本公開總體上屬于探針卡，并且更具體地，涉及一種用于探針維修的裝置和方法。

背景技術：

1、隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，越來越多的電子裝置被接入在半導體晶圓上以進行測試等操作。在半導體器件的制作過程中，將探針與半導體晶圓上的金屬端接觸，實現(xiàn)臨時的電連接，使測試儀的電信號通過探針傳輸?shù)桨雽w器件，測試儀通過返回的電信號對半導體晶圓上的電子裝置進行檢測。

2、探針卡是連接半導體晶圓與測試儀之間的紐帶，通過將大量的探針集成在探針卡上，可以使多個探針同時與半導體晶片上的多個半導體器件同時接觸，進而提高檢測效率。

3、因此，探針卡上的探針的使用維護對測試成品率非常重要。日常工作中需要對探針進行及時的維修和更換。然而，在探針卡上密集分布著數(shù)以萬計的探針，并且每個探針的尺寸僅為50×50μm，因而為探針的更換工作帶來了困難。

4、目前，需要一種能夠準確、高效地更換探針的解決方案。

技術實現(xiàn)思路

1、鑒于上述問題，本公開提供了一種用于探針維修的方法，包括：使用固定夾具將探針卡固定到維修裝置的操作臺，其中，所述維修裝置包括所述操作臺、顯微鏡、圖像采集裝置、監(jiān)視器、以及計算裝置；將所述探針卡的探針編號信息輸入所述計算裝置，其中，所述編號信息包括所述探針卡上的每個探針的行號和列號；通過所述圖像采集裝置在所述監(jiān)視器上顯示所述顯微鏡的視場中的圖像，并由所述計算裝置生成探針卡圖像；通過所述計算裝置基于所述編號信息來識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針；將故障探針的編號信息輸入所述計算裝置；以及定位所述故障探針。

2、在實施例中，定位所述故障探針包括：根據(jù)所述故障探針的編號信息在所述探針卡圖像中標記出每一個故障探針。

3、在實施例中，定位所述故障探針還包括：通過在所述監(jiān)視器中選擇所標記的故障探針中的一個故障探針，所述操作臺移動以使所選擇的故障探針處于所述顯微鏡的視場中。

4、在實施例中，定位所述故障探針還包括：通過在所述監(jiān)視器中選擇所標記的故障探針中的另一個故障探針，所述操作臺移動以使所選擇的另一個故障探針處于所述顯微鏡的視場中。

5、在實施例中，在所選擇的故障探針處于所述顯微鏡的視場中后，對所選擇的故障探針進行更換。

6、在實施例中，所述固定夾具包括：固定板，其包括用于固定到所述操作臺的固定螺絲；以及探針卡座，其位于所述固定板上并且被配置為容納所述探針卡，所述探針卡座的各個側面上包括用于微調所述探針卡的位置的微調螺絲。

7、在實施例中，使用所述固定夾具將所述探針卡固定到所述操作臺，包括：將所述固定夾具安裝到所述操作臺，并通過所述固定螺絲進行固定；以及將所述探針卡安裝到所述固定夾具的探針卡座上，并通過所述微調螺絲進行固定。

8、在實施例中，識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針包括：利用位于所述探針卡上的探針陣列的邊界上的探針的編號信息建立與所述探針卡圖像的圖像坐標的對應關系，由此計算出所述探針卡圖像上的每個探針的圖像坐標。

9、在實施例中，所述探針卡上的探針陣列為矩形，利用位于所述探針陣列的兩個對角位置的探針的所述編號信息，建立與所述圖像坐標的對應關系。

10、在實施例中，識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針包括：在所述探針卡圖像中識別出所述兩個對角位置的探針的圖像坐標；基于所述兩個探針的編號信息獲得所述探針陣列中的探針在所述圖像中的間隔；以及基于所述兩個探針的圖像坐標和所述間隔，獲得所述探針陣列中的每個探針的圖像坐標。

