本發(fā)明涉及一種對(duì)位裝置，具體為一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，屬于晶圓檢測(cè)。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。

2、經(jīng)過(guò)檢索，公開(kāi)號(hào)為cn220455183u的中國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上方設(shè)置有檢測(cè)裝置，所述工作臺(tái)的頂部固定有支撐框架，所述支撐框架上設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)。本發(fā)明適用不同尺寸晶圓的歸正，方便快捷實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。

3、上述方案中雖然可以適用不同尺寸晶圓歸正檢測(cè)，但是顯微鏡固定在晶圓的正上方，從而只能對(duì)晶圓的頂面進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)用性較低，并不能使顯微鏡對(duì)晶圓側(cè)面的每個(gè)位置進(jìn)行多角度對(duì)位檢測(cè)；為此，我們提供了一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置解決以上問(wèn)；此外，晶圓地常規(guī)夾持結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，缺少上下定位方式，存在跳動(dòng)可能性，也存在落灰地風(fēng)險(xiǎn)，現(xiàn)有技術(shù)中不存在清理機(jī)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術(shù)問(wèn)題

2、本發(fā)明的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中不能使顯微鏡對(duì)晶圓側(cè)面的每個(gè)位置進(jìn)行多角度對(duì)位檢測(cè)的問(wèn)題，同時(shí)提供更穩(wěn)定地夾持。

3、(二)技術(shù)方案

4、本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，包括固定板，固定板為金屬材質(zhì)，所述固定板的上方設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括蝸輪一，所述蝸輪一的底面和固定板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述蝸輪一的頂面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有蝸輪二和轉(zhuǎn)筒，所述蝸輪二的頂面和轉(zhuǎn)筒固定連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿遠(yuǎn)離蝸輪一的一端固定連接有錐齒輪一，所述錐齒輪一的底面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有運(yùn)動(dòng)架，所述運(yùn)動(dòng)架的底面和轉(zhuǎn)筒固定連接，所述運(yùn)動(dòng)架的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)桿。

5、優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)桿的外表面固定連接有錐齒輪二，所述錐齒輪二的外表面和錐齒輪一相嚙合，通過(guò)錐齒輪二的轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠有效的帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿同時(shí)的進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

6、優(yōu)選地，所述固定板的內(nèi)壁固定連接有電機(jī)一，所述電機(jī)一的輸出端固定連接有蝸桿一，所述蝸桿一的外表面和蝸輪一相嚙合，固定板的外表面安裝有電機(jī)一的控制按鈕，通過(guò)控制按鈕能夠有效的開(kāi)啟電機(jī)一使其進(jìn)行工作。

7、優(yōu)選地，所述固定板的頂面固定連接有固定塊，所述固定塊的內(nèi)壁固定連接有電機(jī)二，所述電機(jī)二的輸出端固定連接有蝸桿二，所述蝸桿二的外表面和蝸輪二相嚙合，固定板的外表面安裝有電機(jī)二的控制按鈕，通過(guò)控制按鈕能夠有效的開(kāi)啟電機(jī)二使其進(jìn)行工作。

8、優(yōu)選地，所述固定板的頂面固定連接有連接板，所述連接板的內(nèi)壁固定連接有顯微鏡本體，通過(guò)顯微鏡本體的設(shè)置能夠有效的對(duì)晶圓進(jìn)行觀測(cè)檢查。

9、優(yōu)選地，所述固定板的上方設(shè)置有對(duì)位機(jī)構(gòu)，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)包括承載板，所述承載板的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊的內(nèi)壁螺紋連接有雙向螺桿，所述雙向螺桿的兩端和承載板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，雙向螺桿的一端固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)把手，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)把手能夠更便捷的驅(qū)動(dòng)雙向螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)。

10、優(yōu)選地，所述滑動(dòng)塊的頂面固定連接有夾緊板，所述承載板的內(nèi)壁固定連接有滑桿，所述滑桿的外表面和滑動(dòng)塊滑動(dòng)連接，通過(guò)驅(qū)動(dòng)雙向螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)能夠有效的帶動(dòng)兩個(gè)夾緊板同時(shí)相對(duì)的向承載板的中心處移動(dòng)。

11、優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)桿的外表面固定連接有從動(dòng)板，所述從動(dòng)板的頂面和承載板固定連接，通過(guò)轉(zhuǎn)桿的運(yùn)動(dòng)，能夠同時(shí)的帶動(dòng)從動(dòng)板進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。

