本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備，尤其涉及一種移動(dòng)端的限位裝置及檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在晶圓或掩模版缺陷檢測(cè)領(lǐng)域，精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是關(guān)鍵技術(shù)之一，其性能直接影響檢測(cè)的結(jié)果。隨著半導(dǎo)體芯片制程不斷發(fā)展，晶圓或掩模版缺陷檢測(cè)設(shè)備向著更精密、更準(zhǔn)確、更高產(chǎn)的方向發(fā)展；這一發(fā)展趨勢(shì)對(duì)其中的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)提出了更精密、更穩(wěn)定的技術(shù)要求。

2、如圖1所示：晶圓或掩模版缺陷檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)臺(tái)主要由水平y(tǒng)向運(yùn)動(dòng)軸7、水平x向運(yùn)動(dòng)軸8、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸6、垂向運(yùn)動(dòng)軸3等組成。為滿足檢測(cè)精度的需求，各運(yùn)動(dòng)軸都安裝在具有減振裝置1的大理石平臺(tái)2上。其中，水平y(tǒng)向運(yùn)動(dòng)軸7、水平x向運(yùn)動(dòng)軸8和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸6一般集成在一起，承載被檢測(cè)工件5作水平向及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；垂向運(yùn)動(dòng)軸3搭載光學(xué)檢測(cè)裝置4，實(shí)現(xiàn)光學(xué)檢測(cè)裝置4的垂向精密運(yùn)動(dòng)。具體地，傳統(tǒng)的精密垂向運(yùn)動(dòng)軸3的結(jié)構(gòu)一般是電機(jī)直驅(qū)精密滾珠絲桿、或電機(jī)搭配同步帶，再驅(qū)動(dòng)精密滾珠絲桿，帶動(dòng)光機(jī)負(fù)載作垂向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。進(jìn)一步地，在半導(dǎo)體精密量檢測(cè)領(lǐng)域，垂向運(yùn)動(dòng)軸3帶動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置4運(yùn)動(dòng)至檢測(cè)位置時(shí)，受光學(xué)檢測(cè)裝置4性能及檢測(cè)精度的要求，光學(xué)檢測(cè)裝置4的最下端元器件距離被檢測(cè)工件5之間的間隙往往只有數(shù)十微米至數(shù)百微米(因?yàn)楣鈾C(jī)鏡頭的工作距極小)?？紤]到各硬件結(jié)構(gòu)實(shí)際尺寸誤差和結(jié)構(gòu)件彈性變形等因素的影響，很難保證光學(xué)檢測(cè)裝置4的最下端元器件距離被檢測(cè)工件5始終處于安全距離。在這種應(yīng)用場(chǎng)景下，如何保證在各種異常場(chǎng)景，如運(yùn)動(dòng)軸運(yùn)動(dòng)失控、電機(jī)過電流等，硅片及光機(jī)的安全性，是這類半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域至關(guān)重要的問題。

3、所以，亟需一種移動(dòng)端的限位裝置及檢測(cè)設(shè)備，以解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于以上所述，本發(fā)明的目的在于提供一種移動(dòng)端的限位裝置及檢測(cè)設(shè)備，可以有效地保證移動(dòng)端與工作臺(tái)在第一方向上處于安全預(yù)設(shè)距離。

2、為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、移動(dòng)端的限位裝置，移動(dòng)端通過驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于工作臺(tái)，所述驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)端相對(duì)于工作臺(tái)沿第一方向移動(dòng)，所述限位裝置包括：

4、限位組件，包括限位塊，所述限位塊設(shè)置于所述工作臺(tái)，當(dāng)所述移動(dòng)端在所述第一方向與所述工作臺(tái)距離為第一預(yù)設(shè)距離時(shí)，所述限位塊能與所述移動(dòng)端抵接，或所述限位塊設(shè)置于所述移動(dòng)端，用于選擇性與所述工作臺(tái)抵接；

5、檢測(cè)組件，包括檢測(cè)頭，所述檢測(cè)頭與所述驅(qū)動(dòng)組件通訊連接，用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述移動(dòng)端和所述工作臺(tái)在所述第一方向上的距離，并在距離為第二預(yù)設(shè)距離時(shí)，使所述驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)端以預(yù)設(shè)速度移動(dòng)并在第三預(yù)設(shè)距離時(shí)停止驅(qū)動(dòng)，所述第一預(yù)設(shè)距離小于等于所述第三預(yù)設(shè)距離。

