本發(fā)明涉及芯片檢測，尤其涉及一種芯片檢測裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、芯片檢測是確保芯片基板質(zhì)量的重要步驟，涉及多個方面的檢測。這些檢測包括但不限于：外觀檢測：檢查芯片基板的表面是否存在劃痕、污漬、顆粒、翹曲等問題；尺寸檢測：測量芯片基板的尺寸是否符合要求，包括長度、寬度、厚度等。結(jié)構(gòu)檢測：檢查芯片基板的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，如是否有開裂、空洞、填充物不均勻等問題；性能檢測：測試芯片基板的電氣性能，如絕緣電阻、導(dǎo)熱性能、耐壓性等。這些檢測通常采用自動化設(shè)備進(jìn)行，如自動光學(xué)檢測設(shè)備(aoi)、自動x射線檢測設(shè)備(axi)等。

2、對芯片進(jìn)行外觀檢測時，通常將芯片基板放置于自動光學(xué)檢測設(shè)備的檢測端，一面檢測完成后，需要人工或機(jī)械手配合將芯片基板取出進(jìn)行翻面，以用于另一面的檢測，在翻轉(zhuǎn)的過程中，人工或機(jī)械手和芯片接觸極易使得芯片受損，影響檢測質(zhì)量；檢測前需要對芯片進(jìn)行清理，降低檢測效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中在翻轉(zhuǎn)的過程中，人工或機(jī)械手和芯片接觸極易使得芯片染塵的問題，而提出的一種芯片檢測裝置及方法。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

3、一種芯片檢測裝置及方法，包括立柜以及滑動設(shè)置于立柜一側(cè)的檢測探頭，還包括轉(zhuǎn)動安裝于立柜一側(cè)的檢測組件，所述檢測組件上設(shè)置有用于固定芯片的夾持組件，所述檢測探頭設(shè)置于夾持組件的正上方；用于對芯片進(jìn)行表面清理的除塵組件，所述除塵組件滑動設(shè)置于檢測組件內(nèi)。

4、優(yōu)選地，所述檢測組件包括檢測盤和定位環(huán)，所述檢測盤內(nèi)開設(shè)有通孔，所述定位環(huán)安裝于檢測盤上表面且位于通孔上方。

5、為使得檢測盤自動翻轉(zhuǎn)，進(jìn)一步地，所述檢測盤兩側(cè)對稱設(shè)置有翻轉(zhuǎn)架，所述翻轉(zhuǎn)架一側(cè)居中位置連接有翻轉(zhuǎn)軸，其中一組所述翻轉(zhuǎn)軸傳動連接有第二電機(jī)，另一組所述翻轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接于立柜一側(cè)。

6、在檢測盤翻轉(zhuǎn)的過程中，為避免其與檢測探頭產(chǎn)生干涉，更進(jìn)一步地，所述立柜底部設(shè)置有底座，所述第二電機(jī)固定安裝于底座上方一側(cè)，所述立柜一側(cè)對稱設(shè)置有兩組電動滑臺，所述檢測探頭固定安裝于電動滑臺的滑塊上。

7、由于定位環(huán)為氣缸的承載臺，為便于對氣動元件進(jìn)行檢修和更換，進(jìn)一步地，所述定位環(huán)底部固定安裝有吸盤，所述定位環(huán)通過吸盤可拆卸的安裝于檢測盤上表面。

8、優(yōu)選地，所述夾持組件包括環(huán)形等距陣列于定位環(huán)外壁的四組氣缸和夾持板，所述夾持板一側(cè)轉(zhuǎn)動安裝有螺桿，所述螺桿一端通過緊固螺母螺紋連接于氣缸的伸縮軸端，所述氣缸的伸縮軸端貫穿于定位環(huán)且延伸至定位環(huán)內(nèi)。

9、優(yōu)選地，所述除塵組件包括兩組清刷架，所述定位環(huán)內(nèi)開設(shè)有導(dǎo)向槽，所述清刷架滑動連接于導(dǎo)向槽內(nèi)，所述清刷架延伸至定位環(huán)內(nèi)的一端轉(zhuǎn)動安裝有清刷盤。

10、為及時的對芯片進(jìn)行清潔，進(jìn)一步地，所述清刷架遠(yuǎn)離清刷盤一端設(shè)置有驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件包括固定安裝于檢測盤上的第一電機(jī)以及第一電機(jī)輸出軸端傳動連接的主動軸，所述主動軸通過傳動帶傳動連接有被動軸，所述檢測盤上固定安裝有同步架，所述主動軸和被動軸均轉(zhuǎn)動連接與同步架內(nèi)，且主動軸和被動軸一端均通過驅(qū)動輪和帶輪傳動連接有絲桿，所述絲桿一端螺紋連接有內(nèi)螺紋套，所述清刷架一側(cè)滑動安裝有連接板，所述內(nèi)螺紋套通過軸承轉(zhuǎn)動連接于連接板內(nèi)。

