本申請(qǐng)涉及光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在對(duì)micro&mini(微小&迷你)產(chǎn)品進(jìn)行缺陷檢測(cè)時(shí)，例如，對(duì)發(fā)光二極管(light-emitting?diodes，led)進(jìn)行產(chǎn)品的缺陷檢測(cè)時(shí)，可以依據(jù)自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)(automatedoptical?inspection，aoi)對(duì)產(chǎn)品本身及檢測(cè)出的缺陷進(jìn)行坐標(biāo)定位，再通過(guò)電機(jī)移動(dòng)到獨(dú)立高倍顯微鏡相機(jī)下進(jìn)行數(shù)據(jù)讀取并移到自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的檢測(cè)位置進(jìn)行取像。

2、目前micro&mini市場(chǎng)常用測(cè)試方式，僅單獨(dú)進(jìn)行自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)，或復(fù)判基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)后人員單獨(dú)再使用顯微鏡進(jìn)行復(fù)判，采用此方式對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)，未能及時(shí)反饋?zhàn)詣?dòng)化光學(xué)檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果，存在復(fù)判時(shí)檢測(cè)缺陷坐標(biāo)無(wú)法精準(zhǔn)定位的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的至少一個(gè)缺陷或改進(jìn)需求，本發(fā)明提供了一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法及系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)與復(fù)判一體化，提升了micro&mini產(chǎn)品不良缺陷復(fù)判的效率，對(duì)不良缺陷的檢測(cè)信息進(jìn)行快速解析轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)對(duì)于缺陷復(fù)判的快速精確定位，提高了對(duì)于待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行復(fù)判檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的第一個(gè)方面，提供了一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，該方法包括：通過(guò)主相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)，確定待檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)信息，其中，檢測(cè)信息包括待檢測(cè)對(duì)象中異常點(diǎn)位的第一坐標(biāo)，異常點(diǎn)位為待檢測(cè)對(duì)象中缺陷處的點(diǎn)位；基于檢測(cè)信息將第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)，其中，第二坐標(biāo)為世界坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；控制復(fù)判相機(jī)移動(dòng)至第二坐標(biāo)指示的位置，對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判。

3、在一個(gè)示例性實(shí)施例中，基于檢測(cè)信息將第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)包括：確定檢測(cè)信息中第一坐標(biāo)中的第一圖像坐標(biāo)與第二圖像坐標(biāo)；根據(jù)旋轉(zhuǎn)系數(shù)將第一圖像坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為第二坐標(biāo)中的第一世界坐標(biāo)；根據(jù)旋轉(zhuǎn)系數(shù)將第二圖像坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為第二坐標(biāo)中的第二世界坐標(biāo)。

4、在一個(gè)示例性實(shí)施例中，在通過(guò)主相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)，確定待檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)信息之后，方法還包括：在檢測(cè)到的待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位存在至少兩個(gè)的情況下，獲取待檢測(cè)對(duì)象對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)第一坐標(biāo)；在至少兩個(gè)第一坐標(biāo)之間的參數(shù)距離不超過(guò)預(yù)設(shè)值的情況下，控制復(fù)判相機(jī)移動(dòng)至至少兩個(gè)第一坐標(biāo)中任一第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)后所指示的位置；通過(guò)復(fù)判相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判。

5、在一個(gè)示例性實(shí)施例中，在檢測(cè)到的待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位存在至少兩個(gè)的情況下，獲取待檢測(cè)對(duì)象對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)第一坐標(biāo)之后，方法還包括：在至少兩個(gè)第一坐標(biāo)之間的參數(shù)距離超過(guò)預(yù)設(shè)值的情況下，控制復(fù)判相機(jī)分別移動(dòng)至至少兩個(gè)第一坐標(biāo)中每個(gè)第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)后所指示的位置；通過(guò)復(fù)判相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判。

6、在一個(gè)示例性實(shí)施例中，在根據(jù)旋轉(zhuǎn)系數(shù)將第一圖像坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為第二坐標(biāo)中的第一世界坐標(biāo)之前，方法還包括：轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)試標(biāo)定屏至主相機(jī)，通過(guò)主相機(jī)獲取標(biāo)定圖中多個(gè)標(biāo)定點(diǎn)的像素坐標(biāo)，其中，測(cè)試標(biāo)定屏用于顯示標(biāo)定圖；轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)試標(biāo)定屏至復(fù)判相機(jī)，依次移動(dòng)復(fù)判相機(jī)至多個(gè)標(biāo)定點(diǎn)的正上方，獲取復(fù)判相機(jī)標(biāo)定下的多個(gè)標(biāo)定點(diǎn)對(duì)應(yīng)的世界坐標(biāo)；求解像素坐標(biāo)與世界坐標(biāo)之間的仿射變換矩陣；基于放射變換矩陣確定旋轉(zhuǎn)系數(shù)。

7、在一個(gè)示例性實(shí)施例中，控制復(fù)判相機(jī)移動(dòng)至第二坐標(biāo)指示的位置，對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判包括：通過(guò)線(xiàn)性伺服馬達(dá)中的x軸伺服直線(xiàn)電機(jī)控制復(fù)判相機(jī)依據(jù)第二坐標(biāo)沿x軸方向移動(dòng)；通過(guò)線(xiàn)性伺服馬達(dá)中的y軸伺服直線(xiàn)電機(jī)控制置物臺(tái)依據(jù)第二坐標(biāo)沿y軸方向移動(dòng)；基于第二坐標(biāo)位置下的復(fù)判相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判。