6、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述檢測(cè)組件還包括感應(yīng)頭，所述感應(yīng)頭和所述檢測(cè)頭二者中，其中一個(gè)設(shè)置于所述移動(dòng)端，另一個(gè)設(shè)置與所述工作臺(tái)，所述檢測(cè)頭用于檢測(cè)所述感應(yīng)頭與所述檢測(cè)頭之間的距離。

7、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述感應(yīng)頭與所述檢測(cè)頭沿所述第一方向間距可調(diào)。

8、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述檢測(cè)組件還包括第二安裝支架，所述第二安裝支架設(shè)置于所述工作臺(tái)，所述檢測(cè)頭沿第一方向位置可調(diào)地設(shè)置于所述第二安裝支架。

9、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述限位組件還包括限位擋板，所述限位擋板和所述限位塊二者中，其中一個(gè)設(shè)置于所述移動(dòng)端，另一個(gè)設(shè)置與所述工作臺(tái)，所述限位塊能選擇性與所述限位擋板抵接。

10、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述限位擋板與所述限位塊沿所述第一方向間距可調(diào)。

11、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述限位塊包括安裝座和設(shè)置于所述安裝座內(nèi)的限位頭，所述限位頭用于與所述移動(dòng)端或所述工作臺(tái)抵接。

12、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述限位頭沿所述第一方向上位置可調(diào)地設(shè)置于所述安裝座，和/或所述安裝座沿所述第一方向位置可調(diào)地設(shè)置于所述工作臺(tái)或所述移動(dòng)端。

13、作為移動(dòng)端的限位裝置的一種優(yōu)選方案，所述限位頭沿所述第一方向上位置可調(diào)地設(shè)置于所述安裝座，和/或所述安裝座沿所述第一方向位置可調(diào)地設(shè)置于所述工作臺(tái)或所述移動(dòng)端。所述限位裝置還設(shè)置有安裝板，所述移動(dòng)端設(shè)置于所述安裝板，所述驅(qū)動(dòng)組件能驅(qū)動(dòng)所述安裝板移動(dòng)，所述限位塊設(shè)置于所述安裝板或與所述安裝板選擇性抵接，所述檢測(cè)頭用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述安裝板和所述工作臺(tái)在所述第一方向上的距離。

14、檢測(cè)設(shè)備，包括檢測(cè)頭和如以上任一方案所述的移動(dòng)端的限位裝置，所述檢測(cè)頭設(shè)置于所述移動(dòng)端。

15、本發(fā)明的有益效果為：

16、本發(fā)明通過設(shè)置限位組件，在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)移動(dòng)端沿第一方向靠近工作臺(tái)過程中，當(dāng)移動(dòng)端和工作臺(tái)之間的距離為第一預(yù)設(shè)距離時(shí)，限位塊能通過抵接實(shí)現(xiàn)對(duì)移動(dòng)端沿第一方向的硬限位。通過設(shè)置檢測(cè)組件，并將檢測(cè)頭與驅(qū)動(dòng)組件通訊連接，使得檢測(cè)頭在檢測(cè)到移動(dòng)端和工作臺(tái)在第一方向上的距離為第二預(yù)設(shè)距離時(shí)，使驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)移動(dòng)端以預(yù)設(shè)速度移動(dòng)并在第三預(yù)設(shè)距離時(shí)停止驅(qū)動(dòng)。值得說明的是，上述預(yù)設(shè)速度小于驅(qū)動(dòng)組件正常驅(qū)動(dòng)移動(dòng)端移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)速度，較緩的運(yùn)動(dòng)速度有利于在移動(dòng)端和工作臺(tái)距離小于第二預(yù)設(shè)距離后，提高二者的安全性，同時(shí)較緩的運(yùn)動(dòng)速度還有利于提高檢測(cè)組件的檢測(cè)精度，進(jìn)而提高檢測(cè)組件在第三預(yù)設(shè)距離時(shí)對(duì)移動(dòng)端沿第一方向的限位的可靠性?？梢岳斫獾氖?，第一預(yù)設(shè)距離小于等于第三預(yù)設(shè)距離，即在檢測(cè)組件未能及時(shí)將移動(dòng)端限位于第三預(yù)設(shè)距離或限位失敗時(shí)，限位組件還可以用于對(duì)移動(dòng)端的限位，限位更加可靠，有效地提高了移動(dòng)端和工作臺(tái)的安全性。

