本技術(shù)涉及防滑出結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。

2、但是現(xiàn)有設(shè)備中，在對晶盤進(jìn)行檢測時(shí)，需要人工依次取放對晶盤進(jìn)行固定檢測，檢測種類較為單一，無法根據(jù)不同大小的晶盤進(jìn)行檢測，為此提出一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括操作臺，所述操作臺上表面固定設(shè)有立柱，所述立柱上表面固定設(shè)有橫柱，所述橫柱底部固定設(shè)有氣缸，所述氣缸的活塞端固定設(shè)有晶圓測試探針，所述操作臺上表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽，所述轉(zhuǎn)動槽上表面開設(shè)有出料孔，所述操作臺上設(shè)有輸送結(jié)構(gòu)，所述操作臺上表面固定設(shè)有l(wèi)型固定柱，所述l型固定柱一側(cè)開設(shè)有內(nèi)套孔，所述l型固定柱上設(shè)有固定結(jié)構(gòu)，所述操作臺上表面活動設(shè)有儲料筒，所述儲料筒一側(cè)固定設(shè)有連接柱，所述連接柱滑動連接在內(nèi)套孔內(nèi)，所述連接柱上表面開設(shè)有固定孔。

3、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

4、所述輸送結(jié)構(gòu)包括固定連接在操作臺底部的伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出軸固定設(shè)有轉(zhuǎn)動盤，所述轉(zhuǎn)動盤轉(zhuǎn)動連接在轉(zhuǎn)動槽內(nèi)，所述儲料筒的下表面與轉(zhuǎn)動盤上表面相貼合，所述轉(zhuǎn)動盤上表面開設(shè)有三個放置槽，每個所述放置槽內(nèi)均活動連接有限位環(huán)，每個所述限位環(huán)一側(cè)均開設(shè)有螺紋孔。

5、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

6、所述轉(zhuǎn)動盤側(cè)面上開設(shè)有三個孔洞，每個所述孔洞內(nèi)均活動設(shè)有沉頭螺栓，每個所述沉頭螺栓螺紋連接在對應(yīng)的螺紋孔內(nèi)。

7、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

8、所述固定結(jié)構(gòu)包括固定連接在l型固定柱上表面的固定框，所述固定框上表面滑動連接有滑動桿，所述滑動桿的底部固定設(shè)有銷柱，所述銷柱貫穿l型固定柱上表面并滑動連接，所述銷柱與固定孔相適配。

9、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

10、所述滑動桿上活動設(shè)有彈簧，所述彈簧的一端與銷柱一側(cè)固定連接，另一端與固定框內(nèi)部一側(cè)固定連接。

11、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

12、所述操作臺底部固定設(shè)有出料板，所述出料板位于出料孔下方。

13、本實(shí)用新型具有如下有益效果：

14、1、與現(xiàn)有技術(shù)相比，該用于行李架表面的拋光裝置，通過設(shè)置伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)動盤、限位環(huán)和沉頭螺栓等，伺服電機(jī)帶動轉(zhuǎn)動盤轉(zhuǎn)動，使轉(zhuǎn)動盤一側(cè)的沉頭螺栓露出，取出沉頭螺栓，然后根據(jù)晶盤的大小更換限位環(huán)，把晶盤疊落放入儲料筒內(nèi)，最底下的晶盤落在限位環(huán)內(nèi)，然后伺服電機(jī)帶動轉(zhuǎn)動盤轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動盤帶動限位環(huán)轉(zhuǎn)動，限位環(huán)帶動內(nèi)部的晶盤轉(zhuǎn)動到晶圓測試探針底部，然后氣缸帶動晶圓測試探針對晶盤進(jìn)行檢測。

15、2、與現(xiàn)有技術(shù)相比，該用于行李架表面的拋光裝置，通過設(shè)置儲料筒、固定框、滑動桿、銷柱和彈簧等，拉動滑動桿，滑動桿帶動銷柱向上移動，使銷柱脫離l型固定柱，然后再次根據(jù)晶盤的大小更換對應(yīng)的儲料筒。

