本發(fā)明涉及載板整平，具體涉及一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體測試過程中，柔性載板的測試直通率是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵指標(biāo)之一。測試直通率受到多種因素的影響，其中主要包括載板本身制造環(huán)節(jié)引起的不良、測試系統(tǒng)及對(duì)應(yīng)的接觸點(diǎn)引起的不良以及載板定位不準(zhǔn)引起的不良。

2、上述問題中，前兩者主要由載板生產(chǎn)工藝引起，而后一個(gè)則是由治具設(shè)計(jì)與制造引起。載板定位不準(zhǔn)的主要因素是由于本裝置上的相機(jī)識(shí)別圖像誤差，而圖像識(shí)別誤差的主要原因是載板平面度差。

3、故在測試之前需要對(duì)載板的平面度進(jìn)行調(diào)整；目前市面上的平面度調(diào)整設(shè)備普遍采用氣缸連桿機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)載板在z方向上的夾持和固定，并通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)x方向上的拉伸，以此來完成對(duì)載板的夾持、固定和平整。然而，這種方案在處理不同厚度的載板時(shí)存在以下問題：

4、當(dāng)載板厚度較薄時(shí)，如果氣缸的夾持力過大，可能會(huì)增加薄載板內(nèi)部的應(yīng)力，導(dǎo)致內(nèi)部電路損傷的風(fēng)險(xiǎn)；反之，如果夾持力過小，則無法有效改善載板的平面度。

5、對(duì)于較厚的載板，氣缸夾持力過大可能導(dǎo)致載板損壞，而夾持力過小則無法保證足夠的平面度。

6、另外無論載板厚度如何，如果電機(jī)在x方向上的拉伸力過大，容易導(dǎo)致載板脫落的風(fēng)險(xiǎn)；而拉伸力過小，則整平機(jī)構(gòu)無法正常工作，載板的平面度無法達(dá)到預(yù)期效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服以上所述的缺點(diǎn)，提供了一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具體方案如下：一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，

3、包括載板平面度調(diào)整裝置；所述載板平面度調(diào)整裝置包括底板；所述底板設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)；所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端設(shè)有第一螺桿；所述第一螺桿的兩端分別設(shè)有旋向相反的外螺紋；所述第一螺桿的兩端分別套設(shè)有第一螺母與第二螺母；所述第一螺母與第二螺母分別連接有第一推拉座與第二推拉座；

4、所述第一推拉座與第二推拉座均設(shè)有下夾板與上夾板；所述第一推拉座與第二推拉座均設(shè)有驅(qū)動(dòng)氣缸；所述驅(qū)動(dòng)氣缸用于驅(qū)動(dòng)上夾板與下夾板夾緊；

5、還包括以下步驟：

6、s1、將載板放置在第一推拉座與第二推拉座之間；

7、s2、通過驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)上夾板與下夾板夾緊，從而使得載板夾持在第一推拉座的上夾板與下夾板之間以及夾持在第二推拉座的上夾板與下夾板之間；

8、s3、通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)第一螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使得第一推拉座與第二推拉座相互遠(yuǎn)離，從而對(duì)載板進(jìn)行拉伸；

9、s4、實(shí)時(shí)檢測驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電流值以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)的行走距離；

10、若驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電流值符合電流預(yù)設(shè)區(qū)間以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)的行走距離符合行走預(yù)設(shè)區(qū)間，則進(jìn)入步驟s5；

11、若驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電流值大于電流預(yù)設(shè)區(qū)間和/或驅(qū)動(dòng)電機(jī)的行走距離大于行走預(yù)設(shè)區(qū)間，則重新進(jìn)入步驟s2；

12、s5、驅(qū)動(dòng)電機(jī)停止工作；

13、s6、載板整平完成；

14、s7、對(duì)載板進(jìn)行測試。

15、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，在步驟s1之前，還包括：

16、步驟a、對(duì)載板的種類進(jìn)行識(shí)別。

17、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，在步驟s2與步驟s3之間，還包括：

18、步驟b、通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)第一螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使得第一推拉座與第二推拉座移動(dòng)至校正工位進(jìn)行校正。

19、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，在步驟b與步驟s3之間，還包括：

20、步驟c1、根據(jù)載板的種類識(shí)別出載板的厚度；

21、步驟c2、若載板的厚度小于厚度預(yù)設(shè)值，驅(qū)動(dòng)氣缸采用壓力恒定模式；所述載板的厚度大于厚度預(yù)設(shè)值，提示用戶對(duì)壓力大小進(jìn)行選擇，用戶根據(jù)提示選擇壓力自適應(yīng)模式。

22、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，在步驟s5與步驟s6之間，還包括：

23、步驟d、檢測驅(qū)動(dòng)電機(jī)當(dāng)前的電流值以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)當(dāng)前的行走距離；

