本發(fā)明涉及質(zhì)量檢測(cè)和重離子加速器領(lǐng)域,尤其涉及一種漂移管直線加速器(drift?tube?linac,簡(jiǎn)稱dtl)同軸度的測(cè)量方法及裝置,特別適用于超導(dǎo)小型化重離子治癌裝置的高流強(qiáng)漂移管直線加速器。
背景技術(shù):
1、重離子加速器是產(chǎn)生重離子束的重要裝置之一,在材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、粒子物理及核物理等前沿學(xué)科有廣闊的應(yīng)用前景,重離子同步加速器需要低能的加速器作為注入器,而高流強(qiáng)漂移管直線加速器是超導(dǎo)小型化重離子治癌裝置注入器中的重要組成部件。重離子通過漂移管時(shí),當(dāng)電場(chǎng)方向與束流方向一致時(shí),重離子通過漂移管間隙受到加速,電場(chǎng)方向與束流方向相反時(shí),重離子恰好進(jìn)入漂移管,由于漂移管的屏蔽作用,使重離子束不受反方向電場(chǎng)約束,即不被減速。
2、在直線注入器中,dtl漂移管是重離子束傳輸軌道上的重要組成部件,電場(chǎng)被dtl漂移管屏蔽的同時(shí),束流要穿過漂移管進(jìn)入真空腔體。要保證束流高效的傳輸?shù)秸婵涨惑w,則需要每個(gè)漂移管軸線盡可能與重離子束傳輸路徑的理論中心重合。因此,dtl漂移管的同軸度成為了注入器的關(guān)鍵指標(biāo)。目前業(yè)界要求同軸度小于0.05,能否高精度測(cè)量dtl漂移管同軸度是保證注入器加工質(zhì)量的關(guān)鍵。
3、現(xiàn)有的漂移管同軸度測(cè)量方法主要存在以下幾個(gè)方面的問題:
4、1)使用高度尺、深度尺、游標(biāo)卡尺等常規(guī)測(cè)量器具,配合等高塊或測(cè)量工裝測(cè)試,此方法由于測(cè)量工裝、等高塊本身存在系統(tǒng)誤差、加工誤差、儀器精度等原因,無法準(zhǔn)確測(cè)量公差為0.05的同軸度;
5、2)使用外徑小于漂移管內(nèi)徑0~0.2mm,母線直線度小于0.02的各種規(guī)格芯棒試穿過各漂移管,通過芯棒直徑來間接反映,一方面不能準(zhǔn)確測(cè)得同軸度的具體結(jié)果,另一方面由于芯棒加工存在的誤差,導(dǎo)致測(cè)量不準(zhǔn)確;
6、3)使用三坐標(biāo)普通直測(cè)針測(cè)量法,普通的直測(cè)針由于測(cè)針長(zhǎng)度有限,對(duì)于束流出入口間距大、間隙大、數(shù)量多的情況難以實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)漂移管同軸度的測(cè)量。
7、綜上所述,以上三種測(cè)量方法難以實(shí)現(xiàn)直線注入器dtl漂移管同軸度的高精度、全覆蓋測(cè)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對(duì)直線注入器dtl漂移管同軸度的傳統(tǒng)測(cè)量方法中存在的測(cè)量不準(zhǔn)確、不全面的缺陷,本發(fā)明提供了一種漂移管直線加速器同軸度的測(cè)量方法及裝置。
2、為解決上述問題,本發(fā)明一方面提供了一種漂移管直線加速器同軸度的測(cè)量方法,利用三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和星形測(cè)針測(cè)量多個(gè)被測(cè)漂移管的同軸度,所述星形測(cè)針包括分別指向x軸正負(fù)方向的2號(hào)和4號(hào)測(cè)針、分別指向y軸正負(fù)方向的3號(hào)和5號(hào)測(cè)針、以及指向z軸負(fù)方向的1號(hào)測(cè)針;所述方法包括:步驟s1,安裝所述星形測(cè)針于測(cè)座上,調(diào)節(jié)所述3號(hào)和5號(hào)測(cè)針平行于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的y軸方向,校準(zhǔn)所述星形測(cè)針;步驟s2,將多個(gè)被測(cè)漂移管等高放置于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng),控制多個(gè)被測(cè)漂移管的軸線平行于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的y軸方向;步驟s3,將所述3號(hào)測(cè)針以預(yù)定長(zhǎng)度伸入第一個(gè)被測(cè)漂移管的前端面,測(cè)得一個(gè)第一截面圓,并將所述5號(hào)測(cè)針以所述預(yù)定長(zhǎng)度伸入最后一個(gè)被測(cè)漂移管的后端面,測(cè)得另一個(gè)第一截面圓,利用兩個(gè)第