專利名稱：激光精密測量物體直線度裝置及其測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明激光精密測量物體直線度裝置及其測量方法，屬于物理技術(shù)部測量測試儀器裝置及其測量技術(shù)的范疇。具體來講就是一種主要用來測量物體直線度尤其是大尺寸物體直線度的精密測量儀器裝置及其測量方法。
當(dāng)前國內(nèi)外測量物體直線度的儀器裝置和測量方法一般有準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、激光準(zhǔn)直儀、雙頻激光干涉儀和單頻激光干涉儀等，但都因精度不高，使用不便，耗費(fèi)時(shí)間，測量范圍有限和無法克服外界干擾影響，設(shè)備復(fù)雜、價(jià)格昂貴等缺陷不便推廣使用，尤其對于大尺寸物體直線度的高效率、高精度、自動化、高分辨測量一直難以實(shí)現(xiàn)。
據(jù)us-A-3891321，us-A-3756723，us-A-3738753，us-A-3738753，us-A-3790284和us-A-3726595報(bào)導(dǎo)的測量物體位移和直線度的儀器裝置其共同點(diǎn)是光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜，所用激光器昂貴，所測物體范圍有限，一般限制在3m范圍內(nèi)，而且精度不高，制造難度也大。如其中us-A-3738753報(bào)導(dǎo)的一種主要用來測量物體位移的裝置它由條紋很密的全息光柵和價(jià)格昂貴的He-Ne激光器及反射裝置使用非對稱反射鏡，調(diào)整使用不便，直接影響了測量裝置的推廣使用。
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有測量物體直線度的儀器裝置和測量方法中存在的缺陷，并且開創(chuàng)性地利用光柵衍射并經(jīng)反射后再次衍射的光學(xué)原理構(gòu)思，從而提供一種具有獨(dú)特測量系統(tǒng)、精度高、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、效率高、測量范圍大，尤其是能夠解決大尺寸物體直線度測量問題的一種高自動化、高分辨率的激光精密測量儀器裝置及其測量方法。
本發(fā)明激光精密測量物體直線度的裝置是一種以激光做光源，以光柵、晶體片及對稱的兩面反射鏡經(jīng)反射后再次衍射然后干涉的獨(dú)特測量系統(tǒng)構(gòu)成，并且應(yīng)用對稱衍射光束干涉及晶體偏振效應(yīng)給出以光柵常數(shù)為單位的測量數(shù)字通過電子儀器處理和顯示測量結(jié)果的精密測量裝置。本裝置由激光頭和光電檢測系統(tǒng)、平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)、光柵晶體片及其調(diào)節(jié)系統(tǒng)、電子數(shù)據(jù)處理和顯示系統(tǒng)、數(shù)字打印機(jī)五大部分組成，(如圖1所示)其中第一部分激光頭和光電檢測系統(tǒng)由He-Ne激光器(1)、倒置望遠(yuǎn)鏡(2)、分束器(3)、全反介質(zhì)膜(4)、干涉濾光片(5)、格蘭付科棱鏡(6)、光電池對(7)、前置放大器(8)(如圖9所示)組成，并放入一個(gè)箱子中，(如圖2所示)它們的中心線都在一個(gè)平面內(nèi)，離箱子底面的距離都相等，其中He-Ne激光器(1)輸出TEMoo模，功率在毫瓦數(shù)量級，光電池對(7)中的每一個(gè)硅光電池的受光面積設(shè)計(jì)為大于或等于1cm2，響應(yīng)時(shí)間為20微秒，兩只硅光電池性能參數(shù)一致，尤其是光電轉(zhuǎn)換效率相近，即配對使用，在前置放大器(8)電路板外加了一個(gè)防止干擾的金屬屏蔽罩;其第二部分平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)，主要由