專利名稱：具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于聲顯微、機(jī)械掃描成象等技術(shù)領(lǐng)域，廣泛用于材料、微電子、光電子等技術(shù)領(lǐng)域的無損傷檢測(cè)、評(píng)估與觀測(cè)。
聲顯微鏡是近年來發(fā)明的一種新型顯微裝置，它同光學(xué)顯微鏡的區(qū)別在于它不是利用光波而是利用聲波的折射、反射現(xiàn)象來觀察樣品，由于聲波比光波具有更強(qiáng)的穿透性，因而聲顯微鏡可以無損傷地觀察不透明樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)，它的這一特點(diǎn)，使其能夠廣泛用于材料、微電子、光電子及其它技術(shù)領(lǐng)域的無損傷精細(xì)檢測(cè)，比光學(xué)顯微具有顯著優(yōu)點(diǎn)，因此聲顯微技術(shù)已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員關(guān)注、大力開發(fā)研究的重要課題。目前德國萊茲(leitz)公司生產(chǎn)的ELSAM型聲顯微鏡是最先進(jìn)的一種，它由脈沖形成和聲信號(hào)檢測(cè)電路、平面換能器型聲鏡、機(jī)械裝置、控制和顯示部件等四部分組成，如附圖1所示。其中，脈沖形成和聲信號(hào)檢測(cè)電路包括微波信號(hào)源1-1、調(diào)制器1-2、微波開關(guān)1-3、匹配網(wǎng)絡(luò)1-4、微波放大器1-5、檢波器1-6、脈沖放大器1-7、采樣保持電路1-8、視頻放大器1-9;平面換能器型聲鏡包括平面換能器1-10、凸球面蘭寶石聲透鏡1-11;機(jī)械裝置包括五維調(diào)節(jié)工作臺(tái)1-12、掃描驅(qū)動(dòng)器1-13、驅(qū)動(dòng)電源1-14、位置傳感器1-15、傳感放大器1-16;控制和顯示部件包括三個(gè)專用微機(jī)1-17(8748)、1-18(μP8085)、1-19(μP8085)、長(zhǎng)余輝顯示器1-20、短余輝顯示器1-21、幀存儲(chǔ)器1-22、TV監(jiān)示器1-23和直接存取控制器(DMA)1-24。(ELSAM使用手冊(cè))。
1.脈沖形成和聲信號(hào)檢測(cè)電路微波信號(hào)源1-1產(chǎn)生連續(xù)微波信號(hào)，經(jīng)調(diào)制器1-2形成脈沖調(diào)制信號(hào)，此信號(hào)經(jīng)微波開關(guān)1-3，匹配網(wǎng)絡(luò)1-4送入平面換能器1-10，轉(zhuǎn)換成脈沖調(diào)制聲波，由凹球面蘭寶石聲透鏡1-11聚焦后，進(jìn)入被觀察樣品1-25，遇到樣品缺陷，聲波反射回平面換能器1-10再轉(zhuǎn)換成電脈沖調(diào)制信號(hào)，此信號(hào)經(jīng)匹配網(wǎng)絡(luò)1-4、微波開關(guān)1-3進(jìn)入微波放大器1-5，經(jīng)檢波、放大、采樣保持、再放大進(jìn)入專用微機(jī)1-19(CPU8085)的顯示記錄轉(zhuǎn)換開關(guān)A。由于反射聲波形成的電脈沖調(diào)制信號(hào)比入射的電脈沖調(diào)制信號(hào)延遲一段時(shí)間，因此，能較容易地判斷樣品缺陷的深度，微波信號(hào)源1-1、調(diào)制器1-2、微波開關(guān)1-3是由專用微機(jī)1-17(8748)控制的。
2.平面換能器型聲鏡平面換能器1-10完成聲-電變換，由它將電信號(hào)變成平面聲波，再由凹球面蘭寶石聲透鏡1-11折射聚焦到樣品，這種聲鏡結(jié)構(gòu)如附圖2所示，2-1、2-2是電極(金膜)、2-3是壓電體(氧化鋅)、2-4是蘭寶石單透鏡，它是一個(gè)蘭寶石圓柱磨成的一端平、一端為單凹球面的平面換能器型單透鏡聲鏡。它的不足之處是①凹球面得到的入射聲波通常不是理想的平面聲波，而且入射面平聲波除照到凹球面處之外，還有些波照到凹球面外，這不僅會(huì)降低聲鏡的靈敏度，這些照在凹球面外的波也會(huì)折射傳到樣品處，造成雜波干擾，影響圖象質(zhì)量;②蘭寶石價(jià)格昂貴。