一截面圓的圓心來構(gòu)造所述多個(gè)被測(cè)漂移管的基準(zhǔn)軸線;步驟s4,針對(duì)每個(gè)被測(cè)漂移管,將所述3號(hào)和5號(hào)測(cè)針以所述預(yù)定長(zhǎng)度分別伸入所述當(dāng)前被測(cè)漂移管的前后兩端面,測(cè)得兩個(gè)第二截面圓,利用所述兩個(gè)第二截面圓的圓心來構(gòu)造當(dāng)前被測(cè)漂移管的中心軸線;步驟s5,針對(duì)每個(gè)被測(cè)漂移管,將構(gòu)造出的中間軸線與所述基準(zhǔn)軸線進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,得到當(dāng)前被測(cè)漂移管的同軸度。
3、進(jìn)一步地,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的末端設(shè)置有一個(gè)測(cè)球;在所述步驟s1,校準(zhǔn)所述星形測(cè)針包括:利用標(biāo)準(zhǔn)球校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的測(cè)針。
4、進(jìn)一步地,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的材質(zhì)為不銹鋼,各所述測(cè)球的材質(zhì)為紅寶石。
5、進(jìn)一步地,所述步驟s2具體包括:利用等高塊,將多個(gè)被測(cè)漂移管墊高放置于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng);調(diào)節(jié)平行于各被測(cè)漂移管的軸線方向的安裝基準(zhǔn)面,使得各被測(cè)漂移管的軸線平行于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的y軸方向。
6、進(jìn)一步地,所述調(diào)節(jié)平行于各被測(cè)漂移管的軸線方向的安裝基準(zhǔn)面包括:在所述安裝基準(zhǔn)面的前后端同一高度處各采集一個(gè)測(cè)點(diǎn),使得兩個(gè)測(cè)點(diǎn)在所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的x軸方向的偏差在預(yù)定范圍內(nèi)。
7、進(jìn)一步地,所述預(yù)定長(zhǎng)度均小于所述3號(hào)和5號(hào)測(cè)針的長(zhǎng)度。
8、進(jìn)一步地,所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)內(nèi)置有測(cè)量軟件;所述步驟s5包括:利用所述測(cè)量軟件將構(gòu)造出的中間軸線與所述基準(zhǔn)軸線進(jìn)行處理,得到當(dāng)前被測(cè)漂移管的同軸度。
9、本發(fā)明另一方面提供了一種漂移管直線加速器同軸度的測(cè)量裝置,利用三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和星形測(cè)針測(cè)量多個(gè)被測(cè)漂移管的同軸度,所述星形測(cè)針包括分別指向x軸正負(fù)方向的2號(hào)和4號(hào)測(cè)針、分別指向y軸正負(fù)方向的3號(hào)和5號(hào)測(cè)針、以及指向z軸負(fù)方向的1號(hào)測(cè)針;所述裝置包括:測(cè)針安裝模塊,用于安裝所述星形測(cè)針于測(cè)座上,調(diào)節(jié)所述3號(hào)和5號(hào)測(cè)針平行于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的y軸方向,校準(zhǔn)所述星形測(cè)針;漂移管設(shè)置模塊,用于將多個(gè)被測(cè)漂移管等高放置于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng),控制多個(gè)被測(cè)漂移管的軸線平行于所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)的y軸方向;基準(zhǔn)軸線確定模塊,用于將所述3號(hào)測(cè)針以預(yù)定長(zhǎng)度伸入第一個(gè)被測(cè)漂移管的前端面,測(cè)得一個(gè)第一截面圓,并將所述5號(hào)測(cè)針以所述預(yù)定長(zhǎng)度伸入最后一個(gè)被測(cè)漂移管的后端面,測(cè)得另一個(gè)第一截面圓,利用兩個(gè)第一截面圓的圓心來構(gòu)造所述多個(gè)被測(cè)漂移管的基準(zhǔn)軸線;中心軸線確定模塊,用于針對(duì)每個(gè)被測(cè)漂移管,將所述3號(hào)和5號(hào)測(cè)針以所述預(yù)定長(zhǎng)度分別伸入所述當(dāng)前被測(cè)漂移管的前后兩端面,測(cè)得兩個(gè)第二截面圓,利用所述兩個(gè)第二截面圓的圓心來構(gòu)造當(dāng)前被測(cè)漂移管的中心軸線;同軸度確定模塊,用于針對(duì)每個(gè)被測(cè)漂移管,將構(gòu)造出的中間軸線與所述基準(zhǔn)軸線進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,得到當(dāng)前被測(cè)漂移管的同軸度。