12、優(yōu)選地，還包括多組上下定位機(jī)構(gòu)，夾緊板兩側(cè)為齒條，上下定位機(jī)構(gòu)包括控制桿、控制頭、控制齒、控制球，承載板上設(shè)置有螺紋孔，螺紋孔上為圓孔，圓孔可容納控制齒，控制桿頂部固定有控制頭，控制頭呈圓盤(pán)狀，控制齒固定設(shè)置在控制桿上部，控制球固定設(shè)置在控制桿下端，控制頭用于控制上夾持部實(shí)現(xiàn)夾持，控制球用于控制下夾持部實(shí)現(xiàn)夾持，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓地上下夾持，齒條通過(guò)中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)或者直接與控制齒配合實(shí)現(xiàn)夾持晶圓。

13、優(yōu)選地，多個(gè)上夾持部沿著控制頭周向布置連接，上夾持部包括限位部一，限位部一固定在控制頭上側(cè)，控制頭與懸浮夾持板一的右側(cè)鉸接連接，懸浮夾持板一設(shè)置在限位部一下側(cè)，懸浮夾持板一左側(cè)與懸浮夾持板二右側(cè)鉸接，懸浮夾持板一左側(cè)上端設(shè)置有限位部二，懸浮夾持板二設(shè)置在限位部二下端。

14、優(yōu)選地，還包括清掃裝置一，清掃裝置一設(shè)置在懸浮夾持板二上，清掃裝置一包括清掃板，清掃板下端設(shè)置有刷毛，清掃板設(shè)置在懸浮夾持板二下端開(kāi)設(shè)地滑槽一內(nèi)，清掃板與滑槽一底部通過(guò)彈簧連接，夾持塊一固定設(shè)置在懸浮夾持板二固定槽內(nèi)，夾持塊一可以為可變形材質(zhì)，如橡膠塊等，夾持塊一內(nèi)開(kāi)設(shè)提升機(jī)構(gòu)，用于控制清掃板地提升。

15、本發(fā)明提供了一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其具備的有益效果如下：

16、1、該晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置通過(guò)蝸輪一、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、蝸輪二、轉(zhuǎn)筒、錐齒輪一、運(yùn)動(dòng)架、轉(zhuǎn)桿、錐齒輪二、電機(jī)一、蝸桿一、固定塊、電機(jī)二和蝸桿二的配合設(shè)置，通過(guò)單獨(dú)驅(qū)動(dòng)蝸桿一轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠有效的帶動(dòng)轉(zhuǎn)桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)同時(shí)驅(qū)動(dòng)蝸桿一和蝸桿二轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠有效的帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)架轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明通過(guò)轉(zhuǎn)桿和運(yùn)動(dòng)架的轉(zhuǎn)動(dòng)使承載板進(jìn)行多方位自動(dòng)調(diào)節(jié)，有效的使顯微鏡本體能夠?qū)A側(cè)面的每個(gè)位置進(jìn)行多角度的對(duì)位檢測(cè)，進(jìn)一步的使本裝置更具有實(shí)用性。

17、2、該晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置通過(guò)承載板、滑動(dòng)塊、雙向螺桿、夾緊板、滑桿和雙向螺桿的配合設(shè)置，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)雙向螺桿的操作使兩個(gè)夾緊板同時(shí)相互的向承載板的中心處移動(dòng)，能夠有效的對(duì)晶圓進(jìn)行擠壓歸正，從而實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明通過(guò)兩個(gè)夾緊板的相對(duì)移動(dòng)，能夠更加快速便捷的對(duì)不同尺寸的晶圓進(jìn)行自動(dòng)對(duì)位歸正，進(jìn)一步的使本裝置更具有靈活性。