3.機(jī)械裝置掃描驅(qū)動(dòng)器1-13、驅(qū)動(dòng)電源1-14、位置傳感器1-15及傳感放大器1-16組成的二維機(jī)械掃描裝置與五維工作臺(tái)1-12構(gòu)成了體積小、精度高的機(jī)械裝置，二維機(jī)械掃描裝置完成樣品和透鏡間的相對(duì)光柵式掃描，由驅(qū)動(dòng)電源1-14驅(qū)動(dòng)掃描驅(qū)動(dòng)器1-13，位置傳感器1-15獲得掃描位置信息經(jīng)傳感放大器1-16放大送入專用微機(jī)1-19(CPU)的X、Y、Z運(yùn)動(dòng)控制C，來控制驅(qū)動(dòng)電源1-14。它的不足之處是掃描范圍小，一般不超過1mm，而觀察范圍改變需手動(dòng)五維調(diào)節(jié)工作臺(tái)1-12，不能自動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)檢測(cè)。
4.控制和顯示部件機(jī)械掃描、高頻部件及顯示由三個(gè)專用微機(jī)來控制，專用微機(jī)1-19(μP8085)作為CPU，專用微機(jī)1-18(μP8085)控制單板機(jī)鍵盤和字符顯示，專用微機(jī)1-17(8748)控制高頻部件。工作時(shí)，由鍵盤輸入命令給CPU，再由CPU控制機(jī)械掃描運(yùn)動(dòng)，CPU發(fā)出命令給8748，使其控制高頻部件，CPU還控制顯示記錄轉(zhuǎn)換開關(guān)A以得到所需顯示進(jìn)行觀察或拍照;通過專用總線(bus)把信息送入幀存貯器1-22，由TV監(jiān)視器1-23進(jìn)行高質(zhì)量顯示。它的不足之處是①結(jié)構(gòu)復(fù)雜(三個(gè)專用微機(jī))，控制和顯示分開，單元多，體積大;②由于采用專用微機(jī)工作，只能使用低級(jí)語言編程，難于增加功能，而且也難于直接移值已有圖象處理軟件;③由于采用專用微機(jī)，用戶只能在ELSAM上觀察圖象，因而用戶使用觀測(cè)結(jié)果極不方便;④制造、維修困難，成本高。
1983年我們發(fā)明了一種玻璃金屬球面換能器型聲鏡，其結(jié)構(gòu)如附圖3所示。3-1是玻璃、3-2是鉬桿、3-3是壓電材料氧化鋅、3-4是金膜，它與3-2鉬桿構(gòu)成電極，3-5是絕緣材料氧化硅，作為保護(hù)層。(“一種用于聲學(xué)顯微鏡的新型換能聚焦系統(tǒng)-玻璃金屬球面換能器”清華大學(xué) 李德杰 陳戈林 張克潛應(yīng)用科學(xué)學(xué)報(bào) 1984第2卷第四期 322-329)。這種聲鏡的優(yōu)點(diǎn)是①換能器靠近樣品端，做成球面形狀，使聲波產(chǎn)生和聚焦合并在一處完成，由于僅兩極間的氧化鋅才會(huì)產(chǎn)生聲波，所以只要中心鉬桿直徑小于球坑口徑，它產(chǎn)生的聲波就必然是可以會(huì)聚的球面波而不會(huì)產(chǎn)生雜波干擾，因此極易達(dá)到理想分辨率;②由于聲波是由聲鏡直接發(fā)出的球面聲波，與平面換能器型聲鏡相比，在傳播過程中少一個(gè)反射面，因此減小了聲鏡對(duì)聲信號(hào)的插入損耗;③由于聲鏡采用玻璃、金屬而不用蘭寶石，價(jià)格低數(shù)十倍。這種聲鏡的不足之處是①聲鏡由玻璃和金屬組成，與被測(cè)樣品碰撞或摩擦，極易損壞;②工作時(shí)聲鏡和樣品間的耦合液-水，用后會(huì)留下水堿等殘留物，要擦去殘留物，也極易損壞鏡坑。因此使用壽命短，實(shí)際應(yīng)用比較困難。
