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      檢測裝置的制作方法

      文檔序號(hào):40274680發(fā)布日期:2024-12-11 13:09閱讀:13來源:國知局
      檢測裝置的制作方法

      本技術(shù)涉及檢測設(shè)備,具體涉及一種檢測裝置。


      背景技術(shù):

      1、相關(guān)技術(shù)中,在硅片輸送方向上沿豎直方向間隔設(shè)置光源、反射鏡和相機(jī)以對(duì)硅片在輸送方向上的前端面或后端面進(jìn)行檢測,在硅片由光源和反射鏡之間通過時(shí),光源的光線照射在前端面或后端面,然后反射至反射鏡,并再次被反射至相機(jī),從而判斷前端面或后端面是否具有崩邊缺陷。為了能夠在硅片輸送過程中完成對(duì)前端面和后端面的檢測,光源、反射鏡和相機(jī)沿輸送方向設(shè)置兩組,且兩組在豎直方向上對(duì)稱設(shè)置,換言之,其中一個(gè)相機(jī)在輸送線下方,另一個(gè)相機(jī)在輸送線上方,導(dǎo)致設(shè)備的結(jié)構(gòu)緊湊度較低,占用空間較大,特別是占用的高度空間較大。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、本實(shí)用新型旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此,本實(shí)用新型的實(shí)施例提出一種檢測裝置,該檢測裝置使檢測工位具有較小的占用空間,特別是高度空間占用較小,結(jié)構(gòu)緊湊度較高。

      2、本實(shí)用新型實(shí)施例的檢測裝置包括:

      3、安裝架;

      4、第一光源,所述第一光源設(shè)在所述安裝架上,用于向待測物發(fā)射光線,所述第一光源為至少兩個(gè),其中兩個(gè)所述第一光源沿豎直方向設(shè)置并相對(duì)靠近的傾斜排布;

      5、反射鏡,所述反射鏡設(shè)在所述安裝架上,所述反射鏡與所述第一光源一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,并與對(duì)應(yīng)的所述第一光源沿豎直方向間隔設(shè)置,以形成用于待測物通過的通道,所述反射鏡用于將所述待測物反射的光線二次反射至圖像生成裝置,且與兩個(gè)所述第一光源一一對(duì)應(yīng)的兩個(gè)所述反射鏡將光線二次反射至所述安裝架的同一側(cè)。

      6、本實(shí)用新型實(shí)施例的檢測裝置在安裝架上設(shè)有一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的至少兩個(gè)第一光源的和反射鏡,以對(duì)硅片的前端面和后端面進(jìn)行崩邊和/或臟污檢測,由于其中兩個(gè)第一光源沿豎直方向設(shè)置并相對(duì)靠近的傾斜排布,因此兩個(gè)第一光源的光線由待測物反射至對(duì)應(yīng)的反射鏡后,被對(duì)應(yīng)的反射鏡二次反射至安裝架的同一側(cè),使利用對(duì)應(yīng)的二次反射的光線生成圖像的圖像生成裝置能夠設(shè)在安裝架的同一側(cè),使檢測工位具有較小的占用空間,特別是高度空間占用較小,結(jié)構(gòu)緊湊度較高。

      7、在一些實(shí)施例中,所述通道用于所述待測物沿第一方向通過,兩個(gè)所述第一光源沿所述第一方向間隔排布,且所述第一光源沿第二方向延伸一段距離,與兩個(gè)所述第一光源一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩個(gè)所述反射鏡沿所述第一方向間隔排布,且所述反射鏡沿第二方向延伸一段距離,所述第二方向正交于所述第一方向,且所述第二方向和所述第一方向均正交于豎直方向。

      8、在一些實(shí)施例中,所述第一光源和所述反射鏡可分別相對(duì)于所述安裝架繞所述第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

      9、在一些實(shí)施例中,所述檢測裝置還包括第二光源,所述第二光源設(shè)在所述安裝架上,用于向待測物發(fā)射光線,所述反射鏡在所述反射鏡的延伸方向的至少一端設(shè)有所述第二光源,且所述第二光源與對(duì)應(yīng)的所述反射鏡沿豎直方向間隔設(shè)置。

      10、在一些實(shí)施例中,所述安裝架包括遮光組件,所述遮光組件形成遮光空間,所述第一光源、所述反射鏡和所述第二光源的至少部分均位于所述遮光空間內(nèi),所述遮光組件設(shè)有光線通孔,所述光線通孔用于所述反射鏡二次反射的光線通過。

      11、在一些實(shí)施例中,所述遮光組件包括:

      12、第一遮光板,所述第一遮光板豎直設(shè)置,在第一方向間隔排布的兩個(gè)所述第一遮光板之間設(shè)有所述第一光源、所述反射鏡和所述第二光源的至少部分;

      13、第二遮光板,所述第二遮光板豎直設(shè)置,并連接在兩個(gè)所述第一遮光板之間,在第二方向間隔排布的兩個(gè)所述第二遮光板之間設(shè)有所述第一光源、所述反射鏡和所述第二光源的至少部分,所述第二方向正交于所述第一方向,且所述第二方向和所述第一方向均正交于豎直方向;

      14、第三遮光板,所述第三遮光板水平設(shè)在所述第一遮光板和第二遮光板上,并位于所述第一光源、所述反射鏡和所述第二光源的至少部分的上方,所述第三遮光板設(shè)有所述光線通孔。