11、為保證芯片在檢測探頭工作前均能夠及時清潔處理，更進(jìn)一步地，所述主動軸和翻轉(zhuǎn)軸之間設(shè)置有聯(lián)動組件，所述聯(lián)動組件包括第一傳動桿和第二傳動桿，第一傳動桿一端固定安裝第一傳動桿，所述主動軸一端固定安裝有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪和第二錐齒輪嚙合，所述第二傳動桿一端固定安裝有第一傘齒輪，所述翻轉(zhuǎn)軸一端通過第二齒輪嚙合有第一齒輪，所述第一齒輪同軸連接有第二傘齒輪，所述第二傘齒輪和第一傘齒輪嚙合，所述第一傳動桿和第二傳動桿之間連接有換向連接組件，所述換向連接組件包括第一過渡板和第二過渡板，所述第一過渡板和第二過渡板之間通過八組換向桿連接。

12、本發(fā)明還提供一種方法，包括一種芯片檢測裝置，包括如下步驟：

13、步驟一：通過夾持組件將芯片固定于定位環(huán)內(nèi)，通過氣缸帶動夾持板對芯片進(jìn)行夾持；

14、步驟二：啟動電動滑臺帶動檢測探頭靠近芯片至檢測設(shè)定距離，再通過控制面板控制檢測探頭對芯片上方進(jìn)行檢測；

15、步驟三：完成上述步驟，啟動第二電機(jī)帶動檢測盤轉(zhuǎn)動，將芯片翻轉(zhuǎn)后，再重復(fù)步驟二，即可完成檢測。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種芯片檢測裝置及方法，具備以下有益效果：

17、1、該芯片檢測裝置及方法，通過設(shè)置可旋轉(zhuǎn)的檢測盤帶動其內(nèi)部的定位環(huán)在檢測探頭下方翻轉(zhuǎn)，實現(xiàn)芯片的正/反面檢測，且無需人工或者機(jī)械手取放芯片，降低了芯片受損的可能，提供了檢測的準(zhǔn)確性以及保證了待檢測芯片的檢測質(zhì)量；

18、2、該芯片檢測裝置及方法，在定位環(huán)內(nèi)設(shè)置有上下對稱的兩組清刷架，清刷架靠近芯片一端設(shè)置有清刷盤，清刷架在導(dǎo)向槽內(nèi)滑動即可完成對芯片正/反面的除塵清理，保證檢測準(zhǔn)確性，提高了檢測效率；

19、3、該芯片檢測裝置及方法，將檢測組件的翻轉(zhuǎn)動作和除塵組件的滑動結(jié)構(gòu)聯(lián)動，使得翻轉(zhuǎn)的過程中，直接對芯片進(jìn)行除塵清理，不僅節(jié)省了電氣控制和降低了結(jié)構(gòu)成本，且保證每次進(jìn)入檢測前都對芯片進(jìn)行表面清潔，提高檢測精度。

20、該裝置中未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)，本發(fā)明降低了芯片受損的可能，提供了檢測的準(zhǔn)確性以及保證了待檢測芯片的檢測質(zhì)量；而且保證檢測準(zhǔn)確性，提高了檢測效率。