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有聲顯微鏡之不足，設(shè)計(jì)一種通用性強(qiáng)、自動(dòng)化程度高，價(jià)格低廉的聲顯微鏡。
本發(fā)明的技術(shù)要點(diǎn)是1.采用帶有保護(hù)裝置及高硬度保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡，保護(hù)裝置可以是加在玻璃柱外的套。
2.采用一臺(tái)通用微機(jī)構(gòu)成機(jī)械掃描、高頻部件控制，圖象顯示、存儲(chǔ)和處理系統(tǒng);
3.采用具有新型驅(qū)動(dòng)電路的步進(jìn)電機(jī)來驅(qū)動(dòng)聲鏡位移和機(jī)械掃描，而樣品觀察點(diǎn)的選擇由程序控制實(shí)現(xiàn);新型驅(qū)動(dòng)電路是其功率放大器工作在截止-放大工作狀態(tài)，利用晶體管動(dòng)態(tài)電阻保證步進(jìn)電機(jī)高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是1.采用具有保護(hù)裝置和高硬度耐磨保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡，無雜波干擾，分辨率高，價(jià)格比蘭寶石聲鏡低數(shù)十倍;2.采用通用微機(jī)構(gòu)成機(jī)械掃描、高頻部件控制和成象系統(tǒng)，聲鏡觀測(cè)結(jié)果可在任何通用微機(jī)上進(jìn)行觀察和進(jìn)一步分析，使用方便，還可移植已有軟件，制作、維修方便，易于開發(fā)、增強(qiáng)功能;3.新型步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路既保證了步進(jìn)電機(jī)高速低噪聲工作，又提高了效率，降低了成本。
實(shí)施例附圖4是具有保護(hù)裝置和高硬度耐磨保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡的實(shí)施例，4-1是玻璃，4-2是金屬(鉬桿)，玻璃與金屬是能夠互相熔封的。因此玻璃可為8＃。4-3是壓電體氧化鋅膜(Zno)，也可用鈮酸鋰、石英等，4-4是金膜(Au)，它與4-2構(gòu)成電極，4-5是高硬度耐磨保護(hù)膜，它是在金膜4-4外用微波等離子體氣相(MPCVD)沉積一層氮化硅(Si3N4)薄膜或金剛石薄膜等。4-6是加在玻璃柱4-1外的保護(hù)套，它可用銅制成與全膜4-4連在一起，成為外導(dǎo)體一個(gè)電極，套頭上可伸出數(shù)個(gè)爪，爪長(zhǎng)略長(zhǎng)于聲鏡。以保證聲鏡頭部不會(huì)碰到樣品或其它物品上，4-7是同軸接頭。
附圖5是本發(fā)明的機(jī)械掃描、高頻部件控制和成象系統(tǒng)的實(shí)施例，5-1是一臺(tái)通用的IBM PC/AT微機(jī)，5-2是A/D變換接口板，由視頻放大器來的帶有樣品聲學(xué)信息的電信號(hào)、機(jī)械掃描位置傳感信號(hào)，經(jīng)過它進(jìn)行模-數(shù)轉(zhuǎn)換，送入5-1PC/AT，5-3是串并行接口板，5-1 PC/AT通過它將驅(qū)動(dòng)碼送至步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)電源，以控制工作臺(tái)進(jìn)行光柵式機(jī)械掃描和移動(dòng)，完成樣品多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)試，5-3串并行接口板還可送出訊號(hào)控制高頻部件單元工作，以選擇其工作頻率、微波功率電平及其它工作狀態(tài)。5-4是增強(qiáng)圖形接口板(EGA或VGA)，它用做圖象信息寄存和顏色控制，此板外接一個(gè)普通微機(jī)附屬的高分辨率彩色終端(即顯示器)，它既可以用于一般計(jì)算機(jī)軟件、程序、數(shù)據(jù)、文字顯示，也可以用作測(cè)試結(jié)果(圖象或曲線)的初步顯示。5-5是圖象顯示接口板，此板外接一個(gè)高分辨率多灰度級(jí)別(如256級(jí))的顯示器，它可用做檢測(cè)結(jié)果和圖象處理結(jié)果的高質(zhì)量顯示。A/D變換接口板、串并行接口板、增強(qiáng)圖形接口板和圖象顯示接口板均有商售品，買來插在微機(jī)上即可。
