專利名稱:多功能x射線晶體定軸儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種晶體角度檢測及晶體切割加工前的定軸帖料裝置。
眾所周知,晶體具有原子規(guī)則排列的特性,在晶體內(nèi)可形成原子面,同種材料晶體的原子面在晶體內(nèi)的坐標(biāo)軸方位是確定的。石英晶體進(jìn)行深加工的前道工序就是要進(jìn)行晶軸定向切割加工及對切割后的晶片進(jìn)行測角。現(xiàn)有的X射線定軸設(shè)備見圖一,其測角部分由蝸輪2和蝸桿4組成。所述X射線定軸設(shè)備是利用衍射原理,當(dāng)轉(zhuǎn)動手輪3并帶動蝸桿4旋轉(zhuǎn)時,蝸輪2及上面的晶體1隨之轉(zhuǎn)動,當(dāng)X射線接收器接收的衍射光最強時,停止轉(zhuǎn)動,測得蝸桿的旋轉(zhuǎn)角度,就可得知晶體表面與原子面的夾角。傳統(tǒng)的帖料方法是先對晶體進(jìn)行角度測量,寫上測量結(jié)果,然后將晶體往料板上放置,以晶體表面為基準(zhǔn),在機械對角器上修正角度,使晶體面與料板的基準(zhǔn)邊成預(yù)定的角度,待帖料后即可實施晶體切割。上述設(shè)備及貼料工序存在的缺點是一.蝸輪付的齒合處間隙難以消除,造成測量誤差;二.加工精度要求非常高,造價昂貴;三.X射線測角與機械校正角度分為兩道工序,重復(fù)基準(zhǔn),累計誤差大,產(chǎn)品合格率低;操作程序多,不易掌握,效率低。
本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、精度準(zhǔn)確的集晶體角度檢測和晶體切割前定軸帖料兩道工序于一體的晶體定軸儀。
本實用新型包括X射線發(fā)射和接收裝置、基準(zhǔn)平面、角度檢測機構(gòu)、平移及升降機構(gòu),其特征在于在角度檢測機構(gòu)上設(shè)計了角度可調(diào)的基準(zhǔn)平面,用于料板的定位,滿足對晶體不同切角的帖料需要,上述測角機構(gòu)是由調(diào)角度螺桿、檢測端與所述調(diào)角度螺桿相連的測角器、與所述調(diào)角度螺桿上端螺紋連接的螺母以及螺母頂部固定的擺桿和擺桿端部的轉(zhuǎn)軸共同組成;上述測角機構(gòu)還包括消除螺母與調(diào)角度螺桿之間的螺紋間隙的張力彈簧;上述彈簧、調(diào)角度螺桿和轉(zhuǎn)軸均設(shè)有固定端,所述固定端可共同設(shè)在機身上。當(dāng)螺桿轉(zhuǎn)動時,螺母產(chǎn)生軸向移動,使擺桿以轉(zhuǎn)軸為軸偏轉(zhuǎn)。在小范圍內(nèi),擺桿偏轉(zhuǎn)的角度與轉(zhuǎn)軸偏轉(zhuǎn)的角度成正比,因而,測角器可通過測量螺桿偏轉(zhuǎn)的角度,來確定擺桿偏轉(zhuǎn)的角度。本裝置的平移、升降兩個機構(gòu)是便于往料板上排列若干根及多層疊加的晶體。平移機構(gòu)包括手輪、手輪帶動的絲杠、滑板和導(dǎo)軌板等?;逡欢嗽O(shè)有一個螺孔,該螺孔可與絲杠相配合,隨手輪轉(zhuǎn)動,以導(dǎo)軌板的導(dǎo)向作直線運動?;迳峡煞胖昧习?。在平移機構(gòu)下部為升降機構(gòu),它包括手輪、斜齒輪組、絲杠和托板等。上述手輪帶動斜齒輪組的一個齒輪轉(zhuǎn)動,斜齒輪組中的另一個齒輪的軸孔內(nèi)有內(nèi)螺紋,所述絲杠與之配合;托板固定在絲杠的頂端,在手輪轉(zhuǎn)動時,絲杠帶動托板上下移動,托板上端是平移機構(gòu)的導(dǎo)軌板。
本實用新型可將晶體的切割加工前的定軸測角和機械對角兩道工序在一個設(shè)備上完成,簡化了操作程序,提高了工作效率。同時克服了傳統(tǒng)的設(shè)備測試誤差大和累計誤差等缺點,可大大提高產(chǎn)品的合格率。
圖一是傳統(tǒng)的X射線定軸設(shè)備。
圖二是本裝置的測角機構(gòu)結(jié)構(gòu)圖。
圖三是本裝置的平移機構(gòu)結(jié)構(gòu)圖。
圖四是本裝置的升降機構(gòu)結(jié)構(gòu)圖。
本裝置的實施例見附圖
當(dāng)進(jìn)行晶體測角時,將晶片1帖緊于擺桿9的轉(zhuǎn)軸10端,旋轉(zhuǎn)螺桿8,螺母7作軸向移動,帶動擺桿9以轉(zhuǎn)軸10為軸偏轉(zhuǎn),所偏轉(zhuǎn)的角度〔即晶體旋轉(zhuǎn)角度〕可通過測角器5讀出,當(dāng)X光接收器顯示最大讀數(shù)時,停止轉(zhuