本發(fā)明屬于集成電路及電子制造，具體涉及一種用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器及標(biāo)定方法。

背景技術(shù)：

1、x射線3d在線檢測(cè)設(shè)備（以下簡(jiǎn)稱檢測(cè)設(shè)備）廣泛應(yīng)用于工業(yè)無損檢測(cè)以及醫(yī)療影像等領(lǐng)域中。x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱檢測(cè)系統(tǒng)）為x射線3d在線檢測(cè)設(shè)備上運(yùn)行的檢測(cè)程序。為保障檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)結(jié)果的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，需要基于檢測(cè)設(shè)備對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的功能性參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定。

2、而目前主要依據(jù)人為設(shè)定的補(bǔ)償值進(jìn)行功能性參數(shù)的標(biāo)定，尚無可以在檢測(cè)設(shè)備上針對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的功能性參數(shù)進(jìn)行在線自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器以及自動(dòng)標(biāo)定的方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器、標(biāo)定方法及電子設(shè)備，能夠在檢測(cè)設(shè)備上針對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的功能性參數(shù)進(jìn)行在線自動(dòng)標(biāo)定。

2、本發(fā)明第一方面公開一種用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，包括：

3、夾具和若干個(gè)標(biāo)定件，所述標(biāo)定件可拆卸安裝在所述夾具上；

4、所述標(biāo)定件為激光傳感器高度位置標(biāo)定件、ccd像素灰度標(biāo)定件、ccd解析度標(biāo)定件、x射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件、平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件、z軸方向尺寸標(biāo)定件以及大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件中的一種；

5、所述激光傳感器高度位置標(biāo)定件包括金屬底板和安裝在所述金屬底板上的金屬階梯；所述ccd像素灰度標(biāo)定件為被配置為目標(biāo)灰度值的標(biāo)準(zhǔn)白板；所述ccd解析度標(biāo)定件包括玻璃板和刻蝕在所述玻璃板上的回形框；所述x射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件包括pvc板和固定在所述pvc板中央的一個(gè)鋼球；所述平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件包括pvc板和固定在所述pvc板中央附近的多個(gè)鋼球；所述z軸方向尺寸標(biāo)定件包括碳纖維板和在所述碳纖維板上層疊的鎢片；所述大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件包括金屬制成的標(biāo)定板和陣列設(shè)置在所述標(biāo)定板上的圓柱孔。

6、在一些實(shí)施例中，所述激光傳感器高度位置標(biāo)定件為塔狀，所述金屬階梯由多個(gè)不同尺寸的金屬塊疊加而成，所述金屬塊之間通過銷軸連接。

7、在一些實(shí)施例中，所述ccd解析度標(biāo)定件包括三組所述回形框，三組所述回形框的尺寸互不相同。

8、在一些實(shí)施例中，所述平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件的pvc板為四邊形，所述四邊形的每條對(duì)角線上各設(shè)有兩個(gè)鋼球。

9、在一些實(shí)施例中，所述z軸方向尺寸標(biāo)定件中的鎢片的表面厚度均勻性不大于3μm、表面粗糙度不大于0.8μm。

10、在一些實(shí)施例中，所述大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件的標(biāo)定板為不銹鋼板，所述不銹鋼板表面平面度不大于10μm、表面粗糙度不大于0.8μm。

11、在一些實(shí)施例中，所述夾具上設(shè)有多個(gè)安裝孔，所述激光傳感器高度位置標(biāo)定件、所述ccd像素灰度標(biāo)定件、所述ccd解析度標(biāo)定件、所述x射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件、所述平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件、所述z軸方向尺寸標(biāo)定件通過所述安裝孔陣列式安裝在所述夾具上或所述大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件通過一個(gè)所述安裝孔安裝在所述夾具上。

12、本發(fā)明第二方面公開一種x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)的標(biāo)定方法，包括：

