本技術(shù)與半導(dǎo)體制程有關(guān)，特別是指一種用于感測(cè)光阻劑中是否存在氣泡的氣泡傳感器。

背景技術(shù)：

1、氣泡傳感器(air?bubbledetector)，一般用于醫(yī)療，用來(lái)偵測(cè)輸液管路中是否存在氣泡?，F(xiàn)有的氣泡傳感器具有一外殼，在外殼的頂側(cè)面具有一凹槽，而在凹槽的兩側(cè)壁上分別設(shè)有一超音波發(fā)射器與一超音波接收器。欲偵測(cè)的管路放置于該凹槽中，由該超音波發(fā)射器發(fā)射超音波，超音波在通過(guò)該管路后由該超音波接收器所接收。該超音波接收器接收到訊號(hào)后傳給一電腦，借以判斷該管路中是否具有氣泡。

2、在半導(dǎo)體的制程中，會(huì)將光阻劑(photoresistor)涂布于一銅箔基板上，通過(guò)黃光(photolithography)與蝕刻(etching)等制程，在該銅箔基板上形成特定的電路布局(conductor?pattern)。在涂布光阻劑的制程中，同樣需要先偵測(cè)光阻劑中是否存在氣泡。要知半導(dǎo)體制程所需要的精確度非常高，傳統(tǒng)的利用超音波偵測(cè)氣泡的氣泡傳感器已不敷半導(dǎo)體制程的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的主要實(shí)用新型目的在于提供一種氣泡傳感器，其可提供高精確度的氣泡偵測(cè)效果。

2、為達(dá)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型揭示一種氣泡傳感器，包含有：一殼體，具有一第一側(cè)面與一第二側(cè)面；該殼體更具有一通道，該通道的二端分別具有一第一開口與一第二開口并位于該第一側(cè)面與該第二側(cè)面；以及一光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組，設(shè)于該殼體中，并連通于該通道。

3、借此，該通道可供一管路通過(guò)，該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組可偵測(cè)位于該通道內(nèi)的管路的光學(xué)訊號(hào)，據(jù)以判斷該管路內(nèi)的液體是否具有氣泡。

4、在一實(shí)施例中，該殼體具有一主殼件與一固定件；該通道與該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組均設(shè)于該主殼件；該固定件以可沿接近該主殼件與遠(yuǎn)離該主殼件的方向移動(dòng)的方式連接于該主殼件；該固定件具有一抵止件，當(dāng)該固定件朝接近該主殼件移動(dòng)，該抵止件會(huì)伸入該第一開口并壓抵該管路。

5、在一實(shí)施例中，該固定件更具有另一抵止件，當(dāng)該固定件朝接近該主殼件移動(dòng)會(huì)伸入該第二開口并壓抵該管路。

6、在一實(shí)施例中，該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組具有一第一基板，其上設(shè)置有一光學(xué)感測(cè)器；該第一基板設(shè)置于該殼體內(nèi)，使該光學(xué)感測(cè)器偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

7、在一實(shí)施例中，該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組具有一第一基板，其上設(shè)置有二光學(xué)感測(cè)器，且該二光學(xué)感測(cè)器沿該通道的軸向方向相距一預(yù)定距離；該第一基板設(shè)置于該殼體內(nèi)，使該二光學(xué)感測(cè)器偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

8、在一實(shí)施例中，該第一基板具有一穿孔，該二光學(xué)感測(cè)器分別位于該穿孔的二側(cè)；該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組更具有一電荷耦合元件，其鏡頭透過(guò)該第一基板的穿孔來(lái)偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

9、在一實(shí)施例中，該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組具有一電荷耦合元件，設(shè)置于該殼體中，用以偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

10、本實(shí)用新型的有益效果：其可提供高精確度的氣泡偵測(cè)效果。

技術(shù)特征：

1.一種氣泡傳感器，其特征在于：包含有：

2.如權(quán)利要求1所述的氣泡傳感器，其特征在于：該殼體具有一主殼件與一固定件；該通道與該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組均設(shè)于該主殼件；該固定件以可沿接近該主殼件與遠(yuǎn)離該主殼件的方向移動(dòng)的方式連接于該主殼件；該固定件具有一抵止件，當(dāng)該固定件朝接近該主殼件移動(dòng)，該抵止件會(huì)伸入該第一開口并壓抵該管路。

3.如權(quán)利要求2所述的氣泡傳感器，其特征在于：該固定件更具有另一抵止件，當(dāng)該固定件朝接近該主殼件移動(dòng)會(huì)伸入該第二開口并壓抵該管路。

4.如權(quán)利要求1所述的氣泡傳感器，其特征在于：該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組具有一第一基板，其上設(shè)置有一光學(xué)感測(cè)器；該第一基板設(shè)置于該殼體內(nèi)，使該光學(xué)感測(cè)器偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

5.如權(quán)利要求4所述的氣泡傳感器，其特征在于：該光學(xué)感測(cè)器具有三個(gè)晶片，其中二晶片呈橫向并排，而另一晶片則位于縱向的中央。

6.如權(quán)利要求1所述的氣泡傳感器，其特征在于：該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組具有一第一基板，其上設(shè)置有二光學(xué)感測(cè)器，且該二光學(xué)感測(cè)器沿該通道的軸向方向相距一預(yù)定距離；該第一基板設(shè)置于該殼體內(nèi)，使該二光學(xué)感測(cè)器偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

7.如權(quán)利要求6所述的氣泡傳感器，其特征在于：該第一基板具有一穿孔，該二光學(xué)感測(cè)器分別位于該穿孔的二側(cè)；該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組更具有一電荷耦合元件，其鏡頭透過(guò)該第一基板的穿孔來(lái)偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

8.如權(quán)利要求1所述的氣泡傳感器，其特征在于：該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組具有一電荷耦合元件，設(shè)置于該殼體中，用以偵測(cè)該通道內(nèi)的該管路的光學(xué)訊號(hào)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)關(guān)于一種氣泡傳感器，包含有：一殼體，具有一第一側(cè)面與一第二側(cè)面；該殼體更具有一通道，該通道的二端分別具有一第一開口與一第二開口并位于該第一側(cè)面與該第二側(cè)面；以及一光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組，設(shè)于該殼體中，并連通于該通道。借此，該通道可供一管路通過(guò)，該光學(xué)訊號(hào)偵測(cè)模組可偵測(cè)位于該通道內(nèi)的管路的光學(xué)訊號(hào)，據(jù)以判斷該管路內(nèi)的液體是否具有氣泡。

技術(shù)研發(fā)人員：詹聰沛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：創(chuàng)界科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240131
技術(shù)公布日：2024/12/23