本技術(shù)涉及微觀裂紋檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種微觀裂紋檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

1、芯片就是半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱。是集成電路的載體，由晶圓分割而成。芯片是一塊很小的硅，內(nèi)含集成電路，它是電腦或者其他電子設(shè)備的一部分。芯片在生產(chǎn)完成后，為了防止裂紋對(duì)芯片的整體質(zhì)量造成影響，需要對(duì)芯片進(jìn)行微觀裂紋檢測(cè)。

2、現(xiàn)有的微觀裂紋檢測(cè)裝置在使用時(shí)，利用掃描儀來對(duì)芯片表面進(jìn)行微觀裂紋檢測(cè)，這樣雖然達(dá)到了檢測(cè)的目的，但是使用后的掃描儀裸露在外，容易被外界物品給損壞，從而影響掃描儀的使用壽命，因此需要設(shè)計(jì)一種微觀裂紋檢測(cè)裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，包括放置板，所述放置板上端設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)、防護(hù)機(jī)構(gòu)和掃描儀，所述放置板通過升降機(jī)構(gòu)與掃描儀連接；所述升降機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)置有傳動(dòng)組件，所述升降機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)組件給防護(hù)機(jī)構(gòu)提供動(dòng)力。

3、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

4、所述升降機(jī)構(gòu)包括支撐柱、電機(jī)、絲桿和懸臂，所述放置板上端固定連接有支撐柱，所述支撐柱內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絲桿，所述絲桿圓周面螺紋連接有懸臂，所述懸臂內(nèi)部插接有掃描儀；所述支撐柱上端固定連接有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端與絲桿固定連接。

5、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

6、所述支撐柱前端面開設(shè)有滑槽，所述滑槽與懸臂之間滑動(dòng)連接。

7、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

8、所述懸臂前端內(nèi)部螺紋連接有鎖緊螺釘，所述鎖緊螺釘靠近掃描儀的一端與掃描儀貼合。

9、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

10、所述傳動(dòng)組件包括第一連接塊、傳動(dòng)桿和第二連接塊，所述懸臂兩側(cè)均固定連接有第二連接塊，所述第二連接塊內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)桿，所述傳動(dòng)桿遠(yuǎn)離第二連接塊的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一連接塊。

11、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

12、所述防護(hù)機(jī)構(gòu)包括支撐板、導(dǎo)向桿、移動(dòng)板、連接桿和防護(hù)罩，所述放置板上端固定連接有支撐板，所述支撐板設(shè)置有四個(gè)，相鄰兩所述支撐板之間固定連接有導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿圓周面滑動(dòng)連接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板側(cè)端固定連接有連接桿，所述連接桿上端與第一連接塊固定連接，所述連接桿遠(yuǎn)離移動(dòng)板的一端固定連接有防護(hù)罩，所述掃描儀位于防護(hù)罩內(nèi)部。

13、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

14、所述導(dǎo)向桿圓周面設(shè)置有彈簧，所述彈簧一端與移動(dòng)板固定連接，所述彈簧另一端與支撐板固定連接。

15、本實(shí)用新型具有如下有益效果：

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，該一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，通過設(shè)置升降機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)組件和防護(hù)機(jī)構(gòu)，在進(jìn)行微觀裂紋檢測(cè)時(shí)，利用升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)掃描儀向下移動(dòng)，使得掃描儀的掃描端更接近芯片，從而便于掃描儀更清楚的拍攝芯片，有利于提高微觀裂紋檢測(cè)的精準(zhǔn)度；同時(shí)升降機(jī)構(gòu)在下降工作時(shí)，在傳動(dòng)組件的配合下也帶動(dòng)防護(hù)機(jī)構(gòu)的防護(hù)罩遠(yuǎn)離掃描儀，從而方便掃描儀進(jìn)行掃描工作；在掃描儀不工作時(shí)，升降機(jī)構(gòu)進(jìn)行上升工作，就可以帶動(dòng)掃描儀上移，同時(shí)再在傳動(dòng)組件的配合下也帶動(dòng)防護(hù)機(jī)構(gòu)的防護(hù)罩向掃描儀移動(dòng)，在兩防護(hù)罩合并時(shí)，這時(shí)掃描儀正好位于防護(hù)罩內(nèi)部，然后在防護(hù)罩的作用下就可以對(duì)掃描儀進(jìn)行保護(hù)，從而提高了掃描儀的使用壽命，同時(shí)防護(hù)罩的合并，也有效的防止灰塵落在掃描儀的掃描端，這樣就可以提高掃描儀拍攝的清晰度。