技術(shù)特征：

1.一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括操作臺(1)，其特征在于：所述操作臺(1)上表面固定設(shè)有立柱(2)，所述立柱(2)上表面固定設(shè)有橫柱(3)，所述橫柱(3)底部固定設(shè)有氣缸(9)，所述氣缸(9)的活塞端固定設(shè)有晶圓測試探針(10)，所述操作臺(1)上表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽(12)，所述轉(zhuǎn)動槽(12)上表面開設(shè)有出料孔(11)，所述操作臺(1)上設(shè)有輸送結(jié)構(gòu)(4)，所述操作臺(1)上表面固定設(shè)有l(wèi)型固定柱(5)，所述l型固定柱(5)一側(cè)開設(shè)有內(nèi)套孔，所述l型固定柱(5)上設(shè)有固定結(jié)構(gòu)(7)，所述操作臺(1)上表面活動設(shè)有儲料筒(6)，所述儲料筒(6)一側(cè)固定設(shè)有連接柱，所述連接柱滑動連接在內(nèi)套孔內(nèi)，所述連接柱上表面開設(shè)有固定孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述輸送結(jié)構(gòu)(4)包括固定連接在操作臺(1)底部的伺服電機(jī)(401)，所述伺服電機(jī)(401)的輸出軸固定設(shè)有轉(zhuǎn)動盤(402)，所述轉(zhuǎn)動盤(402)轉(zhuǎn)動連接在轉(zhuǎn)動槽(12)內(nèi)，所述儲料筒(6)的下表面與轉(zhuǎn)動盤(402)上表面相貼合，所述轉(zhuǎn)動盤(402)上表面開設(shè)有三個放置槽，每個所述放置槽內(nèi)均活動連接有限位環(huán)(403)，每個所述限位環(huán)(403)一側(cè)均開設(shè)有螺紋孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動盤(402)側(cè)面上開設(shè)有三個孔洞，每個所述孔洞內(nèi)均活動設(shè)有沉頭螺栓(404)，每個所述沉頭螺栓(404)螺紋連接在對應(yīng)的螺紋孔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述固定結(jié)構(gòu)(7)包括固定連接在l型固定柱(5)上表面的固定框(701)，所述固定框(701)上表面滑動連接有滑動桿(702)，所述滑動桿(702)的底部固定設(shè)有銷柱(703)，所述銷柱(703)貫穿l型固定柱(5)上表面并滑動連接，所述銷柱(703)與固定孔相適配。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述滑動桿(702)上活動設(shè)有彈簧(704)，所述彈簧(704)的一端與銷柱(703)一側(cè)固定連接，另一端與固定框(701)內(nèi)部一側(cè)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述操作臺(1)底部固定設(shè)有出料板(8)，所述出料板(8)位于出料孔(11)下方。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于防滑出結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于探針臺的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括操作臺，所述操作臺上表面固定設(shè)有立柱，所述立柱上表面固定設(shè)有橫柱，所述橫柱底部固定設(shè)有氣缸，所述氣缸的活塞端固定設(shè)有晶圓測試探針，所述操作臺上表面開設(shè)有轉(zhuǎn)動槽，本技術(shù)通過設(shè)置伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)動盤、限位環(huán)和沉頭螺栓等，伺服電機(jī)帶動轉(zhuǎn)動盤轉(zhuǎn)動，使轉(zhuǎn)動盤一側(cè)的沉頭螺栓露出，取出沉頭螺栓，然后根據(jù)晶盤的大小更換限位環(huán)，把晶盤疊落放入儲料筒內(nèi)，最底下的晶盤落在限位環(huán)內(nèi)，然后伺服電機(jī)帶動轉(zhuǎn)動盤轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動盤帶動限位環(huán)轉(zhuǎn)動，限位環(huán)帶動內(nèi)部的晶盤轉(zhuǎn)動到晶圓測試探針底部，然后氣缸帶動晶圓測試探針對晶盤進(jìn)行檢測。

技術(shù)研發(fā)人員：顏烈剛,管范洲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：道格特半導(dǎo)體科技（江蘇）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240328
技術(shù)公布日：2024/12/19