兩面完全對稱的反射鏡(16)和精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)組成(如圖3、4所示)兩個(gè)平面鏡在空間能高精度調(diào)節(jié)，每面鏡子有一副水平、一付垂直粗調(diào)和細(xì)調(diào)裝置，傾角調(diào)節(jié)分辨率為0.6，兩平面反射鏡(16)對稱置于一個(gè)箱子中;其第三部分光柵、晶體片及其精密微調(diào)系統(tǒng)，主要由光柵(18)、晶體片(19)及其安裝盒(如附圖6所示)和精密微調(diào)架(如附圖7所示)組成。其安裝盒(圖6)內(nèi)放置一塊衍射光柵和一塊石英晶體片，其精密微調(diào)架(圖7)為常平式結(jié)構(gòu);其第四部分電子數(shù)據(jù)處理和顯示系統(tǒng)，它由電子細(xì)分部分(9)、控制部分(10)、顯示部分(11)組成。其中電子細(xì)分部分(9)采用并聯(lián)電路移相橋整形電路，控制部分(10)包括可逆計(jì)數(shù)器(12)和方向判別器(13)，其顯示部分(11)由四位十進(jìn)制可逆計(jì)數(shù)器級聯(lián)而成。與七段譯碼器(14)之間增加有4D觸發(fā)器(15)其第五部分?jǐn)?shù)字打印機(jī)是一種集成化通用記錄儀器。
上述激光精密測量物體直線度裝置中第一部分的干涉濾光片(5)、格蘭-付科棱鏡(6)、光電池對(7)放入光電檢測盒中，其光電檢測盒結(jié)構(gòu)(如圖5所示)其棱鏡室(49)、棱鏡室前殼(48)、棱鏡室后殼(50)、調(diào)節(jié)圈(47)及鎖塊(36)等都是為固定和調(diào)節(jié)檢測盒中的光學(xué)元件而設(shè)置的。
上述激光精密測量物體直線度裝置的第二部分平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的形狀和質(zhì)量完全相同的兩面完全對稱的反射鏡(16)表面的平面度是直線度的實(shí)際量度基準(zhǔn)，兩反射鏡的軸線包含在兩反射面夾角的角二等分面內(nèi)與被測物體的軸線對準(zhǔn)，兩平面鏡的平面度可選取 (入)/20 平面度的平面鏡，兩平面鏡(16)放進(jìn)反射鏡匣(27)中，用鏡匣端蓋(28)蓋好，再放入反射鏡座(23)中，每面反射鏡的背后中心有起變換鏡匣空間方位支點(diǎn)作用的鋼球(29)，借助手輪(31)和微動套(39)可以進(jìn)行平面鏡空間位置的粗調(diào)和細(xì)調(diào)，彈簧(32)為調(diào)整平面鏡而設(shè)置裝在平面鏡背后，微動桿(30)上裝有手輪(31)，上面的手輪(31)可微調(diào)，下面的手輪(31)可粗調(diào)，微調(diào)部分使用專門設(shè)計(jì)的差動螺紋、傾角調(diào)節(jié)分辨率為0.6″。其調(diào)整機(jī)構(gòu)與平面鏡機(jī)構(gòu)通過連接板(37)連接，其調(diào)節(jié)座(38)、微動套(39)、差動螺套(40)、鎖緊套(34)、鎖緊蓋圈(35)、鎖緊塊(36)、螺釘套管(33)、螺母(24)、墊圈(25)、螺釘(26)都是為調(diào)整機(jī)構(gòu)與平面鏡機(jī)構(gòu)連接而設(shè)置的，(如圖3所示)其平面反射鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)的微動調(diào)節(jié)器采用了差動螺紋結(jié)構(gòu)，M差動(43)，一個(gè)是粗螺紋、一個(gè)是細(xì)螺紋，粗調(diào)桿為(42)，定位鍵為(44)，聯(lián)結(jié)軸為(45)，聯(lián)結(jié)套筒為(46)通過手輪(31)完成粗調(diào)和微調(diào)。
