本發(fā)明提出了一種ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，涉及環(huán)境檢測。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體高精密元器件質(zhì)量控制行業(yè)中目前控制無塵室潔凈度的方法主要為檢測空氣中的particel含量，表征比較單一，且根據(jù)不同工藝對parts會有不同的離子含量要求；本方法致力于解決半導(dǎo)體集成電路芯片相關(guān)高精密產(chǎn)品表面質(zhì)量控制行業(yè)對潔凈室除particel之外的表征方式。確定無塵室的潔凈度對parts來說可以避免清洗后產(chǎn)品因包裝環(huán)境含有較多離子對產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染，亦可以防止空氣中離子濃度過高對人體造成傷害。因此確定無塵室的潔凈度對半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)高精密產(chǎn)品表面質(zhì)量控制具有重要意義，它是提高產(chǎn)品良率、控制產(chǎn)品質(zhì)量提高客戶滿意度的重要環(huán)節(jié)。

2、ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的技術(shù)，是以離子色譜法(ic)為基礎(chǔ)的一種高效分析方法。離子色譜法是通過測量樣品中各種離子的電導(dǎo)率來檢測和測量離子濃度的技術(shù)，特別適用于空氣中痕量離子的檢測。該技術(shù)主要應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測領(lǐng)域，可以準(zhǔn)確地檢測出空氣中的多種離子，如硫酸鹽、硝酸鹽、銨鹽等，這些離子的存在和濃度對于評估空氣質(zhì)量至關(guān)重要。此外，該技術(shù)也常被應(yīng)用于食品工業(yè)、藥品質(zhì)量控制等領(lǐng)域。ic痕量檢測技術(shù)具有高靈敏度、高分辨率、多組分同時檢測的能力，而且操作相對簡便。它能夠快速、準(zhǔn)確地分離和檢測出復(fù)雜樣品中的多種離子，為科研人員提供大量有價值的數(shù)據(jù)。

3、然而，這項技術(shù)也面臨著一些難點和挑戰(zhàn)。首先是樣品處理問題，由于空氣中的離子濃度通常較低，因此需要對樣品進行有效的前處理和富集，以提高檢測的靈敏度。這一過程可能涉及復(fù)雜的樣品制備步驟，如過濾、濃縮和萃取等，這些操作可能會影響檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。在檢測靈敏度方面，雖然離子色譜法本身具有較高的靈敏度，但實際檢測中仍可能受到多種因素的干擾，如樣品中的雜質(zhì)、基質(zhì)效應(yīng)以及其他離子的干擾。這些因素可能會導(dǎo)致檢測結(jié)果的偏差或誤判。此外，該技術(shù)的缺陷還包括對儀器和操作人員的專業(yè)要求較高，儀器成本和維護費用也相對較高。同時，離子色譜法在檢測某些特殊離子時可能存在局限性，需要特定的色譜柱和檢測條件。

4、總的來說，ic痕量檢測技術(shù)在空氣中多種離子含量的檢測方面具有顯著優(yōu)勢，但仍需在樣品處理和檢測靈敏度方面進行持續(xù)的改進和優(yōu)化。隨著科技的不斷進步和創(chuàng)新，相信這一技術(shù)將在未來得到更廣泛的應(yīng)用和發(fā)展。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述問題，本發(fā)明提供一種ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，包括以下步驟：

2、s1、大氣采樣器收集空氣樣本，并用純化水吸收空氣中的陰陽離子得到樣品液；

3、s2、將樣品液處理用容器在水浴中進行加熱后，陰/陽離子溶液進行淋洗；

4、s3、所得容器采用純水、乙醇、異丙醇混合溶液超聲條件下浸泡后淋洗、干燥；

5、s4、s1所得樣品液置于s3處理所得容器中，用純水定容，得到樣品液，進行ic測試；

6、s5、通過所得圖譜計算得到空氣中的陰陽離子含量。

7、優(yōu)選地，步驟s2所述陰/陽離子溶液，其中的陰/陽離子包括nh4+、f-、ch3coo-、hcoo-、cl-、br-、no2-、no3-、so42-、po43-中的一種或二種以上。