11、在另一方面，本公開還提供了一種用于探針維修的裝置，包括：顯微鏡；圖像采集裝置，被配置為采集所述顯微鏡的視場的圖像；操作臺，被配置為承載所述探針卡并且能夠進行移動，以使所述探針卡的目標部分處于所述顯微鏡的視場下；固定夾具，被配置為將所述探針卡固定到所述操作臺；監(jiān)視器，被配置為呈現(xiàn)所述圖像采集裝置所采集的圖像；以及計算裝置，所述計算裝置生成探針卡圖像，并且被配置為：接收所述探針卡的探針編號信息，并基于所述編號信息來識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針；并且接收故障探針的編號信息并定位所述故障探針。

技術特征：

1.一種用于探針維修的方法，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中，定位所述故障探針包括：根據(jù)所述故障探針的編號信息在所述探針卡圖像中標記出每一個故障探針。

3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中，定位所述故障探針還包括：通過在所述監(jiān)視器中選擇所標記的故障探針中的一個故障探針，所述操作臺移動以使所選擇的故障探針處于所述顯微鏡的視場中。

4.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中，定位所述故障探針還包括：通過在所述監(jiān)視器中選擇所標記的故障探針中的另一個故障探針，所述操作臺移動以使所選擇的另一個故障探針處于所述顯微鏡的視場中。

5.根據(jù)權利要求3或4所述的方法，還包括：在所選擇的故障探針處于所述顯微鏡的視場中后，對所選擇的故障探針進行更換。

6.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中，所述固定夾具包括：

7.根據(jù)權利要求6所述的方法，其中，使用所述固定夾具將所述探針卡固定到所述操作臺，包括：

8.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中，識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針包括：利用位于所述探針卡上的探針陣列的邊界上的探針的編號信息建立與所述探針卡圖像的圖像坐標的對應關系，由此計算出所述探針卡圖像上的每個探針的圖像坐標。

9.根據(jù)權利要求8所述的方法，其中，所述探針卡上的探針陣列為矩形，利用位于所述探針陣列的兩個對角位置的探針的所述編號信息，建立與所述圖像坐標的對應關系。

10.根據(jù)權利要求9所述的方法，還包括：

11.根據(jù)權利要求8所述的方法，其中，所述探針卡上的探針陣列為非矩形的形狀，利用所述探針陣列上的至少兩個非同行或列的探針的所述編號信息，建立與所述圖像坐標的對應關系。

12.一種用于探針維修的裝置，包括：

13.根據(jù)權利要求12所述的裝置，其中，所述固定夾具包括：

14.根據(jù)權利要求12所述的裝置，其中，定位所述故障探針包括：

15.根據(jù)權利要求12所述的裝置，其中，識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針包括：利用位于所述探針卡上的探針陣列的邊界上的探針的編號信息建立與所述探針卡圖像的圖像坐標的對應關系，由此計算出所述探針卡圖像上的每個探針的圖像坐標。

16.根據(jù)權利要求15所述的裝置，其中，所述探針卡上的探針陣列為矩形，利用位于所述探針陣列的兩個對角位置的探針的所述編號信息，建立與所述圖像坐標的對應關系。

17.根據(jù)權利要求16所述的裝置，還包括：

18.根據(jù)權利要求15所述的裝置，其中，所述探針卡上的探針陣列為非矩形的形狀，利用所述探針陣列上的至少兩個非同行或列的探針的所述編號信息，建立與所述圖像坐標的對應關系。

技術總結
本公開提供了一種用于探針維修的方法，包括：使用固定夾具將探針卡固定到維修裝置的操作臺，其中，所述維修裝置包括所述操作臺、顯微鏡、圖像采集裝置、監(jiān)視器、以及計算裝置；將所述探針卡的探針編號信息輸入所述計算裝置，其中，所述編號信息包括所述探針卡上的每個探針的行號和列號；通過所述圖像采集裝置在所述監(jiān)視器上顯示所述顯微鏡的視場中的圖像，并由所述計算裝置生成探針卡圖像；通過所述計算裝置基于所述編號信息來識別所述探針卡圖像上的所述探針卡中的每個探針；將故障探針的編號信息輸入所述計算裝置；以及定位所述故障探針。

技術研發(fā)人員：陳剛,郭佳勛
受保護的技術使用者：英特爾產品（成都）有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/10