上述激光精密測量物體直線度裝置的第三部分精密調(diào)節(jié)架為常平式結(jié)構(gòu)就是架圈具有類似于星的特征、此種調(diào)節(jié)架在兩個(gè)互相垂直方向進(jìn)行角度精密調(diào)節(jié)，總傾斜度為12°傾角分辨率為7″，此調(diào)節(jié)架可用不銹鋼或鋁合金材料，星式常平架的主板(57)具有兩個(gè)通孔(如圖7所示)供容納兩個(gè)微動頭(58)，有一個(gè)大孔供容納常平架內(nèi)圈(59)和常平架外圈(60)，外圈(60)裝在主板(57)內(nèi)側(cè)的一個(gè)垂直軸上轉(zhuǎn)動，內(nèi)圈(59)裝在外圈(60)內(nèi)側(cè)的水平軸上轉(zhuǎn)動，兩個(gè)軸的交點(diǎn)精確地重合于反射鏡面的中心，晶體片(19)，光柵(18)等光學(xué)元件則以該點(diǎn)為中心轉(zhuǎn)動。
上述激光精密測量物體直線度裝置的第四部分中的電子細(xì)分部分(9)采用并聯(lián)電阻移相橋和整形電路，就是適當(dāng)選擇移相橋電阻參數(shù)，由SinWt，-CosWt，-SinWt，CosWt獲得滯后SinWt如下相位的信號9°，45°，81°，117°，153°，189°，225°，261°，297°，330°，移相電路產(chǎn)生的10路正弦波，先通過各自的觸發(fā)器變?yōu)?0路方波，然后再通過各自的單穩(wěn)電路變?yōu)?0路窄脈沖，相應(yīng)于10路正弦信號的移相，這些脈沖沿時(shí)間軸均勻排列，利用干涉條紋的相位細(xì)分技術(shù)，可把干涉條紋每變化一個(gè)級次，看做相位變化了360°，從一個(gè)干涉條紋變化中得到多個(gè)計(jì)數(shù)脈沖，其控制部分(10)中的可逆計(jì)數(shù)器(12)是累加遞減脈沖和攜帶正、負(fù)信息的計(jì)數(shù)器，其方向判別器(13)為十倍頻閉環(huán)自鎖式判別器。
上述激光精密測量物體直線度裝置的第五部分?jǐn)?shù)字打印機(jī)(22)可用小型數(shù)字打印機(jī)，它是一種集成化通用自動記錄儀器，它可將電子數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)送來的8421編碼的二進(jìn)制記錄信號以十進(jìn)制數(shù)字形式直接打印在普通白紙上。


圖1，是本發(fā)明激光精密測量物體直線度裝置及其測量示意圖，用虛線粗略地表示了本裝置的五大部分，概要地體現(xiàn)了本發(fā)明的主要構(gòu)思。
圖2是本發(fā)明激光精密測量物體直線度裝置的第一部分激光頭和光電檢測系統(tǒng)方框圖。
圖3是本發(fā)明激光精密測量物體直線度裝置的第二部分平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)示意圖。
圖4是本發(fā)明第二部分平面反射鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)的微動調(diào)節(jié)示意圖。
圖5是本發(fā)明第一部分激光頭和光電檢測系統(tǒng)中的光電檢測盒示意圖。
圖6是本發(fā)明第三部分光柵、晶體片及其安裝盒示意圖其中晶體盒左端蓋(51)，右端蓋(53)，調(diào)節(jié)螺釘(52)有三只、光柵座為(54)、晶體盒為(56)。
圖7是本發(fā)明第三部分光柵晶體片及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的精密調(diào)節(jié)架結(jié)構(gòu)示意圖。
圖8是本發(fā)明第三部分光柵晶體片及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的精密調(diào)節(jié)架微動頭結(jié)構(gòu)示意圖，固定板為(61)，微動筒體為(62)，微動套筒為(63)。
圖9是本發(fā)明第一部分中的前置放大器電路原理圖。