18、3、本發(fā)明設(shè)置上下上下定位機(jī)構(gòu)以及清掃結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的夾持與去除灰塵，結(jié)構(gòu)巧妙，成本低。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，包括固定板(1)，固定板為金屬材質(zhì)，其特征在于：所述固定板(1)的上方設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(2)包括蝸輪一(201)，所述蝸輪一(201)的底面和固定板(1)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述蝸輪一(201)的頂面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(202)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(202)的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有蝸輪二(203)和轉(zhuǎn)筒(204)，所述蝸輪二(203)的頂面和轉(zhuǎn)筒(204)固定連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(202)遠(yuǎn)離蝸輪一(201)的一端固定連接有錐齒輪一(205)，所述錐齒輪一(205)的底面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有運(yùn)動(dòng)架(206)，所述運(yùn)動(dòng)架(206)的底面和轉(zhuǎn)筒(204)固定連接，所述運(yùn)動(dòng)架(206)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)桿(207)，所述固定板(1)的上方設(shè)置有對(duì)位機(jī)構(gòu)(5)，所述對(duì)位機(jī)構(gòu)(5)包括承載板(501)，所述承載板(501)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊(502)，所述滑動(dòng)塊(502)的內(nèi)壁螺紋連接有雙向螺桿(503)，所述雙向螺桿(503)的兩端和承載板(501)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：所述滑動(dòng)塊(502)的頂面固定連接有夾緊板(504)，所述承載板(501)的內(nèi)壁固定連接有滑桿(505)，所述滑桿(505)的外表面和滑動(dòng)塊(502)滑動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：還包括多組上下定位機(jī)構(gòu)，夾緊板504兩側(cè)為齒條601，上下定位機(jī)構(gòu)包括控制桿(606)、控制頭(602)、控制齒(603)、控制球(605)，承載板(501)上設(shè)置有螺紋孔，螺紋孔上為圓孔，圓孔可容納控制齒，控制桿(606)頂部固定有控制頭(602)，控制頭(602)呈圓盤(pán)狀，控制齒(603)固定設(shè)置在控制桿(606)上部，控制球(605)固定設(shè)置在控制桿(606)下端，控制頭(602)用于控制上夾持部實(shí)現(xiàn)夾持，控制球用于控制下夾持部實(shí)現(xiàn)夾持，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓地上下夾持，齒條(601)通過(guò)中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)或者直接與控制齒(603)配合實(shí)現(xiàn)夾持晶圓。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：多個(gè)上夾持部沿著控制頭(602)周向布置連接，上夾持部包括限位部一(610)，限位部一(610)固定在控制頭(602)上側(cè)，控制頭(602)與懸浮夾持板一(608)的右側(cè)鉸接連接，懸浮夾持板一(608)設(shè)置在限位部一(610)下側(cè)，懸浮夾持板一(608)左側(cè)與懸浮夾持板二(609)右側(cè)鉸接，懸浮夾持板一(608)左側(cè)上端設(shè)置有限位部二(619)，懸浮夾持板二(609)設(shè)置在限位部二(619)下端。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：還包括清掃裝置一，清掃裝置一設(shè)置在懸浮夾持板二(609)上，清掃裝置一包括清掃板(611)，清掃板(611)下端設(shè)置有刷毛，清掃板(611)設(shè)置在懸浮夾持板二(609)下端開(kāi)設(shè)地滑槽一內(nèi)，清掃板611與滑槽一底部通過(guò)彈簧連接，夾持塊一(618)固定設(shè)置在懸浮夾持板二(609)固定槽內(nèi)，夾持塊一(618)可以為可變形材質(zhì)，如橡膠塊等，夾持塊一(618)內(nèi)開(kāi)設(shè)提升機(jī)構(gòu)，用于控制清掃板(611)地提升。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)桿(207)的外表面固定連接有錐齒輪二(208)，所述錐齒輪二(208)的外表面和錐齒輪一(205)相嚙合。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：所述固定板(1)的內(nèi)壁固定連接有電機(jī)一(209)，所述電機(jī)一(209)的輸出端固定連接有蝸桿一(210)，所述蝸桿一(210)的外表面和蝸輪一(201)相嚙合。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：所述固定板(1)的頂面固定連接有固定塊(211)，所述固定塊(211)的內(nèi)壁固定連接有電機(jī)二(212)，所述電機(jī)二(212)的輸出端固定連接有蝸桿二(213)，所述蝸桿二(213)的外表面和蝸輪二(203)相嚙合。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：所述固定板(1)的頂面固定連接有連接板(3)，所述連接板(3)的內(nèi)壁固定連接有顯微鏡本體(4)。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)桿(207)的外表面固定連接有從動(dòng)板(506)，所述從動(dòng)板(506)的頂面和承載板(501)固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置，涉及晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置包括固定板，所述固定板的上方設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括蝸輪一，所述蝸輪一的底面和固定板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述蝸輪一的頂面固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有蝸輪二和轉(zhuǎn)筒。該晶圓檢測(cè)的自動(dòng)對(duì)位裝置通過(guò)蝸輪一、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、蝸輪二、轉(zhuǎn)筒、錐齒輪一、運(yùn)動(dòng)架、轉(zhuǎn)桿、錐齒輪二、電機(jī)一、蝸桿一、固定塊、電機(jī)二和蝸桿二的配合設(shè)置，從而實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明通過(guò)轉(zhuǎn)桿和運(yùn)動(dòng)架的轉(zhuǎn)動(dòng)使承載板進(jìn)行多方位自動(dòng)調(diào)節(jié)，有效的使顯微鏡本體能夠?qū)A側(cè)面的每個(gè)位置進(jìn)行多角度的對(duì)位檢測(cè)，進(jìn)一步的使本裝置更具有實(shí)用性。

技術(shù)研發(fā)人員：王印璽,喬如玉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽超元半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10