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      無線無源壓力傳感器的制作方法

      文檔序號:40395616發(fā)布日期:2024-12-20 12:19閱讀:7來源:國知局
      無線無源壓力傳感器的制作方法

      本申請涉及壓力檢測,特別是涉及一種無線無源壓力傳感器。


      背景技術:

      1、壓差的檢測在生產(chǎn)生活中占有重要地位,壓差傳感器的精度高低、穩(wěn)定性好壞及適應環(huán)境能力的大小、智能化水平廣泛地影響著各行各業(yè)的發(fā)展。

      2、目前常用的壓差檢測方法有:電容式、電阻式和諧振式等。其中電容式是目前應用較為廣泛的檢測方法。

      3、現(xiàn)有的壓差檢測裝置需要利用有線的讀出方式,將壓差檢測裝置有線的與外部讀出裝置連接,存在抗干擾能力弱、安裝不便等問題,因此需要一種可以無線無源的測量方法。


      技術實現(xiàn)思路

      1、基于此,有必要針對上述技術問題,提供一種無線無源壓力傳感器。

      2、第一方面,本申請?zhí)峁┝艘环N無線無源壓力傳感器,包括:

      3、節(jié)流應變電容組件,固定安裝于管道內(nèi)壁,用于縮小流體通過管道的截面面積,并檢測節(jié)流應變電容組件兩側(cè)的壓差;

      4、傳感器電感,纏繞于管道的內(nèi)壁,與節(jié)流應變電容組件電連接;

      5、激勵電感,纏繞于管道的外壁,與傳感器電感耦合。

      6、在其中一個實施例中,無線無源壓力傳感器還包括:

      7、管道,節(jié)流應變電容組件、傳感器電感和激勵電感安裝于管道。

      8、在其中一個實施例中,節(jié)流應變電容組件包括:

      9、節(jié)流板,固定安裝于管道內(nèi)壁,節(jié)流板上具有一節(jié)流孔,用于縮小流體通過管道的截面面積;

      10、應變敏感電容器,固定安裝于節(jié)流板上,與傳感器電感電連接,用于檢測節(jié)流板兩側(cè)的壓差。

      11、在其中一個實施例中,應變敏感電容器包括:

      12、密封外殼,密封外殼朝向節(jié)流板兩側(cè)的側(cè)面分別設置有第一通孔;

      13、固定基底,安裝于密封外殼的內(nèi)壁,固定基底具有第二通孔;

      14、襯底層,安裝于固定基底上,襯底層具有一敏感極板,敏感極板上具有第一電極,第一電極與傳感器電感電連接;

      15、氧化層,設置于襯底層遠離固定基底的一側(cè);

      16、器件層,設置于氧化層遠離襯底層的一側(cè),器件層上具有一透氣孔和第二電極,第二電極與傳感器電感電連接;

      17、其中,器件層和襯底層之間具有縫隙,且形成于氧化層。

      18、在其中一個實施例中,節(jié)流板和傳感器電感的形狀與管道的內(nèi)壁的形狀相同,激勵電感的形狀與管道的外壁的形狀相同。

      19、第二方面,本申請還提供了一種壓差檢測方法,應用于上述實施例中的無線無源壓力傳感器,該方法包括:

      20、獲取無線無源壓力傳感器的諧振頻率;

      21、根據(jù)諧振頻率的變化,確定壓差。

      22、第三方面,本申請還提供了一種壓差檢測裝置,該裝置包括:

      23、諧振頻率獲取模塊,用于獲取無線無源壓力傳感器的諧振頻率;

      24、壓差確定模塊,用于根據(jù)諧振頻率的變化,確定壓差。

      25、第四方面,本申請還提供了一種計算機設備,包括存儲器和處理器,存儲器存儲有計算機程序,處理器執(zhí)行計算機程序時實現(xiàn)上述實施例中的方法的步驟。

      26、第五方面,本申請還提供了一種計算機可讀存儲介質(zhì),其上存儲有計算機程序,計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)上述實施例中的方法的步驟。

      27、第六方面,本申請還提供了一種計算機程序產(chǎn)品,包括計算機程序,計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)上述實施例中的方法的步驟。

      28、上述無線無源壓力傳感器,至少具有以下有益效果:

      29、能夠?qū)崿F(xiàn)在不需內(nèi)置電源的情況下對管道內(nèi)部壓力或壓差的無線監(jiān)測,簡化了安裝過程并增強了系統(tǒng)的抗干擾能力,特別適用于發(fā)電廠等工業(yè)環(huán)境中對維護要求高且難以接觸的位置進行持續(xù)可靠的壓力監(jiān)控。



      技術特征:

      1.一種無線無源壓力傳感器,其特征在于,包括:

      2.根據(jù)權利要求1所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,還包括:

      3.根據(jù)權利要求1所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,所述節(jié)流應變電容組件包括:

      4.根據(jù)權利要求3所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,所述應變敏感電容器包括:

      5.根據(jù)權利要求3-4任一項所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,所述節(jié)流板和所述傳感器電感的形狀與所述管道的內(nèi)壁的形狀相同,所述激勵電感的形狀與所述管道的外壁的形狀相同。

      6.一種壓差檢測方法,其特征在于,應用于如權利要求1-5任一項所述的無線無源壓力傳感器,所述方法包括:

      7.一種壓差檢測裝置,其特征在于,所述裝置包括:

      8.一種計算機設備,包括存儲器和處理器,所述存儲器存儲有計算機程序,其特征在于,所述處理器執(zhí)行所述計算機程序時實現(xiàn)權利要求6中任一項所述的方法的步驟。

      9.一種計算機可讀存儲介質(zhì),其上存儲有計算機程序,其特征在于,所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)權利要求6中任一項所述的方法的步驟。

      10.一種計算機程序產(chǎn)品,包括計算機程序,其特征在于,所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)權利要求6中任一項所述的方法的步驟。


      技術總結
      本申請涉及一種無線無源壓力傳感器。該無線無源壓力傳感器包括節(jié)流應變電容組件、傳感器電感和激勵電感。節(jié)流應變電容組件固定安裝于管道內(nèi)壁,用于縮小流體通過管道的截面面積,并檢測節(jié)流應變電容組件兩側(cè)的壓差;傳感器電感纏繞于管道的內(nèi)壁,與節(jié)流應變電容組件電連接;激勵電感纏繞于管道的外壁,與傳感器電感耦合。采用該傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)在不需內(nèi)置電源的情況下對管道內(nèi)部壓力或壓差的無線監(jiān)測。

      技術研發(fā)人員:覃智賢,魏宇鵬,梁水康,陳小瓦,林躍歡,孫鐵鵬
      受保護的技術使用者:中國南方電網(wǎng)有限責任公司
      技術研發(fā)日:
      技術公布日:2024/12/19
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