附圖6是步進(jìn)電機(jī)新型驅(qū)動(dòng)電路實(shí)施例，9401構(gòu)成電壓放大器，DS30E構(gòu)成功率放大器，R1C1(580Ω，470P)是串接在電壓放大器輸入回路中的加速網(wǎng)絡(luò)，用以改善脈沖前沿，LA是步進(jìn)電機(jī)的一個(gè)繞組，二極管D串接R2C2(36Ω，10μ)加速網(wǎng)絡(luò)并接在步進(jìn)電機(jī)繞組LA兩端，組成泄放回路，還可串入R6(10K)和發(fā)光二極管LED組成指示器，與RC加速網(wǎng)絡(luò)并聯(lián)，它利用一部分泄放無用儲(chǔ)能發(fā)光，以指示電機(jī)工作，功率放大器DS30E工作在截止-放大工作狀態(tài)(現(xiàn)有電路均工作在截止-飽和狀態(tài))，以晶體管由截止到放大過渡過程的動(dòng)態(tài)電阻取代通常電路中串接在電機(jī)繞組上的外加大功率電阻，既保證了電機(jī)高速工作，又使效率提高一倍以上。R5(0.2Ω)是監(jiān)測(cè)DS30E電流的。QA是來自微機(jī)的串并行接口板驅(qū)動(dòng)碼(A路脈沖序列)，電源電壓12V。
附圖7是本發(fā)明的整機(jī)實(shí)施例整機(jī)由脈沖形成和聲信號(hào)檢測(cè)電路、聲鏡、機(jī)械裝置、控制和顯示部件等四部分組成，如附圖7所示。
脈沖形成和聲信號(hào)檢測(cè)電路包括7-1主脈沖源、7-2脈沖分配器，由主脈沖觸發(fā)控制幾個(gè)短脈沖去控制7-5調(diào)制器。7-3高頻振蕩器(100～150MHZ)，7-4放大器放大連續(xù)微波功率，7-5調(diào)制器(HP33144A)產(chǎn)生短脈沖調(diào)制微波信號(hào)，7-6環(huán)形器，微波信號(hào)由其1口入，2口出送到7-7匹配網(wǎng)絡(luò)，7-8微波放大器，7-9檢波器，7-10脈沖放大器，7-11采樣保持電路，7-12采樣脈沖源，7-13視頻放大器，7-14濾波器。還可用一臺(tái)脈沖示波器7-15用以觀測(cè)和確定樣品被檢測(cè)面與樣品表面距離。上述電路均為公知常規(guī)電路。
聲鏡7-16是帶有保護(hù)裝置和高硬度保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡，7-17是耦合液-水，7-18是被觀察樣品。
機(jī)械裝置包括7-19三維調(diào)節(jié)工作臺(tái)(水平兩維角度微調(diào)器和垂直升降精密微動(dòng)臺(tái))，可用商售產(chǎn)品(如南通光學(xué)儀器廠生產(chǎn)ZD型微調(diào)器)或訂制。7-20X、Y兩維移動(dòng)和掃描臺(tái)可用商售或訂制，7-21掃描驅(qū)動(dòng)器和位置傳感器，掃描驅(qū)動(dòng)器包括步進(jìn)電機(jī)及其新型驅(qū)動(dòng)電路。
控制和顯示部件包括7-22微機(jī)IBM PC/AT、7-23標(biāo)準(zhǔn)101微機(jī)鍵盤、7-24A/D接口板(MS-1215)、7-25通用EGA接口板、7-26高分辨率計(jì)算機(jī)顯示終端(TVM型)、7-27通用圖象接口板(如HYIPB1)、7-28高分辨率多灰度等級(jí)顯示器(OPC-OVM9E)、7-29串并行接口板(FAT-003)。


