本申請(qǐng)涉及巨量轉(zhuǎn)移，尤其涉及一種動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、miniled是當(dāng)前液晶顯示技術(shù)的創(chuàng)新方向，其市場(chǎng)前景廣闊，主要應(yīng)用在醫(yī)療顯示、車(chē)載顯示、會(huì)議會(huì)展等諸多領(lǐng)域。巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)是miniled量產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)，其包括pick&place轉(zhuǎn)移技術(shù)、針刺式轉(zhuǎn)移技術(shù)以及激光轉(zhuǎn)移技術(shù)等。

2、相關(guān)技術(shù)中常用針刺式轉(zhuǎn)移技術(shù)進(jìn)行miniled的轉(zhuǎn)移，針刺式轉(zhuǎn)移技術(shù)的應(yīng)用場(chǎng)景相對(duì)較少但其優(yōu)勢(shì)是可生產(chǎn)更大的基板尺寸，可轉(zhuǎn)移更小尺寸的芯片。而且其整機(jī)設(shè)備占地面積小，轉(zhuǎn)移效率也遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)pick&place轉(zhuǎn)移技術(shù)。

3、但在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中，在對(duì)整機(jī)設(shè)備占地面積要求較小的情況下，不可避免地，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就使得其結(jié)構(gòu)更加緊湊，而且設(shè)備還有高頻、高速、高精度的要求，對(duì)此，整機(jī)設(shè)備中多部組進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動(dòng)時(shí)容易出現(xiàn)一些動(dòng)作規(guī)劃不合理、人為操作失誤而導(dǎo)致部組之間的干涉碰撞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，解決了相關(guān)技術(shù)中整機(jī)設(shè)備中多部組進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動(dòng)時(shí)容易出現(xiàn)干涉碰撞的問(wèn)題，本方案能夠通過(guò)動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)獲取位置，以確定部組之間的位置關(guān)系，從而快速判斷是否存在碰撞風(fēng)險(xiǎn)，從而有效地避免了多部組進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動(dòng)時(shí)容易出現(xiàn)干涉碰撞的情況。

2、第一方面，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，應(yīng)用于刺晶設(shè)備，刺晶設(shè)備包括針刺頭和用于放置晶圓盤(pán)的置物臺(tái)，刺晶設(shè)備對(duì)應(yīng)針刺頭設(shè)置有第一坐標(biāo)系，以及對(duì)應(yīng)晶圓盤(pán)設(shè)置有第二坐標(biāo)系，第一坐標(biāo)系的原點(diǎn)和第二坐標(biāo)系的原點(diǎn)均對(duì)齊于刺晶設(shè)備的固定標(biāo)記點(diǎn)，該動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法包括：

3、獲取針刺頭在晶圓盤(pán)上的多個(gè)邊緣點(diǎn)的坐標(biāo)參數(shù)，以確定針刺頭位于晶圓盤(pán)的晶圓中心點(diǎn)的第一中心坐標(biāo)，第一中心坐標(biāo)關(guān)聯(lián)于第一坐標(biāo)系；

4、基于第一中心坐標(biāo)和第二中心坐標(biāo)，確定第一坐標(biāo)系和第二坐標(biāo)系的坐標(biāo)映射關(guān)系，第二中心坐標(biāo)為晶圓盤(pán)的晶圓中心點(diǎn)在第二坐標(biāo)系的坐標(biāo)；

5、根據(jù)坐標(biāo)映射關(guān)系、針刺頭在第一坐標(biāo)系上的坐標(biāo)以及晶圓中心點(diǎn)在第二坐標(biāo)系上的坐標(biāo)，構(gòu)建對(duì)應(yīng)針刺頭和晶圓中心點(diǎn)的距離關(guān)系方程；

6、實(shí)時(shí)獲取針刺頭的第一移動(dòng)位置和晶圓中心點(diǎn)的第二移動(dòng)位置，以確定針刺頭的第一移動(dòng)位置在第一坐標(biāo)系上對(duì)應(yīng)的第一位置坐標(biāo)以及晶圓中心點(diǎn)的第二移動(dòng)位置在第二坐標(biāo)系上對(duì)應(yīng)的第二位置坐標(biāo)；