8、優(yōu)選地，所述陰/陽離子溶液中的陰/陽離子，不包括待測目標(biāo)離子。

9、優(yōu)選地，步驟s3所述純水、乙醇、異丙醇的體積比為1:1:1。

10、優(yōu)選地，步驟s3所述超聲處理，超聲時間為1-2h，在35-40℃條件下進行。

11、優(yōu)選地，步驟s2、s3中處理的實驗器具，除樣品液容器外，還包括移液槍槍頭等接觸樣品或樣品液的其他實驗器具。

12、優(yōu)選地，步驟s4中，s1所得樣品液置于s3處理所得容器中，濃縮后用純水定容，得到樣品液，稀釋后進行ic測試。

13、優(yōu)選地，步驟s5所述計算，具體為：痕量陰陽離子污染含量計算公式：

14、

15、x為空氣痕量陰陽離子污染含量，單位為atoms/m3；

16、c1-1為步驟s4測得的待測樣品陰陽離子濃度，單位為ng/l，記為“后值”；

17、c0-1為空白對照的陰陽離子含量，也就是步驟s4測得的空白樣品陰陽離子濃度，單位為ng/l，記為“前值”；

18、v為吸收液的體積，單位為ml；

19、na為阿伏伽德羅常數(shù)：6.022×1023；

20、aw為相對原子質(zhì)量；

21、v空為吸收空氣的總體積，單位為m3；

22、f為稀釋倍數(shù)。

23、有益效果：

24、本發(fā)明的提供的檢測方法，通過優(yōu)化樣品處理以及色譜的條件，獲得了良好的峰型，基質(zhì)干擾小，重現(xiàn)性好；檢測精度高、檢出限低；檢出限(3倍信噪比)為nh4+、f-、ch3coo-、hcoo-、cl-、br-、no2-、no3-、so42-、po43-分別為：3.34、3.34、1.02、1.31、1.7、0.75、1.31、0.97、0.63、0.63，定量限分別為10.02、10.02、3.06、3.93、5.1、2.25、3.93、2.91、1.89、1.89，單位為1010atoms/m3；加標(biāo)回收率為85.0％-112.5％。

技術(shù)特征：

1.一種ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，其特征在于：包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，其特征在于：步驟s2所述陰/陽離子溶液，其中的陰/陽離子包括nh4+、f-、ch3coo-、hcoo-、cl-、br-、no2-、no3-、so42-、po43-中的一種或二種以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，其特征在于：步驟s3所述純水、乙醇、異丙醇的體積比為1:1:1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，其特征在于：步驟s3所述超聲處理，超聲時間為1-2h，在35-40℃條件下進行。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ic痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，其特征在于：步驟s5所述計算，具體為：痕量陰陽離子污染含量計算公式：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種IC痕量檢測空氣中陰陽離子含量的方法，涉及環(huán)境檢測技術(shù)領(lǐng)域。方法包括以下步驟：收集空氣樣本，純化水吸收陰陽離子得到樣品液；將容器水浴加熱后，用陰/陽離子溶液淋洗，用純水、乙醇、異丙醇混合溶液超聲浸泡后淋洗、干燥；樣品液置于容器中，純水定容，得樣品液，進行IC測試；通過所得圖譜計算得到空氣中的陰陽離子含量。本發(fā)明的提供的檢測方法，通過優(yōu)化樣品處理以及色譜的條件，獲得了良好的峰型，基質(zhì)干擾小，重現(xiàn)性好；檢測精度高、檢出限低。

技術(shù)研發(fā)人員：嚴(yán)汪學(xué),靳普云,李偉東,李澤龍,徐鈺虹,張牧,陸琦,薛弘宇,桂傳書
受保護的技術(shù)使用者：江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10