技術(shù)特征：

1.移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，移動(dòng)端通過驅(qū)動(dòng)組件(101)設(shè)置于工作臺(tái)(102)，所述驅(qū)動(dòng)組件(101)用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)端相對(duì)于工作臺(tái)(102)沿第一方向移動(dòng)，所述限位裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述檢測(cè)組件(300)還包括感應(yīng)頭(320)，所述感應(yīng)頭(320)和所述檢測(cè)頭(310)二者中，其中一個(gè)設(shè)置于所述移動(dòng)端，另一個(gè)設(shè)置于所述工作臺(tái)(102)，所述檢測(cè)頭(310)用于檢測(cè)所述感應(yīng)頭(320)與所述檢測(cè)頭(310)之間的距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述感應(yīng)頭(320)與所述檢測(cè)頭(310)沿所述第一方向間距可調(diào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述檢測(cè)組件(300)還包括第二安裝支架(330)，所述第二安裝支架(330)設(shè)置于所述工作臺(tái)(102)，所述檢測(cè)頭(310)沿所述第一方向位置可調(diào)地設(shè)置于所述第二安裝支架(330)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述限位組件(200)還包括限位擋板(220)，所述限位擋板(220)和所述限位塊(210)二者中，其中一個(gè)設(shè)置于所述移動(dòng)端，另一個(gè)設(shè)置于所述工作臺(tái)(102)，所述限位塊(210)能選擇性與所述限位擋板(220)抵接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述限位擋板(220)與所述限位塊(210)沿所述第一方向間距可調(diào)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述限位塊(210)包括安裝座(211)和設(shè)置于所述安裝座(211)內(nèi)的限位頭(212)，所述限位頭(212)用于與所述移動(dòng)端或所述工作臺(tái)(102)抵接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述限位頭(212)沿所述第一方向上位置可調(diào)地設(shè)置于所述安裝座(211)，和/或所述安裝座(211)沿所述第一方向位置可調(diào)地設(shè)置于所述工作臺(tái)(102)或所述移動(dòng)端。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的移動(dòng)端的限位裝置，其特征在于，所述限位裝置還設(shè)置有安裝板(103)，所述移動(dòng)端設(shè)置于所述安裝板(103)，所述驅(qū)動(dòng)組件(101)能驅(qū)動(dòng)所述安裝板(103)移動(dòng)，所述限位塊(210)設(shè)置于所述安裝板(103)或與所述安裝板(103)選擇性抵接，所述檢測(cè)頭(310)用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述安裝板(103)和所述工作臺(tái)(102)在所述第一方向上的距離。

10.檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括檢測(cè)頭(310)和如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的移動(dòng)端的限位裝置，所述檢測(cè)頭(310)設(shè)置于所述移動(dòng)端。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開一種移動(dòng)端的限位裝置及檢測(cè)設(shè)備。其中移動(dòng)端的限位裝置包括限位組件和檢測(cè)組件，限位組件包括限位塊，限位塊設(shè)置于工作臺(tái)，當(dāng)移動(dòng)端在第一方向與工作臺(tái)距離為第一預(yù)設(shè)距離時(shí)，限位塊能與移動(dòng)端抵接，或限位塊設(shè)置于移動(dòng)端，用于選擇性與工作臺(tái)抵接；檢測(cè)組件包括檢測(cè)頭，檢測(cè)頭與驅(qū)動(dòng)組件通訊連接，用于實(shí)時(shí)檢測(cè)移動(dòng)端和工作臺(tái)在第一方向上的距離，并在距離為第二預(yù)設(shè)距離時(shí)，使驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)移動(dòng)端以預(yù)設(shè)速度移動(dòng)并在第三預(yù)設(shè)距離時(shí)停止驅(qū)動(dòng)，第一預(yù)設(shè)距離小于等于第三預(yù)設(shè)距離。本發(fā)明在檢測(cè)組件未能及時(shí)將移動(dòng)端限位或限位失敗時(shí)，限位組件還可以用于對(duì)移動(dòng)端限位，有效地提高了移動(dòng)端和工作臺(tái)的安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：馬方波,鄭鋒標(biāo),蘭艷平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10