13、將如任意一項(xiàng)上述的標(biāo)準(zhǔn)器傳送至檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)區(qū)域，調(diào)整所述標(biāo)準(zhǔn)器的位置使得目標(biāo)標(biāo)定件處于目標(biāo)區(qū)域，所述目標(biāo)標(biāo)定件為激光傳感器高度位置標(biāo)定件、ccd像素灰度標(biāo)定件、ccd解析度標(biāo)定件、x射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件、平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件、z軸方向尺寸標(biāo)定件以及大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件中的一種；

14、x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)所述目標(biāo)標(biāo)定件，獲得檢測(cè)數(shù)據(jù)；

15、分析所述檢測(cè)數(shù)據(jù)，根據(jù)分析結(jié)果自動(dòng)標(biāo)定x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)。

16、在一些實(shí)施例中，所述分析所述檢測(cè)數(shù)據(jù)，根據(jù)分析結(jié)果自動(dòng)標(biāo)定x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)，包括：

17、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為激光傳感器高度位置標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為激光傳感器探測(cè)識(shí)別金屬臺(tái)階位置獲得的臺(tái)階高度值，根據(jù)所述臺(tái)階高度值與臺(tái)階高度溯源值之間的差值標(biāo)定激光傳感器高度測(cè)量的補(bǔ)償值；

18、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為ccd像素灰度標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為ccd探測(cè)圖像，基于所述ccd探測(cè)圖像，測(cè)量所述標(biāo)準(zhǔn)白板的灰度值，根據(jù)所述灰度值與灰度溯源值之間的差值標(biāo)定ccd像素灰度的補(bǔ)償值；

19、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為ccd解析度標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為ccd探測(cè)圖像，識(shí)別所述ccd探測(cè)圖像中的回形框，獲得回形框尺寸值，根據(jù)所述回形框尺寸值與回形框溯源值之間的差值標(biāo)定ccd解析度的補(bǔ)償值；

20、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為x射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為掃描圖像，基于所述掃描圖像，測(cè)量x射線光管、探測(cè)器、鋼球軸線共線的位置偏差，根據(jù)所述位置偏差與位置偏差溯源值之間的差值標(biāo)定x射線軸向補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償值；

21、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為掃描圖像，基于所述掃描圖像，測(cè)量鋼球之間的球心間距，根據(jù)所述球心間距與球心間距溯源值之間的差值標(biāo)定平板探測(cè)器fpd偏置的補(bǔ)償值；

22、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為z軸方向尺寸標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為掃描圖像，基于所述掃描圖像，測(cè)量鎢片的高度值，根據(jù)所述高度值與鎢片高度溯源值之間的差值標(biāo)定z軸方向尺寸的補(bǔ)償值；

23、當(dāng)所述目標(biāo)標(biāo)定件為大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件時(shí)，所述檢測(cè)數(shù)據(jù)為掃描圖像，基于所述掃描圖像，測(cè)量圓柱孔中心之間的間距值，根據(jù)所述間距值與間距溯源值之間的差值標(biāo)定大尺寸位置精度的補(bǔ)償值。

24、本發(fā)明第三方面公開一種電子設(shè)備，包括存儲(chǔ)有可執(zhí)行程序代碼的存儲(chǔ)器以及與所述存儲(chǔ)器耦合的處理器；所述處理器調(diào)用所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的所述可執(zhí)行程序代碼，用于執(zhí)行如任一項(xiàng)上述的x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)的標(biāo)定方法。

25、本發(fā)明的有益效果在于，設(shè)計(jì)了多種標(biāo)定件，分別用來標(biāo)定檢測(cè)系統(tǒng)的激光傳感器高度位置、ccd像素灰度、ccd解析度、x射線軸向補(bǔ)償、平板探測(cè)器fpd偏置、z軸方向尺寸以及大尺寸位置精度補(bǔ)償?shù)裙δ苄詸z測(cè)參數(shù)。將標(biāo)定件安裝在夾具上后，傳送至在線檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)區(qū)域，通過對(duì)各個(gè)標(biāo)定件進(jìn)行成像分析，根據(jù)分析結(jié)果與標(biāo)定件的溯源值之間的差值對(duì)相應(yīng)的功能性檢測(cè)參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定，實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)裝備的在線自動(dòng)標(biāo)定。

技術(shù)特征：

1.一種用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，所述激光傳感器高度位置標(biāo)定件為塔狀，所述金屬階梯由多個(gè)不同尺寸的金屬塊疊加而成，所述金屬塊之間通過銷軸連接。

3.如權(quán)利要求1所述的用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，所述ccd解析度標(biāo)定件包括三組所述回形框，三組所述回形框的尺寸互不相同。

4.如權(quán)利要求1所述的用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，所述平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件的pvc板為四邊形，所述四邊形的每條對(duì)角線上各設(shè)有兩個(gè)鋼球。

5.如權(quán)利要求1所述的用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，所述z軸方向尺寸標(biāo)定件中的鎢片的表面厚度均勻性不大于3μm、表面粗糙度不大于0.8μm。

6.如權(quán)利要求1所述的用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，所述大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件的標(biāo)定板為不銹鋼板，所述不銹鋼板表面平面度不大于10μm、表面粗糙度不大于0.8μm。

7.如權(quán)利要求1所述的用于x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器，其特征在于，所述夾具上設(shè)有多個(gè)安裝孔，所述激光傳感器高度位置標(biāo)定件、所述ccd像素灰度標(biāo)定件、所述ccd解析度標(biāo)定件、所述x射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件、所述平板探測(cè)器fpd偏置標(biāo)定件、所述z軸方向尺寸標(biāo)定件通過所述安裝孔陣列式安裝在所述夾具上或所述大尺寸位置精度補(bǔ)償標(biāo)定件通過一個(gè)所述安裝孔安裝在所述夾具上。

8.x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)的標(biāo)定方法，其特征在于，包括：

9.如權(quán)利要求8所述的x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)的標(biāo)定方法，其特征在于，所述分析所述檢測(cè)數(shù)據(jù)，根據(jù)分析結(jié)果自動(dòng)標(biāo)定x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)，包括：

10.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括存儲(chǔ)有可執(zhí)行程序代碼的存儲(chǔ)器以及與所述存儲(chǔ)器耦合的處理器；所述處理器調(diào)用所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的所述可執(zhí)行程序代碼，用于執(zhí)行如權(quán)利要求8至9任一項(xiàng)所述的x射線3d在線檢測(cè)系統(tǒng)的標(biāo)定方法。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于X射線3D在線檢測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)器及標(biāo)定方法，標(biāo)準(zhǔn)器包括：夾具和若干個(gè)標(biāo)定件，所述標(biāo)定件可拆卸安裝在所述夾具上；激光傳感器高度位置標(biāo)定件包括金屬底板和安裝在所述金屬底板上的金屬階梯；CCD像素灰度標(biāo)定件為被配置為目標(biāo)灰度值的標(biāo)準(zhǔn)白板；CCD解析度標(biāo)定件包括玻璃板和刻蝕在所述玻璃板上的回形框；X射線軸向補(bǔ)償標(biāo)定件包括PVC板和固定在所述PVC板中央的一個(gè)鋼球；平板探測(cè)器FPD偏置標(biāo)定件包括PVC板和固定在所述PVC板中央附近的多個(gè)鋼球；Z軸方向尺寸標(biāo)定件包括碳纖維板和在所述碳纖維板上層疊的鎢片；能夠在檢測(cè)設(shè)備上針對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的功能性參數(shù)進(jìn)行在線自動(dòng)標(biāo)定。

技術(shù)研發(fā)人員：嚴(yán)杰文,胡良勇,魏純,鄭春雄,裴煜鵬,祁琳,馬婷婷,黃鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣州計(jì)量檢測(cè)技術(shù)研究院
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19