7、根據(jù)第一位置坐標(biāo)、第二位置坐標(biāo)和距離關(guān)系方程，確定在同一坐標(biāo)下針刺頭與晶圓中心點(diǎn)之間的坐標(biāo)距離；

8、基于坐標(biāo)距離與預(yù)設(shè)的風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域?qū)?yīng)的距離閾值，確定是否存在碰撞風(fēng)險(xiǎn)，以在存在碰撞風(fēng)險(xiǎn)的情況下按照預(yù)設(shè)保護(hù)方式對(duì)刺晶設(shè)備進(jìn)行控制。

9、第二方面，本申請(qǐng)還提供了一種動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)裝置，應(yīng)用于刺晶設(shè)備，刺晶設(shè)備包括針刺頭和用于放置晶圓盤(pán)的置物臺(tái)，刺晶設(shè)備對(duì)應(yīng)針刺頭設(shè)置有第一坐標(biāo)系，以及對(duì)應(yīng)晶圓盤(pán)設(shè)置有第二坐標(biāo)系，第一坐標(biāo)系的原點(diǎn)和第二坐標(biāo)系的原點(diǎn)均對(duì)齊于刺晶設(shè)備的固定標(biāo)記點(diǎn)，該動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)裝置包括：

10、定點(diǎn)定位模塊，配置為獲取針刺頭在晶圓盤(pán)上的多個(gè)邊緣點(diǎn)的坐標(biāo)參數(shù)，以確定針刺頭位于晶圓盤(pán)的晶圓中心點(diǎn)的第一中心坐標(biāo)，第一中心坐標(biāo)關(guān)聯(lián)于第一坐標(biāo)系；

11、坐標(biāo)標(biāo)定模塊，配置為基于第一中心坐標(biāo)和第二中心坐標(biāo)，確定第一坐標(biāo)系和第二坐標(biāo)系的坐標(biāo)映射關(guān)系，第二中心坐標(biāo)為晶圓盤(pán)的晶圓中心點(diǎn)在第二坐標(biāo)系的坐標(biāo)；

12、關(guān)系構(gòu)建模塊，配置為根據(jù)坐標(biāo)映射關(guān)系、針刺頭在第一坐標(biāo)系上的坐標(biāo)以及晶圓中心點(diǎn)在第二坐標(biāo)系上的坐標(biāo)，構(gòu)建對(duì)應(yīng)針刺頭和晶圓中心點(diǎn)的距離關(guān)系方程；

13、坐標(biāo)獲取模塊，配置為實(shí)時(shí)獲取針刺頭的第一移動(dòng)位置和晶圓中心點(diǎn)的第二移動(dòng)位置，以確定針刺頭的第一移動(dòng)位置在第一坐標(biāo)系上對(duì)應(yīng)的第一位置坐標(biāo)以及晶圓中心點(diǎn)的第二移動(dòng)位置在第二坐標(biāo)系上對(duì)應(yīng)的第二位置坐標(biāo)；

14、距離獲取模塊，配置為根據(jù)第一位置坐標(biāo)、第二位置坐標(biāo)和距離關(guān)系方程，確定在同一坐標(biāo)下針刺頭與晶圓中心點(diǎn)之間的坐標(biāo)距離；

15、風(fēng)險(xiǎn)判斷模塊，配置為基于坐標(biāo)距離與預(yù)設(shè)的風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域?qū)?yīng)的距離閾值，確定是否存在碰撞風(fēng)險(xiǎn)，以在存在碰撞風(fēng)險(xiǎn)的情況下按照預(yù)設(shè)保護(hù)方式對(duì)刺晶設(shè)備進(jìn)行控制。

16、第三方面，本申請(qǐng)還提供了一種刺晶設(shè)備，該刺晶設(shè)備包括：

17、一個(gè)或多個(gè)處理器；

18、存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)程序，

19、當(dāng)一個(gè)或多個(gè)程序被一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行，使得一個(gè)或多個(gè)處理器實(shí)現(xiàn)本申請(qǐng)的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法。

20、第四方面，本申請(qǐng)還提供了一種存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令的存儲(chǔ)介質(zhì)，計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令在由處理器執(zhí)行時(shí)用于執(zhí)行本申請(qǐng)的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法。