8、按照本發(fā)明的第二個(gè)方面，還提供了一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試系統(tǒng)，應(yīng)用如上述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，包括；主相機(jī)，復(fù)判相機(jī)，置物臺(tái)以及線(xiàn)性伺服馬達(dá)；其中，線(xiàn)性伺服馬達(dá)包括x軸伺服直線(xiàn)電機(jī)、y軸伺服直線(xiàn)電機(jī)、z軸伺服直線(xiàn)電機(jī)，x軸伺服直線(xiàn)電機(jī)用于控制復(fù)判相機(jī)沿x軸方向移動(dòng)、y軸伺服直線(xiàn)電機(jī)用于控制置物臺(tái)沿y軸方向移動(dòng)、z軸伺服直線(xiàn)電機(jī)用于控制復(fù)判相機(jī)沿z軸方向移動(dòng)。

9、按照本發(fā)明的第三個(gè)方面，還提供了一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試裝置，其包括：第一確定單元，用于通過(guò)主相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)，確定待檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)信息，其中，檢測(cè)信息包括待檢測(cè)對(duì)象中異常點(diǎn)位的第一坐標(biāo)，異常點(diǎn)位為待檢測(cè)對(duì)象中缺陷處的點(diǎn)位；轉(zhuǎn)化單元，用于基于檢測(cè)信息將第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)，其中，第二坐標(biāo)為復(fù)判相機(jī)坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；移動(dòng)單元，用于控制復(fù)判相機(jī)移動(dòng)至第二坐標(biāo)指示的位置，對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判。

10、按照本發(fā)明的第四個(gè)方面，還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)介質(zhì)，該計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)介質(zhì)中存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其中，該計(jì)算機(jī)程序被設(shè)置為運(yùn)行時(shí)執(zhí)行上述基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法。

11、按照本發(fā)明的第五個(gè)方面，還提供了一種電子裝置，包括存儲(chǔ)器、處理器及存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器上并可在處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序，其中，上述處理器通過(guò)計(jì)算機(jī)程序執(zhí)行上述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法。

12、總體而言，通過(guò)本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠取得下列有益效果：

13、本發(fā)明提供了一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，適用于對(duì)micro&mini產(chǎn)品進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)，先通過(guò)自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)主相機(jī)對(duì)待檢測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行拍攝檢測(cè)，獲取到產(chǎn)品缺陷處的坐標(biāo)定位，將該坐標(biāo)進(jìn)行坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換，通過(guò)線(xiàn)性伺服馬達(dá)帶動(dòng)復(fù)判相機(jī)，即高倍顯微鏡相機(jī)進(jìn)行產(chǎn)品缺陷的復(fù)判，使其移動(dòng)至產(chǎn)品異常坐標(biāo)處進(jìn)行復(fù)判，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)與復(fù)判一體化，對(duì)不良缺陷的檢測(cè)信息進(jìn)行快速解析轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)對(duì)于缺陷復(fù)判的快速精確定位，進(jìn)而提高了對(duì)于待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行復(fù)判檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

技術(shù)特征：

1.一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，其特征在于，所述基于所述檢測(cè)信息將所述第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)包括：

3.如權(quán)利要求1所述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，其特征在于，在所述通過(guò)主相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)，確定所述待檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)信息之后，所述方法還包括：

4.如權(quán)利要求3所述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，其特征在于，在所述在檢測(cè)到的所述待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位存在至少兩個(gè)的情況下，獲取所述待檢測(cè)對(duì)象對(duì)應(yīng)的至少兩個(gè)第一坐標(biāo)之后，所述方法還包括：

5.如權(quán)利要求2所述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，其特征在于，在所述根據(jù)旋轉(zhuǎn)系數(shù)將所述第一圖像坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為所述第二坐標(biāo)中的第一世界坐標(biāo)之前，所述方法還包括：

6.如權(quán)利要求1所述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，其特征在于，所述控制所述復(fù)判相機(jī)移動(dòng)至所述第二坐標(biāo)指示的位置，對(duì)所述待檢測(cè)對(duì)象的所述異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判包括：

7.一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試系統(tǒng)，應(yīng)用如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法，包括：

8.一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試裝置，其特征在于，包括：

9.一種計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)介質(zhì)包括存儲(chǔ)的程序，其中，所述程序運(yùn)行時(shí)執(zhí)行權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的方法。

10.一種電子裝置，包括存儲(chǔ)器和處理器，其特征在于，所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，所述處理器被設(shè)置為通過(guò)所述計(jì)算機(jī)程序執(zhí)行權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的方法。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了一種基于自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)的復(fù)判測(cè)試方法及系統(tǒng)，該方法包括：通過(guò)主相機(jī)對(duì)待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行檢測(cè)，確定待檢測(cè)對(duì)象的檢測(cè)信息，其中，檢測(cè)信息包括待檢測(cè)對(duì)象中異常點(diǎn)位的第一坐標(biāo)，異常點(diǎn)位為待檢測(cè)對(duì)象中缺陷處的點(diǎn)位；基于檢測(cè)信息將第一坐標(biāo)轉(zhuǎn)化為第二坐標(biāo)，其中，第二坐標(biāo)為世界坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；控制復(fù)判相機(jī)移動(dòng)至第二坐標(biāo)指示的位置，對(duì)待檢測(cè)對(duì)象的異常點(diǎn)位進(jìn)行復(fù)判，通過(guò)本申請(qǐng)實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)與復(fù)判一體化，對(duì)不良缺陷的檢測(cè)信息進(jìn)行快速解析轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)對(duì)于缺陷復(fù)判的快速精確定位，進(jìn)而提高了對(duì)于待檢測(cè)對(duì)象進(jìn)行復(fù)判檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：李海洋,鮑海濤,劉敏,王雷,向德虎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢精立電子技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10