24、若驅(qū)動(dòng)電機(jī)當(dāng)前的電流值符合電流預(yù)設(shè)區(qū)間以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)當(dāng)前的行走距離符合行走預(yù)設(shè)區(qū)間，則進(jìn)入步驟s6；

25、若驅(qū)動(dòng)電機(jī)當(dāng)前的電流值大于電流預(yù)設(shè)區(qū)間和/或驅(qū)動(dòng)電機(jī)當(dāng)前的行走距離大于行走預(yù)設(shè)區(qū)間，則重新進(jìn)入步驟s2。

26、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，在步驟s6與步驟s7之間，還包括：

27、步驟e、對(duì)載板進(jìn)行拍照定位。

28、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，在步驟s7中，對(duì)載板進(jìn)行測試后，若測試不通過，則進(jìn)行報(bào)警處理。

29、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述第一螺桿設(shè)于底板的一側(cè)；所述底板的另一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有第二螺桿；所述第二螺桿的兩端分別設(shè)有旋向相反的外螺紋；所述第二螺桿的兩端分別套設(shè)有第三螺母與第四螺母；

30、所述第一推拉座的兩側(cè)分別與第一螺母以及第三螺母連接；所述第二推拉座的兩側(cè)分別與第二螺母以及第四螺母連接；

31、所述第一螺桿與第二螺桿之間設(shè)有聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

32、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)于第一螺桿的第一同步輪、設(shè)于第二螺桿的第二同步輪以及設(shè)于第一同步輪與第二同步輪之間的同步帶；

33、所述底板設(shè)有張緊輪；所述張緊輪與同步帶抵靠。

34、本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為，所述驅(qū)動(dòng)氣缸與上夾板之間設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

35、所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)板以及設(shè)于下夾板處的限位塊；所述驅(qū)動(dòng)氣缸的輸出端與驅(qū)動(dòng)板之間設(shè)有連接塊；所述驅(qū)動(dòng)氣缸用于驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)板靠近或者遠(yuǎn)離下夾板；

36、所述驅(qū)動(dòng)板設(shè)有杠桿件；所述杠桿件設(shè)有用于與限位塊抵靠的抵靠塊；所述杠桿件的中部與驅(qū)動(dòng)板鉸接；所述杠桿件與上夾板連接；所述上夾板與驅(qū)動(dòng)板之間設(shè)有拉簧。

37、本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過在z方向的壓力和x方向的拉伸力上提供自適應(yīng)調(diào)整模式；其中z方向采用壓力恒定模式與壓力自適應(yīng)模式；x方向的拉伸力使用自適應(yīng)模式，通過綜合評(píng)判驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電流值與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的行走距離的邏輯關(guān)系，得出相對(duì)最優(yōu)的拉伸力自適應(yīng)調(diào)整策略；本發(fā)明改善了載板夾持、固定以及拉伸狀態(tài)下的平面度，進(jìn)一步避免了載板出現(xiàn)脫落、內(nèi)部電路損壞等風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：在步驟s1之前，還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：在步驟s2與步驟s3之間，還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：在步驟b與步驟s3之間，還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：在步驟s5與步驟s6之間，還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：在步驟s6與步驟s7之間，還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：在步驟s7中，對(duì)載板進(jìn)行測試后，若測試不通過，則進(jìn)行報(bào)警處理。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：所述第一螺桿(21)設(shè)于底板(1)的一側(cè)；所述底板(1)的另一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有第二螺桿(22)；所述第二螺桿(22)的兩端分別設(shè)有旋向相反的外螺紋；所述第二螺桿(22)的兩端分別套設(shè)有第三螺母(33)與第四螺母(34)；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)于第一螺桿(21)的第一同步輪(61)、設(shè)于第二螺桿(22)的第二同步輪(62)以及設(shè)于第一同步輪(61)與第二同步輪(62)之間的同步帶(63)；

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)氣缸(5)與上夾板(52)之間設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及載板整平技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種自適應(yīng)調(diào)整載板平面度的方法，包括載板平面度調(diào)整裝置；通過實(shí)時(shí)檢測驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電流值以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)的行走距離。本發(fā)明通過在Z方向的壓力和X方向的拉伸力上提供自適應(yīng)調(diào)整模式；其中Z方向采用壓力恒定模式與壓力自適應(yīng)模式；X方向的拉伸力使用自適應(yīng)模式，通過綜合評(píng)判驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電流值與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的行走距離的邏輯關(guān)系，得出相對(duì)最優(yōu)的拉伸力自適應(yīng)調(diào)整策略；本發(fā)明改善了載板夾持、固定以及拉伸狀態(tài)下的平面度，進(jìn)一步避免了載板出現(xiàn)脫落、內(nèi)部電路損壞等風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：張英軍,楊杰,林志,張國軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州科昕智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10