      15、在一些實(shí)施例中,所述光線通孔與所述反射鏡一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述光線通孔為沿所述第二方向延伸的條形,至少兩個(gè)所述光線通孔沿所述第一方向間隔排布。

      16、在一些實(shí)施例中,所述安裝架還包括轉(zhuǎn)接架,所述第二遮光板設(shè)有所述轉(zhuǎn)接架和光源孔,所述轉(zhuǎn)接架設(shè)在所述第二遮光板遠(yuǎn)離另一所述第二遮光板的一端,所述光源孔沿所述第二方向貫穿所述第二遮光板,所述第二光源設(shè)在對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)接架上,并經(jīng)所述光源孔伸入所述遮光空間內(nèi)。

      17、在一些實(shí)施例中,所述安裝架還夾持件,所述夾持件設(shè)在所述轉(zhuǎn)接架上,以夾設(shè)所述第二光源。

      18、在一些實(shí)施例中,所述檢測裝置還包括圖像生成裝置,所述圖像生成裝置與所述反射鏡沿豎直方向間隔設(shè)置,且所述圖像生成裝置與所述反射鏡一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,以用于獲取對(duì)應(yīng)的所述反射鏡二次反射的光線并生成圖像。



      技術(shù)特征:

      1.一種檢測裝置,其特征在于,包括:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于,所述通道用于所述待測物沿第一方向通過,兩個(gè)所述第一光源(2)沿所述第一方向間隔排布,且所述第一光源(2)沿第二方向延伸一段距離,與兩個(gè)所述第一光源(2)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩個(gè)所述反射鏡(3)沿所述第一方向間隔排布,且所述反射鏡(3)沿第二方向延伸一段距離,所述第二方向正交于所述第一方向,且所述第二方向和所述第一方向均正交于豎直方向。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置,其特征在于,所述第一光源(2)和所述反射鏡(3)可分別相對(duì)于所述安裝架(1)繞所述第二方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的檢測裝置,其特征在于,還包括第二光源(4),所述第二光源(4)設(shè)在所述安裝架(1)上,用于向待測物發(fā)射光線,所述反射鏡(3)在所述反射鏡(3)的延伸方向的至少一端設(shè)有所述第二光源(4),且所述第二光源(4)與對(duì)應(yīng)的所述反射鏡(3)沿豎直方向間隔設(shè)置。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測裝置,其特征在于,所述安裝架(1)包括遮光組件(11),所述遮光組件(11)形成遮光空間,所述第一光源(2)、所述反射鏡(3)和所述第二光源(4)的至少部分均位于所述遮光空間內(nèi),所述遮光組件(11)設(shè)有光線通孔(111),所述光線通孔(111)用于所述反射鏡(3)二次反射的光線通過。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置,其特征在于,所述遮光組件(11)包括:

      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置,其特征在于,所述光線通孔(111)與所述反射鏡(3)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述光線通孔(111)為沿所述第二方向延伸的條形,至少兩個(gè)所述光線通孔(111)沿所述第一方向間隔排布。

      8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測裝置,其特征在于,所述安裝架(1)還包括轉(zhuǎn)接架(12),所述第二遮光板(113)設(shè)有所述轉(zhuǎn)接架(12)和光源孔(115),所述轉(zhuǎn)接架(12)設(shè)在所述第二遮光板(113)遠(yuǎn)離另一所述第二遮光板(113)的一端,所述光源孔(115)沿所述第二方向貫穿所述第二遮光板(113),所述第二光源(4)設(shè)在對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)接架(12)上,并經(jīng)所述光源孔(115)伸入所述遮光空間內(nèi)。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測裝置,其特征在于,所述安裝架(1)還夾持件(13),所述夾持件(13)設(shè)在所述轉(zhuǎn)接架(12)上,以夾設(shè)所述第二光源(4)。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置,其特征在于,還包括圖像生成裝置(5),所述圖像生成裝置(5)與所述反射鏡(3)沿豎直方向間隔設(shè)置,且所述圖像生成裝置(5)與所述反射鏡(3)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,以用于獲取對(duì)應(yīng)的所述反射鏡(3)二次反射的光線并生成圖像。


      技術(shù)總結(jié)
      本技術(shù)提供一種檢測裝置。所述檢測裝置包括安裝架、第一光源和反射鏡,至少兩個(gè)第一光源設(shè)在安裝架上,用于向待測物發(fā)射光線,其中兩個(gè)第一光源沿豎直方向設(shè)置并相對(duì)靠近的傾斜排布,反射鏡設(shè)在安裝架上,并與第一光源一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,且與對(duì)應(yīng)的第一光源沿豎直方向間隔設(shè)置,以形成用于待測物通過的通道,反射鏡用于將待測物反射的光線二次反射至圖像生成裝置,且兩個(gè)反射鏡將光線二次反射至安裝架的同一側(cè)。本技術(shù)的檢測裝置能夠?qū)杵那岸嗣婧秃蠖嗣孢M(jìn)行崩邊和/或臟污檢測,并使利用對(duì)應(yīng)的二次反射的光線生成圖像的圖像生成裝置能夠設(shè)在安裝架的同一側(cè),使檢測工位具有較小的占用空間,特別是高度空間占用較小,結(jié)構(gòu)緊湊度較高。

      技術(shù)研發(fā)人員:朱亮,謝龍輝,吳霏霏,張夫明,王俊,黃張楠,胥宗朋,李貞周
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:20240130
      技術(shù)公布日:2024/12/10
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