附圖1 ELSAM型聲顯微鏡組成框圖1-1 微波信號(hào)源1-2 調(diào)制器型)、7-27通用圖象接口板(如HYIPB1)、7-28高分辨率多灰度等級(jí)顯示器(OPC-OVM9E)、7-29串并行接口板(FAT-003)。

附圖1 ELSAM型聲顯微鏡組成框圖1-1 微波信號(hào)源1-2 調(diào)制器1-3 微波開關(guān)1-4 匹配網(wǎng)絡(luò)1-5 微波放大器1-6 檢波器1-7 脈沖放大器1-8 采樣保持電路1-9 視頻放大器1-10 平面換能器1-11 凹球面蘭寶石聲透鏡1-12 五維調(diào)節(jié)工作臺(tái)1-13 掃描驅(qū)動(dòng)器1-14 驅(qū)動(dòng)電源1-15 位置傳感器1-16 傳感放大器1-17 專用微機(jī)87481-18 專用微機(jī)μP80851-19 專用微機(jī)μP80851-20 長(zhǎng)余輝顯示器1-21 短余輝顯示器1-22 幀存儲(chǔ)器1-23 TV監(jiān)示器
1-3 微波開關(guān)1-4 匹配網(wǎng)絡(luò)1-5 微波放大器1-6 檢波器1-7 脈沖放大器1-8 采樣保持電路1-9 視頻放大器1-10 平面換能器1-11 凹球面蘭寶石聲透鏡1-12 五維調(diào)節(jié)工作臺(tái)1-13 掃描驅(qū)動(dòng)器1-14 驅(qū)動(dòng)電源1-15 位置傳感器1-16 傳感放大器1-17 專用微機(jī)87481-18 專用微機(jī)μP80851-19 專用微機(jī)μP80851-20 長(zhǎng)余輝顯示器1-21 短余輝顯示器1-22 幀存儲(chǔ)器1-23 TV監(jiān)示器1-24 直接存取控制器(DMA)1-25 被觀察樣品附圖2 平面換能器型聲鏡結(jié)構(gòu)圖2-1、2-2 電極(金膜)2-3 壓電體(氧化鋅)2-4 蘭寶石單透鏡附圖3 玻璃金屬球面換能器型聲鏡3-1 玻璃3-2 鉬桿
3-3 壓電體(氧化鋅)3-4 金膜3-5 氧化硅附圖4 具有保護(hù)裝置和高硬度耐磨保護(hù)膜的璃璃金屬球面換能器型聲鏡結(jié)構(gòu)圖4-1 玻璃(8號(hào))4-2 金屬(鉬桿)4-3 壓電體(氧化鋅)4-4 金膜4-5 高硬度耐磨保護(hù)膜(氮化硅)4-6 帶爪的銅質(zhì)保護(hù)套4-7 同軸接頭附圖5 機(jī)械掃描、高頻部件和成象系統(tǒng)的組成框圖5-1 通用微機(jī) IBM PC/AT5-2 A/D變換接口板5-3 串并行接口板5-4 增強(qiáng)圖形接口板(EGA)5-5 圖象顯示接口板附圖6 步進(jìn)電機(jī)新型驅(qū)動(dòng)電路圖9401 放大管DS30E 功放管R1580ΩR236ΩR330ΩR4470Ω 電位器R50.2ΩR610KΩC1470PC210μD1二極管LED 發(fā)光二極管LA步進(jìn)電機(jī)的一個(gè)繞組D2非門74LS04的一半QA來自微機(jī)的串并行接口板的驅(qū)動(dòng)碼附圖7 本發(fā)明整機(jī)框圖7-1 主脈沖源7-2 脈沖分配器7-3 高頻振蕩器(100～150MHZ)7-4 放大器7-5 調(diào)制器7-6 環(huán)形器7-7 匹配網(wǎng)絡(luò)7-8 微波放大器7-9 檢波器7-10 脈沖放大器
7-11 采樣保持電路7-12 采樣脈沖源7-13 視頻放大器7-14 濾波器7-15 脈沖示波器7-16 帶有保護(hù)裝置和高硬度耐磨保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡7-17 耦合液(水)7-18 被觀察樣品7-19 三維調(diào)節(jié)工作臺(tái)7-20 X、Y兩維移動(dòng)和掃描移動(dòng)臺(tái)7-21 掃描驅(qū)動(dòng)器和位置傳感器7-22 微機(jī)IBM PC/AT7-23 標(biāo)準(zhǔn)101微機(jī)鍵盤7-24 A/D接口板(MS-1215)7-25 EGA接口板(PEGA)7-26 高分辨率計(jì)算機(jī)顯示終端(TVM型)7-27 通用圖象接口板(HYZPB1型)7-28 高分辨率多灰度等級(jí)顯示器(OPC-OVM9E)7-29 串并行接口板(FAT-003)
