本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造行業(yè)機臺，具體為一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置。

背景技術(shù)：

1、以往的機臺腔體蓋子通過馬達驅(qū)動磁鐵去轉(zhuǎn)動，沒有檢測轉(zhuǎn)速的功能；存在缺陷，遇到問題，不能有效抓到現(xiàn)象，呈現(xiàn)問題，影響產(chǎn)品質(zhì)量；本實用新型在現(xiàn)有機臺腔體蓋子的基礎(chǔ)上新加裝檢測轉(zhuǎn)速的控制器，可以實時跟進。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，包括裝置主體，所述裝置主體的頂部設(shè)置有顯示屏，所述裝置主體的一側(cè)面設(shè)置有第一電線，所述第一電線的一端與第一接線端子相連接，所述裝置主體的另一側(cè)面設(shè)置有第二電線，所述第二電線的另一端與第二接線端子相連接，所述裝置主體的內(nèi)部設(shè)置有電路板，電路板包括第一接線端子，第二接線端子，顯示屏、芯片u2、穩(wěn)壓器u3，所述芯片u2的nrst引腳與電容c10串聯(lián)，電容c10的另一端接地，所述電容c10并聯(lián)連接有電阻r21，電阻r21的另一端設(shè)置有vcc電信號，所述芯片u2的oscin/pa1引腳和oscout/pa2引腳與第一接線端子相連接，所述芯片u2的vss引腳接地、并聯(lián)連接有電容c9、并聯(lián)連接有電容c11，電容c9的另一端與芯片u2的vcap引腳相連接，電容c11的另一端與芯片u2的vdd引腳相連接，所述芯片u2的pb5引腳與電阻r15串聯(lián)，電阻r15的另一端與顯示屏的5號引腳相連接，所述芯片u2的pb4引腳與電阻r13相連接，電阻r13的另一端與顯示屏的5號引腳相連接，所述芯片u2的pc4引腳與電阻r11相連接，電阻r11的另一端與顯示屏的3號引腳相連接，所述芯片u2的pc5引腳與電阻r10相連接，電阻r10的另一端與顯示屏的2號引腳相連接，所述芯片u2的pc6引腳與電阻r9相連接，電阻r9的另一端與顯示屏的1號引腳相連接，所述芯片u2的pd2引腳與電阻r7串聯(lián)，電阻r7并聯(lián)連接有二極管d4、并聯(lián)連接有二極管d3，二極管d4接地，二極管d3與vcc電壓相連接，電阻r7串聯(lián)連接有電阻r17，電阻r17與第二接線端子的5號引腳相連接，電阻r17并聯(lián)連接有電阻r16，電阻r16接地，所述芯片u2的引腳pd3與電阻r4相連接，電阻r4并聯(lián)連接有二極管d7，二極管d7接地，電阻r4的另一端與第二接線端子的1號引腳相連接，所述穩(wěn)壓器u3的gnd端接地，所述第二接線端子的1號引腳并聯(lián)連接有二極管d5，二極管d5的另一端與穩(wěn)壓器u3的vin端相連接，所述第二接線端子的2號引腳和3號引腳并聯(lián)連接后與電容c1串聯(lián)，電容c1的另一端與穩(wěn)壓器u3的vin端相連接，所述u3的vout端輸出vcc電壓，所述u3的vout端并聯(lián)連接有電容c6和電容c2，電容c6和電容c2的另一端接地。

4、優(yōu)選的，所述顯示屏的11號引腳串聯(lián)連接有電阻r14，所述顯示屏的10號引腳串聯(lián)連接有電阻r12，所述顯示屏的7號引腳串聯(lián)連接有電阻r8。

5、優(yōu)選的，所述第二接線端子的4號引腳串聯(lián)連接有電阻r18。

6、優(yōu)選的，所述顯示屏的12號引腳與芯片u2的pc7引腳相連，所述顯示屏的9號引腳與芯片u2的pa3引腳相連，所述顯示屏的8號引腳與芯片u2的pd6引腳相連，所述顯示屏的6號引腳與芯片u2的pc3引腳相連，電阻r8的另一端與芯片u2的pd4引腳相連，電阻r12的另一端與芯片u2的pd5引腳相連，電阻r14的另一端與芯片u2的pd1引腳相連。

7、優(yōu)選的，所述電阻r18的另一端與芯片u2的pc7引腳相連。

8、優(yōu)選的，所述穩(wěn)壓器u3的vout端與芯片u2的vdd引腳相連。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

10、本實用新型的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，是安裝在機臺腔體蓋子馬達上偵測馬達轉(zhuǎn)速的一種裝置；原理是通過加裝轉(zhuǎn)速檢測控制器，實現(xiàn)有效避免馬達損壞，導(dǎo)致腔體蓋子里面磁鐵轉(zhuǎn)速不對影響產(chǎn)品質(zhì)量，偵測不到實時轉(zhuǎn)速的一種高精度裝置，本實用新型具有輕便、耐磨性好、耐高溫、防腐蝕好；且適用于所有半導(dǎo)體機臺腔體蓋子磁鐵轉(zhuǎn)速的高精度偵測裝置。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，包括裝置主體（1），其特征在于：所述裝置主體（1）的頂部設(shè)置有顯示屏（4），所述裝置主體（1）的一側(cè)面設(shè)置有第一電線（2），所述第一電線（2）的一端與第一接線端子（3）相連接，所述裝置主體（1）的另一側(cè)面設(shè)置有第二電線（5），所述第二電線（5）的另一端與第二接線端子（6）相連接，所述裝置主體（1）的內(nèi)部設(shè)置有電路板，電路板包括第一接線端子（3），第二接線端子（6），顯示屏（4）、芯片u2、穩(wěn)壓器u3，所述芯片u2的nrst引腳與電容c10串聯(lián)，電容c10的另一端接地，所述電容c10并聯(lián)連接有電阻r21，電阻r21的另一端設(shè)置有vcc電信號，所述芯片u2的oscin/pa1引腳和oscout/pa2引腳與第一接線端子（3）相連接，所述芯片u2的vss引腳接地、并聯(lián)連接有電容c9、并聯(lián)連接有電容c11，電容c9的另一端與芯片u2的vcap引腳相連接，電容c11的另一端與芯片u2的vdd引腳相連接，所述芯片u2的pb5引腳與電阻r15串聯(lián)，電阻r15的另一端與顯示屏（4）的5號引腳相連接，所述芯片u2的pb4引腳與電阻r13相連接，電阻r13的另一端與顯示屏（4）的5號引腳相連接，所述芯片u2的pc4引腳與電阻r11相連接，電阻r11的另一端與顯示屏（4）的3號引腳相連接，所述芯片u2的pc5引腳與電阻r10相連接，電阻r10的另一端與顯示屏（4）的2號引腳相連接，所述芯片u2的pc6引腳與電阻r9相連接，電阻r9的另一端與顯示屏（4）的1號引腳相連接，所述芯片u2的pd2引腳與電阻r7串聯(lián)，電阻r7并聯(lián)連接有二極管d4、并聯(lián)連接有二極管d3，二極管d4接地，二極管d3與vcc電壓相連接，電阻r7串聯(lián)連接有電阻r17，電阻r17與第二接線端子（6）的5號引腳相連接，電阻r17并聯(lián)連接有電阻r16，電阻r16接地，所述芯片u2的引腳pd3與電阻r4相連接，電阻r4并聯(lián)連接有二極管d7，二極管d7接地，電阻r4的另一端與第二接線端子（6）的1號引腳相連接，所述穩(wěn)壓器u3的gnd端接地，所述第二接線端子（6）的1號引腳并聯(lián)連接有二極管d5，二極管d5的另一端與穩(wěn)壓器u3的vin端相連接，所述第二接線端子（6）的2號引腳和3號引腳并聯(lián)連接后與電容c1串聯(lián)，電容c1的另一端與穩(wěn)壓器u3的vin端相連接，所述u3的vout端輸出vcc電壓，所述u3的vout端并聯(lián)連接有電容c6和電容c2，電容c6和電容c2的另一端接地。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，其特征在于：所述顯示屏（4）的11號引腳串聯(lián)連接有電阻r14，所述顯示屏（4）的10號引腳串聯(lián)連接有電阻r12，所述顯示屏（4）的7號引腳串聯(lián)連接有電阻r8。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，其特征在于：所述第二接線端子（6）的4號引腳串聯(lián)連接有電阻r18。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，其特征在于：所述顯示屏（4）的12號引腳與芯片u2的pc7引腳相連，所述顯示屏（4）的9號引腳與芯片u2的pa3引腳相連，所述顯示屏（4）的8號引腳與芯片u2的pd6引腳相連，所述顯示屏（4）的6號引腳與芯片u2的pc3引腳相連，電阻r8的另一端與芯片u2的pd4引腳相連，電阻r12的另一端與芯片u2的pd5引腳相連，電阻r14的另一端與芯片u2的pd1引腳相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，其特征在于：所述電阻r18的另一端與芯片u2的pc7引腳相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，其特征在于：所述穩(wěn)壓器u3的vout端與芯片u2的vdd引腳相連。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，包括裝置主體，裝置主體的頂部設(shè)置有顯示屏，裝置主體的一側(cè)面設(shè)置有第一電線，第一電線的一端與第一接線端子相連接，裝置主體的另一側(cè)面設(shè)置有第二電線，第二電線的另一端與第二接線端子相連接，裝置主體的內(nèi)部設(shè)置有電路板；本技術(shù)的一種用于半導(dǎo)體機臺腔體內(nèi)偵測馬達轉(zhuǎn)速的高精度裝置，是安裝在機臺腔體蓋子馬達上偵測馬達轉(zhuǎn)速的一種裝置；加裝轉(zhuǎn)速檢測控制器，實現(xiàn)有效避免馬達損壞，導(dǎo)致腔體蓋子里面磁鐵轉(zhuǎn)速不對影響產(chǎn)品質(zhì)量，偵測不到實時轉(zhuǎn)速的一種高精度裝置，本技術(shù)具有輕便、耐磨性好、耐高溫、防腐蝕好；且適用于所有半導(dǎo)體機臺腔體蓋子磁鐵轉(zhuǎn)速的高精度偵測裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇雷,張萬軼,張林,張修勇
受保護的技術(shù)使用者：昆山義亨科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240119
技術(shù)公布日：2024/12/19