發(fā)明的目的在于使得諸如設(shè)置在玻璃基板的下表面上的膜和元件的構(gòu)造物難以被損壞。

2、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種標(biāo)尺，其包括：玻璃基板，其具有磨砂玻璃狀上表面；多個(gè)導(dǎo)體圖案，所述多個(gè)導(dǎo)體圖案以預(yù)定間隔布置在所述玻璃基板的所述上表面上；以及構(gòu)造物，所述構(gòu)造物設(shè)置在所述玻璃基板的下表面上。

3、根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種編碼器，包括：如上所述的標(biāo)尺。

4、根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種標(biāo)尺的制造方法，包括：將玻璃基板的上表面粗糙化為磨砂玻璃狀態(tài)；在所述玻璃基板的下表面上形成一構(gòu)造物；以及在將所述玻璃基板的所述上表面粗糙化為所述磨砂玻璃狀態(tài)并形成所述構(gòu)造物之后，通過激光加工在所述玻璃基板的所述上表面上形成以預(yù)定間隔布置的多個(gè)導(dǎo)體圖案。

技術(shù)特征：

1.一種標(biāo)尺，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)尺，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的標(biāo)尺，

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的標(biāo)尺，其中，所述玻璃基板的下表面是磨砂玻璃狀的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的標(biāo)尺，還包括：

6.一種編碼器，包括：

7.一種標(biāo)尺制造方法，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，還包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了標(biāo)尺、編碼器及標(biāo)尺制造方法。標(biāo)尺包括具有磨砂玻璃狀上表面的玻璃基板、以預(yù)定間隔布置在玻璃基板的上表面上的多個(gè)導(dǎo)體圖案、以及設(shè)置在玻璃基板的下表面上的構(gòu)造物。

技術(shù)研發(fā)人員：三宅耕作
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社三豐
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10