技術(shù)特征：

1.一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，包括放置板(1)，其特征在于：所述放置板(1)上端設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)(2)、防護(hù)機(jī)構(gòu)(5)和掃描儀(3)，所述放置板(1)通過升降機(jī)構(gòu)(2)與掃描儀(3)連接；所述升降機(jī)構(gòu)(2)兩側(cè)設(shè)置有傳動(dòng)組件(4)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)通過傳動(dòng)組件(4)給防護(hù)機(jī)構(gòu)(5)提供動(dòng)力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于：所述升降機(jī)構(gòu)(2)包括支撐柱(201)、電機(jī)(202)、絲桿(203)和懸臂(204)，所述放置板(1)上端固定連接有支撐柱(201)，所述支撐柱(201)內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絲桿(203)，所述絲桿(203)圓周面螺紋連接有懸臂(204)，所述懸臂(204)內(nèi)部插接有掃描儀(3)；所述支撐柱(201)上端固定連接有電機(jī)(202)，所述電機(jī)(202)的輸出端與絲桿(203)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于：所述支撐柱(201)前端面開設(shè)有滑槽(7)，所述滑槽(7)與懸臂(204)之間滑動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于：所述懸臂(204)前端內(nèi)部螺紋連接有鎖緊螺釘(8)，所述鎖緊螺釘(8)靠近掃描儀(3)的一端與掃描儀(3)貼合。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)組件(4)包括第一連接塊(401)、傳動(dòng)桿(402)和第二連接塊(403)，所述懸臂(204)兩側(cè)均固定連接有第二連接塊(403)，所述第二連接塊(403)內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳動(dòng)桿(402)，所述傳動(dòng)桿(402)遠(yuǎn)離第二連接塊(403)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一連接塊(401)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于：所述防護(hù)機(jī)構(gòu)(5)包括支撐板(501)、導(dǎo)向桿(502)、移動(dòng)板(503)、連接桿(504)和防護(hù)罩(505)，所述放置板(1)上端固定連接有支撐板(501)，所述支撐板(501)設(shè)置有四個(gè)，相鄰兩所述支撐板(501)之間固定連接有導(dǎo)向桿(502)，所述導(dǎo)向桿(502)圓周面滑動(dòng)連接有移動(dòng)板(503)，所述移動(dòng)板(503)側(cè)端固定連接有連接桿(504)，所述連接桿(504)上端與第一連接塊(401)固定連接，所述連接桿(504)遠(yuǎn)離移動(dòng)板(503)的一端固定連接有防護(hù)罩(505)，所述掃描儀(3)位于防護(hù)罩(505)內(nèi)部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向桿(502)圓周面設(shè)置有彈簧(6)，所述彈簧(6)一端與移動(dòng)板(503)固定連接，所述彈簧(6)另一端與支撐板(501)固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種微觀裂紋檢測(cè)裝置，包括放置板，放置板上端設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)、防護(hù)機(jī)構(gòu)和掃描儀，放置板通過升降機(jī)構(gòu)與掃描儀連接；升降機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)置有傳動(dòng)組件，升降機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)組件給防護(hù)機(jī)構(gòu)提供動(dòng)力。本技術(shù)通過設(shè)置升降機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)組件和防護(hù)機(jī)構(gòu)，在掃描儀不工作時(shí)，升降機(jī)構(gòu)進(jìn)行上升工作，就可以帶動(dòng)掃描儀上移，同時(shí)再在傳動(dòng)組件的配合下也帶動(dòng)防護(hù)機(jī)構(gòu)的防護(hù)罩向掃描儀移動(dòng)，在兩防護(hù)罩合并時(shí)，這時(shí)掃描儀正好位于防護(hù)罩內(nèi)部，然后在防護(hù)罩的作用下就可以對(duì)掃描儀進(jìn)行保護(hù)，從而提高了掃描儀的使用壽命，同時(shí)防護(hù)罩的合并，也有效的防止灰塵落在掃描儀的掃描端，這樣就可以提高掃描儀拍攝的清晰度。

技術(shù)研發(fā)人員：董法武,彭西密
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東騰昕檢測(cè)技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240415
技術(shù)公布日：2024/12/26