21、本申請(qǐng)通過(guò)對(duì)兩個(gè)原點(diǎn)對(duì)齊的坐標(biāo)系建立對(duì)應(yīng)的映射關(guān)系，基于晶圓盤(pán)基本尺寸參數(shù)進(jìn)一步確定干涉風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域范圍，進(jìn)而在確定動(dòng)態(tài)獲取的針刺頭位置、晶圓中心點(diǎn)后，能夠確定各部組之間的位置關(guān)系，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控，從而可以使得設(shè)備內(nèi)多部組實(shí)現(xiàn)高頻、高速、高精的在復(fù)合運(yùn)動(dòng)的同時(shí)并防止出現(xiàn)撞機(jī)碰撞的情況，有效地提升了設(shè)備安全性。

技術(shù)特征：

1.一種動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，應(yīng)用于刺晶設(shè)備，所述刺晶設(shè)備包括針刺頭和用于放置晶圓盤(pán)的置物臺(tái)，所述刺晶設(shè)備對(duì)應(yīng)所述針刺頭設(shè)置有第一坐標(biāo)系，以及對(duì)應(yīng)所述晶圓盤(pán)設(shè)置有第二坐標(biāo)系，所述第一坐標(biāo)系的原點(diǎn)和所述第二坐標(biāo)系的原點(diǎn)均對(duì)齊于所述刺晶設(shè)備的固定標(biāo)記點(diǎn)，所述動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，所述邊緣點(diǎn)為在所述晶圓盤(pán)的邊緣上的點(diǎn)；

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，所述基于所述第一中心坐標(biāo)和第二中心坐標(biāo)，確定所述第一坐標(biāo)系和所述第二坐標(biāo)系的坐標(biāo)映射關(guān)系，所述第二中心坐標(biāo)關(guān)聯(lián)于所述第二坐標(biāo)系且所述第二中心坐標(biāo)為所述晶圓盤(pán)的晶圓中心點(diǎn)在所述第二坐標(biāo)系的坐標(biāo)，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，所述坐標(biāo)映射關(guān)系包括在第一坐標(biāo)軸方向以及在第二坐標(biāo)軸方向上的極差參數(shù)；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一位置坐標(biāo)、所述第二位置坐標(biāo)和所述距離關(guān)系方程，以確定在同一坐標(biāo)下所述針刺頭與所述晶圓中心點(diǎn)之間的坐標(biāo)距離，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，所述風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域?qū)?yīng)的距離閾值包括第一閾值，所述第一閾值小于所述晶圓盤(pán)的半徑；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法，其特征在于，所述風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域?qū)?yīng)的距離閾值還包括第二閾值，所述第二閾值大于所述晶圓盤(pán)的半徑，所述方法還包括：

8.一種動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)裝置，其特征在于，應(yīng)用于刺晶設(shè)備，所述刺晶設(shè)備包括針刺頭和用于放置晶圓盤(pán)的置物臺(tái)，所述刺晶設(shè)備對(duì)應(yīng)所述針刺頭設(shè)置有第一坐標(biāo)系，以及對(duì)應(yīng)所述晶圓盤(pán)設(shè)置有第二坐標(biāo)系，所述第一坐標(biāo)系的原點(diǎn)和所述第二坐標(biāo)系的原點(diǎn)均對(duì)齊于所述刺晶設(shè)備的固定標(biāo)記點(diǎn)，所述動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)裝置包括：

9.一種刺晶設(shè)備，其特征在于，包括：

10.一種存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令的存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令在由處理器執(zhí)行時(shí)用于執(zhí)行如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N動(dòng)態(tài)干涉檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，涉及巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)領(lǐng)域，解決了相關(guān)技術(shù)中整機(jī)設(shè)備中多部組進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動(dòng)時(shí)容易出現(xiàn)干涉碰撞的問(wèn)題，本方案能夠通過(guò)動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)獲取位置，以確定部組之間的位置關(guān)系，從而快速判斷是否存在碰撞風(fēng)險(xiǎn)，從而有效地避免了多部組進(jìn)行復(fù)合運(yùn)動(dòng)時(shí)容易出現(xiàn)干涉碰撞的情況。

技術(shù)研發(fā)人員：陳萬(wàn)群,王正根,顧俊馳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：邁為技術(shù)（珠海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/17