本申請屬于試驗裝置的,尤其涉及一種輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置。
背景技術(shù):
1、輝光光譜儀是一種可以同時進行化學成分和深度檢測的設(shè)備。
2、檢測時需要將平整的樣品覆蓋在激發(fā)孔上進行放電激發(fā),在放電激發(fā)前輝光光譜儀會對樣品作為蓋板的空間進行抽真空。
3、相關(guān)技術(shù)中,當對較薄的樣品進行檢測時,經(jīng)常會出現(xiàn)光譜儀無法放電激發(fā),導致檢測失敗的技術(shù)問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本申請旨在至少能夠在一定程度上解決較薄樣品通過輝光光譜儀進行檢測時,經(jīng)常出現(xiàn)檢測失敗的技術(shù)問題。為此,本申請?zhí)峁┝艘环N輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置。
2、本申請實施例提供的一種輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,用于對輝光光譜儀上的樣品施加作用力,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置包括:
3、外殼和底座,所述外殼與所述底座連接并合圍成安裝腔,所述底座上開設(shè)有多個間隔設(shè)置的吸氣孔,所述外殼用于與所述輝光光譜儀的壓緊機構(gòu)接觸;所述底座上還開設(shè)有供冷卻水流動的冷卻水道和與所述冷卻水道連通的冷卻液入口和冷卻液出口;
4、密封件,安裝于所述底座并突出于所述底座,所述吸氣孔位于所述密封件內(nèi)側(cè),所述密封件用于與所述樣品密封接觸;
5、抽氣件和吸氣管,所述抽氣件和所述吸氣管均安裝在所述安裝腔內(nèi),所述吸氣管連通于所述吸氣孔和所述抽氣件,以對所述樣品施加作用力。
6、在一些實施例中,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置還包括控制器和氣壓傳感器,所述氣壓傳感器和所述抽氣件均與所述控制器電連接;
7、在所述輝光光譜儀對陽極孔進行抽真空的條件下,所述氣壓傳感器用于檢測所述吸氣管內(nèi)的第一氣壓,所述控制器根據(jù)所述陽極孔內(nèi)的第二氣壓和所述第一氣壓,調(diào)節(jié)所述抽氣件,以使所述第一氣壓不大于所述第二氣壓。
8、在一些實施例中,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置還包括安裝在吸氣管上的電磁閥,所述電磁閥與所述控制器電連接,在所述輝光光譜儀對所述陽極孔進行抽真空的條件下,所述控制器控制所述電磁閥開啟;
9、在所述輝光光譜儀對所述陽極孔充入氬氣的條件下,所述控制器控制所述電磁閥關(guān)閉并控制所述抽氣件停止。
10、在一些實施例中,在所述樣品放置在所述底座的條件下,所述控制器控制所述抽氣件工作,以使所述樣品吸附在所述底座上。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置還包括散熱器、水泵、風扇、第一管道和第二管道,所述散熱器、所述水泵、所述風扇、所述第一管道和所述第二管道均安裝在所述安裝腔內(nèi),所述風扇與所述散熱器相對設(shè)置;
11、所述散熱器的入水口與所述冷卻液出口通過所述第一管道連通,所述散熱器的出水口與所述冷卻液入口通過所述第二管道連通,所述水泵安裝在所述第一管道或所述第二管道上,以使散熱器、所述水泵、所述第一管道、所述第二管道和所述底座形成供冷卻介質(zhì)流通的循環(huán)回路。
12、在一些實施例中,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置還包括第一溫度傳感器和第二溫度傳感器,所述第一溫度傳感器安裝于所述底座,用于檢測所述樣品的溫度;所述第二溫度傳感器安裝于所述第二管道上,用于檢測第二管道內(nèi)冷卻液的溫度;所述第一溫度傳感器和所述第二溫度傳感器均與所述控制器電連接,所述控制器還用于根據(jù)所述第一溫度傳感器所檢測的第一溫度和所述第二溫度傳感器所檢測的第二溫度,調(diào)節(jié)所述風扇和所述水泵,以使所述第一溫度滿足要求。
13、在一些實施例中,在所述輝光光譜儀對所述陽極孔進行抽真空的條件下,所述控制器控制所述水泵和所述風扇關(guān)閉;在所述輝光光譜儀對所述陽極孔充入氬氣的條件下,所述控制器控制所述水泵和所述風扇開啟。
14、在一些實施例中,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置還包括安裝在所述底座上且突出于所述底座的定位件,所述定位件用于與所述輝光光譜儀的陰極定位配合。
15、在一些實施例中,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置還包括安裝在所述底座上且突出于所述底座的限位件,所述限位件用于限位所述樣品,所述吸氣孔位于所述限位件內(nèi)側(cè)。
16、在一些實施例中,所述外殼遠離所述底座的側(cè)面開設(shè)有限位槽,所述限位槽的內(nèi)壁用于與所述輝光光譜儀的壓緊機構(gòu)接觸。
17、本發(fā)明至少具有以下有益效果:
18、本申請的申請人創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),對于厚度在幾毫米的較薄的樣品,這些樣品的剛度較低,在光譜儀抽真空的過程中,由于樣品的的厚度較小、剛度較低,且樣品的兩面存在較大氣壓差,抽真空會導致低樣品朝向陽極孔的方向內(nèi)凹變形,內(nèi)凹變形會使樣品與輝光光譜儀的陽極接觸,造成陽極短路,無法完成放電激發(fā)檢測工作,或者樣品內(nèi)凹變形后,樣品與激光光譜儀的密封圈之間不能密閉貼合,導致抽真空失敗,進而無法完成放電激發(fā)工作。