技術(shù)特征：

1.一種芯片檢測裝置及方法，包括立柜(3)以及滑動設(shè)置于立柜(3)一側(cè)的檢測探頭(1)，其特征在于，還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述檢測組件包括檢測盤(5)和定位環(huán)(11)，所述檢測盤(5)內(nèi)開設(shè)有通孔，所述定位環(huán)(11)安裝于檢測盤(5)上表面且位于通孔上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述檢測盤(5)兩側(cè)對稱設(shè)置有翻轉(zhuǎn)架(16)，所述翻轉(zhuǎn)架(16)一側(cè)居中位置連接有翻轉(zhuǎn)軸(13)，其中一組所述翻轉(zhuǎn)軸(13)傳動連接有第二電機(jī)(38)，另一組所述翻轉(zhuǎn)軸(13)轉(zhuǎn)動連接于立柜(3)一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述立柜(3)底部設(shè)置有底座(4)，所述第二電機(jī)(38)固定安裝于底座(4)上方一側(cè)，所述立柜(3)一側(cè)對稱設(shè)置有兩組電動滑臺(9)，所述檢測探頭(1)固定安裝于電動滑臺(9)的滑塊上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述定位環(huán)(11)底部固定安裝有吸盤(15)，所述定位環(huán)(11)通過吸盤(15)可拆卸的安裝于檢測盤(5)上表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述夾持組件包括環(huán)形等距陣列于定位環(huán)(11)外壁的四組氣缸(6)和夾持板(10)，所述夾持板(10)一側(cè)轉(zhuǎn)動安裝有螺桿(12)，所述螺桿(12)一端通過緊固螺母螺紋連接于氣缸(6)的伸縮軸端，所述氣缸(6)的伸縮軸端貫穿于定位環(huán)(11)且延伸至定位環(huán)(11)內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述除塵組件包括兩組清刷架(7)，所述定位環(huán)(11)內(nèi)開設(shè)有導(dǎo)向槽(14)，所述清刷架(7)滑動連接于導(dǎo)向槽(14)內(nèi)，所述清刷架(7)延伸至定位環(huán)(11)內(nèi)的一端轉(zhuǎn)動安裝有清刷盤(8)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述清刷架(7)遠(yuǎn)離清刷盤(8)一端設(shè)置有驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件包括固定安裝于檢測盤(5)上的第一電機(jī)(25)以及第一電機(jī)(25)輸出軸端傳動連接的主動軸(20)，所述主動軸(20)通過傳動帶(21)傳動連接有被動軸(22)，所述檢測盤(5)上固定安裝有同步架(23)，所述主動軸(20)和被動軸(22)均轉(zhuǎn)動連接與同步架(23)內(nèi)，且主動軸(20)和被動軸(22)一端均通過驅(qū)動輪(24)和帶輪(26)傳動連接有絲桿(17)，所述絲桿(17)一端螺紋連接有內(nèi)螺紋套(18)，所述清刷架(7)一側(cè)滑動安裝有連接板(19)，所述內(nèi)螺紋套(18)通過軸承轉(zhuǎn)動連接于連接板(19)內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種芯片檢測裝置及方法，其特征在于，所述主動軸(20)和翻轉(zhuǎn)軸(13)之間設(shè)置有聯(lián)動組件，所述聯(lián)動組件包括第一傳動桿(29)和第二傳動桿(33)，第一傳動桿(29)一端固定安裝第一傳動桿(29)，所述主動軸(20)一端固定安裝有第一錐齒輪(27)，所述第一錐齒輪(27)和第二錐齒輪(28)嚙合，所述第二傳動桿(33)一端固定安裝有第一傘齒輪(34)，所述翻轉(zhuǎn)軸(13)一端通過第二齒輪(37)嚙合有第一齒輪(36)，所述第一齒輪(36)同軸連接有第二傘齒輪(35)，所述第二傘齒輪(35)和第一傘齒輪(34)嚙合，所述第一傳動桿(29)和第二傳動桿(33)之間連接有換向連接組件，所述換向連接組件包括第一過渡板(30)和第二過渡板(31)，所述第一過渡板(30)和第二過渡板(31)之間通過八組換向桿(32)連接。

10.一種方法，包括權(quán)利要求1-9任意一項所述的一種芯片檢測裝置，其特征在于，包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種芯片檢測裝置及方法，屬于芯片檢測領(lǐng)域。一種芯片檢測裝置，包括立柜以及滑動設(shè)置于立柜一側(cè)的檢測探頭，還包括轉(zhuǎn)動安裝于立柜一側(cè)的檢測組件，所述檢測組件上設(shè)置有用于固定芯片的夾持組件，檢測探頭設(shè)置于夾持組件的正上方；用于對芯片進(jìn)行表面清理的除塵組件，除塵組件滑動設(shè)置于檢測組件內(nèi)，檢測組件包括檢測盤和定位環(huán)，所述檢測盤內(nèi)開設(shè)有通孔，所述定位環(huán)安裝于檢測盤上表面且位于通孔上方；本發(fā)明降低了芯片受損的可能，提高了檢測的準(zhǔn)確性以及保證了待檢測芯片的檢測質(zhì)量；而且保證檢測準(zhǔn)確性，提高了檢測效率；不僅節(jié)省了電氣控制和降低了結(jié)構(gòu)成本，且保證每次進(jìn)入檢測前都對芯片進(jìn)行表面清潔，提高檢測精度。

技術(shù)研發(fā)人員：王辰薇,孫振楠,姜珊娜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中之芯（江蘇）儲能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10