專利名稱：箔式傳感器的制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器的加工和封裝，尤指一種箔式傳感器的加工和封裝工藝。
目前箔式傳感器應(yīng)用十分廣泛，尤為是應(yīng)用于動(dòng)高壓流場中不同拉氏位置的壓力，變形和位移的測量。目前箔式傳感器的制作采用的是傳統(tǒng)的甩膠光刻工藝，其缺點(diǎn)是效率低，量計(jì)尺寸受限制，制作過程有毒，對人體健康有影響。箔式傳感器的封裝主要有兩種方法。一種是用聚四氟乙烯薄膜封裝，使用203A膠作為粘接劑封裝，這種封裝方法一般由手工完成，因此一致性較差，這在瞬間動(dòng)高壓測量條件下，將影響測量參數(shù)的一致性，導(dǎo)致增加測量誤差，同時(shí)手工操作難以消除粘接劑中的小氣泡，由于203A膠固化極慢，因此傳感器的包封性能隨時(shí)間變化明顯，同樣也影響測量的精量和測量誤差。另一種是用聚酰亞胺，或聚乙烯醇縮甲乙醛或環(huán)氧樹脂等材料包封，利用上述材料封裝，其制作工藝復(fù)雜，生產(chǎn)效率低，成本高，而且有些材料在動(dòng)高壓作用下，其絕緣性能變差，致使傳感器的靈敏度降低。
本發(fā)明的目的是公開一種箔式傳感器的制作方法，以提高箔式傳感器的生產(chǎn)效率和性能參數(shù)的一致性，降低成本，并改善包封材料在動(dòng)高壓載荷作用下的絕緣性。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下首先將傳感器箔材清洗干凈并干燥后，在溫度為140℃-160℃和加壓條件下，在箔材的兩面分別壓上感光膜，在感光膜的表面粘附一層聚脂薄膜保護(hù)層，在一面貼上傳感器的形狀底片，兩面進(jìn)曝光，去掉有傳感器的形狀底片的曝光面的保護(hù)層，將其送入顯影機(jī)，未曝光部分與堿液反應(yīng)被去掉，露出部分金屬箔材，將暴露的金屬箔材腐蝕掉，漂洗干凈后烘干，將腐蝕掉金屬的一面封裝，則制得傳感器。
利用本發(fā)明給出的工藝制作箔式傳感器，其工藝性好，質(zhì)量均一，避免了傳統(tǒng)甩膠工藝帶來的效率低和制作過程的有毒物質(zhì)對人體的危害，提高了生產(chǎn)效率，并且傳感器基本不受尺寸的限制，其封裝性能好，改善了包封材料在動(dòng)高壓載荷作用下的絕緣性，從而提高了傳感器的靈敏度和在動(dòng)高壓作用下的記錄壽命。
下面結(jié)合實(shí)施例詳細(xì)給出本發(fā)明的具體步驟。
箔式傳感器的制作工藝的具體步驟如下首先將傳感器箔材清洗干凈，先用去污粉清洗，再用5%的稀硫酸，最后用丙酮擦洗干凈，干燥后送入壓膜機(jī)，在溫度為140℃-160℃和加壓條件下，在箔材的兩面分別壓上厚度為0.03-0.05毫米的感光膜，最好是水溶性抗蝕干膜，上述溫度最好控制在150℃左右為好;在水溶性抗蝕干膜的表面粘附一層聚脂薄膜保護(hù)層，其厚度為0.05-0.1mm，在壓上水溶性抗蝕干膜和保護(hù)層的箔材的一面在曝光機(jī)上全部曝光，另一面貼上傳感器的形狀底片進(jìn)行曝光，傳感器的形狀底片上給出的傳感器的形狀可以是任何有效的形狀，以適合于動(dòng)高壓流場中不同拉氏位置的壓力，變開形和位移的測量;去掉底片曝光面的保護(hù)層，送入顯影機(jī)，未曝光部分與堿液反應(yīng)被腐蝕掉，露出部分金屬箔材，再送入腐蝕機(jī)，將暴露的金屬箔材腐蝕掉，則留下的部分金屬為所需形狀的箔式傳感器的金屬部分，將腐蝕掉金屬的一面封裝，其封裝步驟如下將腐蝕掉一部分金屬的一面送入壓膜機(jī)再壓上一層感光膜，最好壓上水溶性抗蝕干膜，在其表面再壓上一層聚薄膜保護(hù)層，在封裝前應(yīng)用5%的稀硫酸對傳感器進(jìn)行漂洗，再用清水沖洗，最后烘干。
利用上述工藝可生產(chǎn)多種箔式傳感器，具有相當(dāng)廣泛的用途，例如可以用于生產(chǎn)錳銅箔調(diào)壓阻量計(jì)和康銅拉伸量計(jì)，用這種工藝生產(chǎn)的銅壓力傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定結(jié)果為P(GPA)＝0.40+30.42( (△R)/(Ro) )+14.19( (△R)/(Ro) )2(1.0GPA≤P≤13GPA)其中P為壓力， (△R)/(Ro) 為示波器記錄結(jié)果。
權(quán)利要求
1.一種箔式傳感器的制作工藝，其特征在于首先將傳感箔材清洗干凈并干燥后，在溫度為140℃-160℃和加壓條件下，在箔材的兩面分別壓上感光膜，在感光膜的表面粘附一層聚脂薄膜保護(hù)層；在一面貼上傳感器的形狀底片，兩面進(jìn)行曝光，去掉有傳感器的形狀底片的曝光面的保護(hù)層，將其送入顯影機(jī)，未曝光部分與堿液反應(yīng)被去掉，露出部分金屬箔材，將暴露的金屬箔材腐蝕掉，漂洗干凈后干燥，將腐蝕掉金屬的一面封裝，制得傳感器。
2.按權(quán)利要求1所述的箔式傳感器的制作工藝，其特征在于壓膜的溫度最好控制在150℃左右，感光膜最好是水溶性抗蝕干膜。
3.按權(quán)利要求1所述的箔式傳感器的制作工藝，其特征在于將腐蝕掉金屬的一面封裝的工藝步驟如下將腐蝕掉一部分金屬的一面送入壓膜機(jī)再壓上一層感光膜，最好壓上水溶性抗蝕干膜，在其表面再壓上一層聚脂薄膜保護(hù)層。
全文摘要
一種箔式傳感器的制作工藝，其特征在于首先將傳感器箔材清洗干凈并干燥后，在溫度為140℃—160℃和加壓條件下，在箔材的兩面分別壓上感光膜，在感光膜的表面粘附一層聚酯薄膜保護(hù)層；在一面貼上傳感器的形狀底片，兩面進(jìn)行曝光，去掉有傳感器的形狀底片的曝光面的保護(hù)層，將其送入顯影機(jī)，未曝光部分與堿液反應(yīng)被去掉，露出部分金屬箔材，將暴露的金屬箔材腐蝕掉，漂洗干凈后干燥，將腐蝕掉金屬的一面封裝，制得傳感器。利用上述工藝制得的傳感器的質(zhì)量均一，提高了生產(chǎn)效率。其封裝性能好，改善了包封材料在動(dòng)高壓載荷作用下的絕緣性，從而提高了傳感器的靈敏度和在動(dòng)高壓作用下的記錄壽命。
文檔編號(hào)G01L9/02GK1098200SQ94107219
公開日1995年2月1日 申請日期1994年6月27日 優(yōu)先權(quán)日1994年6月27日
發(fā)明者浣石, 黃風(fēng)雷, 張家碧, 周小鷗 申請人:中國人民解放軍國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)