權(quán)利要求
1.一種具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡，由脈沖形成和聲信號(hào)檢測(cè)電路組成，其特征在于采用帶有保護(hù)裝置及高硬度耐磨保護(hù)膜的玻璃金屬球面換能器型聲鏡，保護(hù)裝置可以是加在玻璃柱外的套；采用一臺(tái)通用微機(jī)構(gòu)成機(jī)械掃描、高頻部件控制、圖象顯示、存儲(chǔ)和處理系統(tǒng)；采用具有新型驅(qū)動(dòng)電路的步進(jìn)電機(jī)來驅(qū)動(dòng)聲鏡位移和機(jī)械掃描，而觀察點(diǎn)的選擇由程序控制實(shí)現(xiàn)，新型驅(qū)動(dòng)電路是其功率放大器工作在截止-放大工作狀態(tài)，利用晶體管動(dòng)態(tài)電阻保證步進(jìn)電機(jī)高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
2.按照權(quán)利要求1所說的具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡，其特征在于所說的玻璃金屬球面換能器型聲鏡，玻璃與金屬是能夠互相熔封的。
3.按照權(quán)利要求1和2所說的具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡，其特征在于所說的聲鏡保護(hù)套可由銅制成，與金膜連在一起，成為一個(gè)電極，套頭上可有數(shù)個(gè)爪，爪長(zhǎng)略長(zhǎng)于聲鏡。
4.按照權(quán)利要求1和2所說的具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡，其特征在于所說的高硬度耐磨保護(hù)膜可以是用微波等離子體氣相沉積(MPCVD)在金膜外沉積一層氮化硅(Si3N4)薄膜或金剛石薄膜。
5.按照權(quán)利要求1和2所說的具有新型聲鏡的反射式聲顯微鏡，其特征在于所說的步進(jìn)電機(jī)的新型驅(qū)動(dòng)電路，可由放大器，工作在截止-放大工作狀態(tài)的功率放大器組成，在放大器輸入回路中可串入RC加速網(wǎng)絡(luò)，用于改善脈沖前沿，在泄放回路中串入RC加速網(wǎng)絡(luò)，用于改善脈沖后沿，還可在泄放回路串入一個(gè)由發(fā)光二極管與電阻串聯(lián)的指示器(與RC加速網(wǎng)絡(luò)并聯(lián))，利用一部分泄放無用儲(chǔ)能發(fā)光，指示電機(jī)工作。
全文摘要
本發(fā)明屬于聲顯微、機(jī)械掃描成象等技術(shù)領(lǐng)域，可廣泛用于材料、微電子、光電子等技術(shù)領(lǐng)域的無損傷檢測(cè)、評(píng)估與觀察。本發(fā)明采用新型聲鏡、新型步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)電源，由通用微機(jī)構(gòu)成機(jī)械掃描、高頻部件控制和成象系統(tǒng)比平面換能器型藍(lán)寶石聲鏡分辨率高而價(jià)格卻低數(shù)十倍；比專用微機(jī)功能強(qiáng)通用性好，用戶使用方便，此外還具有高效、低噪聲等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01S15/89GK1054667SQ9010105
公開日1991年9月18日 申請(qǐng)日期1990年3月8日 優(yōu)先權(quán)日1990年3月8日
發(fā)明者陳戈林, 胡思正, 李德杰, 羅淑云, 申忠明, 張克潛 申請(qǐng)人:清華大學(xué)