10、進(jìn)一步地,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的末端設(shè)置有一個(gè)測(cè)球;所述測(cè)針安裝模塊還用于:利用標(biāo)準(zhǔn)球校準(zhǔn)對(duì)應(yīng)的測(cè)針。
11、進(jìn)一步地,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的材質(zhì)為不銹鋼,各所述測(cè)球的材質(zhì)為紅寶石。
12、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的漂移管直線加速器同軸度的測(cè)量方法及裝置,至少具有以下有益效果:
13、(1)不僅彌補(bǔ)了傳統(tǒng)測(cè)量方法不能測(cè)量每一個(gè)漂移管同軸度的缺陷,同時(shí),通過三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和星形測(cè)針,保證各漂移管的同軸度測(cè)量精度達(dá)到0.01;
14、(2)保障了漂移管的加工質(zhì)量,對(duì)高流強(qiáng)直線注入器整個(gè)項(xiàng)目的研發(fā)起到積極推進(jìn)作用。
1.一種漂移管直線加速器同軸度的測(cè)量方法,利用三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和星形測(cè)針測(cè)量多個(gè)被測(cè)漂移管的同軸度,所述星形測(cè)針包括分別指向x軸正負(fù)方向的2號(hào)和4號(hào)測(cè)針、分別指向y軸正負(fù)方向的3號(hào)和5號(hào)測(cè)針、以及指向z軸負(fù)方向的1號(hào)測(cè)針;其特征在于,所述方法包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的末端設(shè)置有一個(gè)測(cè)球;在所述步驟s1,校準(zhǔn)所述星形測(cè)針包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的材質(zhì)為不銹鋼,各所述測(cè)球的材質(zhì)為紅寶石。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述步驟s2具體包括:
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述調(diào)節(jié)平行于各被測(cè)漂移管的軸線方向的安裝基準(zhǔn)面包括:
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述預(yù)定長(zhǎng)度均小于所述3號(hào)和5號(hào)測(cè)針的長(zhǎng)度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)內(nèi)置有測(cè)量軟件;所述步驟s5包括:
8.一種漂移管直線加速器同軸度的測(cè)量裝置,利用三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和星形測(cè)針測(cè)量多個(gè)被測(cè)漂移管的同軸度,所述星形測(cè)針包括分別指向x軸正負(fù)方向的2號(hào)和4號(hào)測(cè)針、分別指向y軸正負(fù)方向的3號(hào)和5號(hào)測(cè)針、以及指向z軸負(fù)方向的1號(hào)測(cè)針;其特征在于,所述裝置包括:
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置,其特征在于,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的末端設(shè)置有一個(gè)測(cè)球;所述測(cè)針安裝模塊還用于:
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置,其特征在于,所述星形測(cè)針中每個(gè)測(cè)針的材質(zhì)為不銹鋼,各所述測(cè)球的材質(zhì)為紅寶石。