附圖標(biāo)號說明1、He-Ne激光器2、倒置望遠(yuǎn)鏡3、分束器4、全反介質(zhì)膜5、干涉濾光片6、格蘭付科棱鏡7、光電池對8、前置放大器9、電子細(xì)分部分10、控制部分11、計(jì)數(shù)顯示部分12、可逆計(jì)數(shù)器13、方向判別器14、七段譯碼器15、4D觸發(fā)器16、平面反射鏡17、數(shù)據(jù)處理及顯示單元18、光柵19、晶體片20、拖板21、被測導(dǎo)軌22、打印機(jī)23、反射鏡座24、螺母25、墊圈26、螺釘27、反射鏡匣28、鏡匣端蓋29、鋼球30、微動桿31、手輪32、彈簧33、套管34、鎖緊套35、鎖緊蓋圈36、鎖緊塊37、連接板38、調(diào)節(jié)座39、微動套40、差動螺套
41、反射鏡罩42、M粗調(diào)桿43、M差動44、定位鍵45、聯(lián)接軸46、連接套筒47、調(diào)節(jié)圈48、棱鏡室前殼49、棱鏡室50、棱鏡后殼51、晶盒左端蓋52、晶盒調(diào)節(jié)螺釘53、晶盒右端蓋54、光柵座55、左端蓋56、晶體盒57、主板58、微動頭59、內(nèi)圈60、外圈61、固定板62、微動筒體63、微動套筒本發(fā)明激光精密測量物體直線度的方法其特征在于以相干性好的激光器做光源，以衍射光柵、晶體片、兩面對稱反射鏡構(gòu)成光學(xué)測量系統(tǒng)，以光的衍射、干涉、偏振理論為基礎(chǔ)、以前置放大電路、電子細(xì)分電路、可逆計(jì)數(shù)電路、數(shù)字顯示電路等構(gòu)成電子數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，以精密機(jī)械部件構(gòu)成光學(xué)調(diào)整機(jī)構(gòu)，以衍射光柵為運(yùn)動元件，被測物體的直線度與光柵的位移精確地聯(lián)系起來，攜帶物體不直度信息的兩束相干光的干涉光強(qiáng)與光柵沿刻線垂直方向位移的定量關(guān)系為I(

)＝K.Cos(4· (2π)/(d)

)。式中I(

)為干涉光強(qiáng)，d為光柵常數(shù)，

為光柵沿刻線垂直方向的位移，利用光柵衍射并經(jīng)兩塊反射鏡垂直反射后再次衍射，然后進(jìn)行干涉。激光通過對稱衍射光柵進(jìn)行衍射，產(chǎn)生±1級，±2級……等各級衍射光，兩塊平面反射鏡只將±1級衍射光垂直反射回去，使其二次通過光柵，再一次衍射，二次衍射后的(+1;+1)級光和(-1;-1)級光進(jìn)行干涉，此干涉光強(qiáng)反映出物體的直線度。其本測試方法的具體操作過程為在測量之前，首先對被測物體的表面建立參考基準(zhǔn)線，將激光頭和兩面反射鏡分別放在待測物體的兩端，中心高度要相同，將光柵、晶體盒放在被測物靠兩端處，尋求相同的數(shù)字讀數(shù)，將光柵晶體盒移到被測物體的一端，由儀器讀一個(gè)數(shù)，然后把光柵盒移到被測物體的另一端再讀一個(gè)數(shù)，重復(fù)此過程，直到獲得相同的數(shù)值為止，一條參考基準(zhǔn)線就建立起來，然后將參考基準(zhǔn)線與兩平面鏡的二等分面平行，將光柵放到被測物體的一端，勻速推動它，數(shù)字顯示裝置就將測量結(jié)果顯示出來，同時(shí)可用打印機(jī)打出測量結(jié)果。
本發(fā)明激光精密測量物體直線度裝置及其測試方法優(yōu)點(diǎn)在于開創(chuàng)性地利用光柵衍射并經(jīng)反射后再次衍射的光學(xué)原理構(gòu)成獨(dú)特的光學(xué)測量系統(tǒng)，使得本測量裝置及其測試方法達(dá)到精度高，使用范圍大，尤其是對于大尺寸物體直線度的高精度測量最為適用，而且本裝置結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，自動化程度高、效率高是當(dāng)前國內(nèi)外測量物體直線度極好的精密測量裝置和方法。
權(quán)利要求