19、基于上述發(fā)現(xiàn),本申請?zhí)峁┮环N輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,包括外殼、底座、密封件、抽氣件和吸氣管,外殼和底座連接并形成安裝腔,在底座上開設(shè)有多個呈間隔設(shè)置的吸氣孔,吸氣管連通于吸氣口與抽氣件,密封件安裝在底座上,且突出于底座,吸氣孔位于密封件內(nèi)側(cè),底座上還開設(shè)有供冷卻水流動的冷卻水道和與冷卻水道連通的冷卻液入口和冷卻液出口。
20、這樣設(shè)計后,輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置的密封件與樣品密封接觸,抽氣件啟動便可對樣品與陽極相背的端面施加吸附力,使得樣品與陽極相背的端面緊緊的吸附在底座上,該吸附力的方向與抽真空時輝光光譜儀為樣品施加的吸附力的方向相反。
21、當輝光光譜儀進行抽真空時,由于輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置為樣品提供了一個反方向的吸附力,從而能夠在一定程度上減小樣品因輝光光譜儀抽真空出現(xiàn)的變形,減小因樣品內(nèi)凹變形致使檢測失敗的概率,擴大了輝光光譜儀的使用范圍,使原先無法完成激發(fā)的低剛度超薄樣品,能夠順利完成激發(fā)。冷卻水道、冷卻液入口和冷卻液出口的設(shè)置,使得樣品激發(fā)的過程中能夠被降溫冷卻,有助于保證樣品的檢測精度。
1.一種輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,用于對輝光光譜儀(200)上的樣品(300)施加作用力,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)還包括控制器(135)和氣壓傳感器(140),所述氣壓傳感器(140)和所述抽氣件(125)均與所述控制器(135)電連接;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)還包括安裝在吸氣管(130)上的電磁閥(195),所述電磁閥(195)與所述控制器(135)電連接,在所述輝光光譜儀(200)對所述陽極孔(220a)進行抽真空的條件下,所述控制器(135)控制所述電磁閥(195)開啟;
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,在所述樣品(300)放置在所述底座(115)的條件下,所述控制器(135)控制所述抽氣件(125)工作,以使所述樣品(300)吸附在所述底座(115)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)還包括散熱器(145)、水泵(150)、風扇(155)、第一管道(160)和第二管道(170),所述散熱器(145)、所述水泵(150)、所述風扇(155)、所述第一管道(160)和所述第二管道(170)均安裝在所述安裝腔(100a)內(nèi),所述風扇(155)與所述散熱器(145)相對設(shè)置;
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)還包括第一溫度傳感器(175)和第二溫度傳感器(180),所述第一溫度傳感器(175)安裝于所述底座(115),用于檢測所述樣品(300)的溫度;所述第二溫度傳感器(180)安裝于所述第二管道(170)上,用于檢測第二管道(170)內(nèi)冷卻液的溫度;所述第一溫度傳感器(175)和所述第二溫度傳感器均與所述控制器(135)電連接,所述控制器(135)還用于根據(jù)所述第一溫度傳感器(175)所檢測的第一溫度和所述第二溫度傳感器所檢測的第二溫度,調(diào)節(jié)所述風扇(155)和所述水泵(150),以使所述第一溫度滿足要求。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,在所述輝光光譜儀(200)對所述陽極孔(220a)進行抽真空的條件下,所述控制器(135)控制所述水泵(150)和所述風扇(155)關(guān)閉;在所述輝光光譜儀(200)對所述陽極孔(220a)充入氬氣的條件下,所述控制器(135)控制所述水泵(150)和所述風扇(155)開啟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)還包括安裝在所述底座(115)上且突出于所述底座(115)的定位件(185),所述定位件(185)用于與所述輝光光譜儀(200)的陰極(230)定位配合。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置(100)還包括安裝在所述底座(115)上且突出于所述底座(115)的限位件(190),所述限位件(190)用于限位所述樣品(300),所述吸氣孔(115a)位于所述限位件(190)內(nèi)側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項所述的輝光光譜儀用樣品激發(fā)輔助裝置,其特征在于,所述外殼(110)遠離所述底座(115)的側(cè)面開設(shè)有限位槽(110a),所述限位槽(110a)的內(nèi)壁用于與所述輝光光譜儀(200)的壓緊機構(gòu)(210)接觸。