1.一種激光精密測量物體直線度的裝置，其特征在于是以激光做光源，以光柵、晶體片及對稱的兩面反射鏡經(jīng)反射后再次衍射然后干涉的獨(dú)特測量系統(tǒng)構(gòu)成。具體來講本裝置由激光頭和光電檢測系統(tǒng)、平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)、光柵、晶體片及其調(diào)節(jié)系統(tǒng)、電子數(shù)據(jù)處理和顯示系統(tǒng)、數(shù)字打印機(jī)五大部分組成-第一部分激光頭和光電檢測系統(tǒng)由He-Ne激光器(1)、倒置望遠(yuǎn)鏡(2)、分束器(3)、全反介質(zhì)膜(4)、干涉濾光片(5)、格蘭-付科棱鏡(6)、光電池對(7)、前置放大器(8)組成并放入一個(gè)箱子中，它們的中心線都在一個(gè)平面內(nèi)，離箱子底面的距離都相等，其中He-Ne激光束是TEMoo模，功率在毫瓦數(shù)量級，光電池對(7)中的每一個(gè)硅光電池的受光面積設(shè)計(jì)為大于或等于1cm2，響應(yīng)時(shí)間為20微秒，兩只硅光電池性能參數(shù)一致，尤其光電轉(zhuǎn)換效率相近，即配對使用，在前置放大器(8)電路板外加了一個(gè)防止干擾的金屬屏蔽罩。-第二部分平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)主要由兩面完全對稱的反射鏡(16)和精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)組成，兩個(gè)平面鏡在空間能高精度調(diào)節(jié)，每面鏡子有一副水平、一付垂直粗調(diào)和細(xì)調(diào)裝置，傾角調(diào)節(jié)分辨率為0.6″。兩平面反射鏡(16)對稱置于一個(gè)箱子中。-第三部分光柵、晶體片及其精密微調(diào)系統(tǒng)主要由光柵(18)，晶體片(19)及其安裝盒(圖6)和精密微調(diào)架(圖7)組成。其安裝盒(圖6)內(nèi)放置一塊衍射光柵和一塊石英晶體片，其精密微調(diào)架(圖7)為常平式結(jié)構(gòu)。-第四部分電子數(shù)據(jù)處理和顯示系統(tǒng)，它由電子細(xì)分部分(9)、控制部分(10)、顯示部分(11)組成。其中電子細(xì)分部分(9)采用并聯(lián)電路移項(xiàng)橋整形電路?？刂撇糠?10)包括可逆計(jì)數(shù)器(12)和方向判別器(13)，其顯示部分(11)由四位十進(jìn)制可逆計(jì)數(shù)器級聯(lián)而成，與七段譯碼器(14)之間增加有4D觸發(fā)器(15)。-其第五部分?jǐn)?shù)字打印機(jī)是一種集成化通用記錄儀器。
2.按照權(quán)利要求1所述的激光精密測量物體直線度裝置的第二部分平面反射鏡是兩面形狀和質(zhì)量完全相同的反射鏡，兩反射鏡軸線包含在兩反射面夾角的角二等分面內(nèi)與被測物體的軸線對準(zhǔn)，兩平面鏡的平面度可選取 (入)/20 平面度的反射鏡，微調(diào)部分使用專門設(shè)計(jì)的差動螺紋，傾角調(diào)節(jié)分辨率為0.6″。
3.按照權(quán)利要求1所述的激光精密測量物體直線度裝置的第三部分精密調(diào)節(jié)架為常平式結(jié)構(gòu)就是架圈具有類似于星的特征、此種調(diào)節(jié)架在兩個(gè)互相垂直方向進(jìn)行角度精密調(diào)節(jié)，總傾斜度為12°，傾角分辨率為7″，此調(diào)節(jié)架可用不銹鋼或鋁合金材料，星式常平架的主板(57)具有兩個(gè)通孔供容納兩個(gè)微動頭(58)，有一個(gè)大孔供容納常平架內(nèi)圈(59)和常平架外圈(60)，外圈(60)裝在主板(57)內(nèi)側(cè)的一個(gè)垂直軸上轉(zhuǎn)動，內(nèi)圈(59)裝在外圈(60)內(nèi)側(cè)的水平軸上轉(zhuǎn)動，兩個(gè)軸的交點(diǎn)精確地重合于反射鏡面的中心，晶體片(19)，光柵(18)等光學(xué)元件則以該點(diǎn)為中心轉(zhuǎn)動。
4.按照權(quán)利要求1所述的激光精密測量物體直線度裝置的第四部分中的電子細(xì)分部分(9)采用并聯(lián)電阻移相橋和整形電路，就是適當(dāng)選擇移相橋電阻參數(shù)，由SinWt，-CosWt，-SinWt，CosWt獲得滯后SinWt如下相位的信號9°，45°，81°，117°，153°，189°，225°，261°，297°，330°，移相電路產(chǎn)生的10路正弦波，先通過各自的觸發(fā)器變?yōu)?0路方波，然后再通過各自單穩(wěn)電路變?yōu)?0路窄脈沖，相應(yīng)于10路正弦信號的移相，這些脈沖沿時(shí)間軸均勻排列，利用干涉條紋的相位細(xì)分技術(shù)，把干涉條紋每變化一個(gè)級次，看做相位變化了360°，從一個(gè)干涉條紋變化中得到多個(gè)計(jì)數(shù)脈沖，其控制部分(10)中的可逆計(jì)數(shù)器(12)是累加、遞減和攜帶正、負(fù)信息的計(jì)數(shù)器，其方向判別器(13)為十倍頻閉環(huán)自鎖式判別器。
5.權(quán)利要求1所述的激光精密測量物體直線度裝置的測量方法，其特征在于是以相干性好的激光器做光源，以衍射光柵、晶體片、兩面對稱反射鏡構(gòu)成光學(xué)測量系統(tǒng)，以光的衍射、干涉、偏振理論為基礎(chǔ)，以前置放大電路、電子細(xì)分電路、可逆計(jì)數(shù)電路、數(shù)字顯示電路等構(gòu)成電子數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，以精密機(jī)械部件構(gòu)成光學(xué)調(diào)整機(jī)構(gòu)，以衍射光柵為運(yùn)動元件，被測物體的直線度與光柵的位移精確地聯(lián)系起來，攜帶物體不直度信息的兩束相干光的干涉光強(qiáng)與光柵刻線垂直方向位移定量關(guān)系為I(
)＝KCos(4， (2π)/(d)
)，式中I(
)為干涉光弦、d為光柵常數(shù)，
為光柵沿刻線垂直方向的位移，利用光柵衍射并經(jīng)兩塊反射鏡垂直反射后再次衍射，然后進(jìn)行干涉，激光通過對稱衍射光柵進(jìn)行衍射，產(chǎn)生±級，±2級……等各級衍射光，兩塊平面反射鏡只將±1級衍射光垂直反射回去，使其二次通過光柵，再一次衍射，二次衍射后的(+1;+1)級光和(-1;-1)級光進(jìn)行干涉。此干涉光強(qiáng)反映出物體的直線度;其具體操作方法為在測量之前，首先對被測物體的表面建立參考基準(zhǔn)線，將激光頭和兩面反射鏡分別放在待測物體的兩端，中心高度要相同，將光柵、晶體盒放在被測物靠兩端處，尋求相同的數(shù)字讀數(shù)，將光柵、晶體盒移到被測物體的一端，由儀器讀一個(gè)數(shù)，將光柵晶體盒移到被測物體的另一端再讀一個(gè)數(shù)，重復(fù)此過程，直到獲得相同的數(shù)值為止，一條參考基準(zhǔn)線就建立起來，然后將參考基準(zhǔn)線與兩平面鏡的二等分面平行，將光柵放到被測物體的一端勻速推動它，數(shù)字顯示裝置就將測量結(jié)果顯示出來，同時(shí)可用打印機(jī)打出測量結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明激光精密測量物體直線度的裝置及其測量方法，提出了一種用激光精密測量大尺寸物體直線度的新方法及其裝置。本裝置以激光做光源，以光柵、晶體片及對稱的兩面反射鏡經(jīng)反射后再次衍射然后干涉的獨(dú)特原理構(gòu)成測量系統(tǒng)，主要由激光頭和光電檢測系統(tǒng)，平面反射鏡及其精密調(diào)節(jié)系統(tǒng)，光柵、晶體片及其調(diào)節(jié)系統(tǒng)，電子數(shù)據(jù)處理和顯示系統(tǒng)，數(shù)字打印和五大部分組成，是一種大尺寸物體實(shí)時(shí)、自動、高效、高分辨、高精度測量直線度的裝置及其測試方法。
文檔編號G01B11/30GK1041035SQ8810650
公開日1990年4月4日 申請日期1988年9月5日 優(yōu)先權(quán)日1988年9月5日
發(fā)明者李鈺, 李紹 申請人:太原工業(yè)大學(xué)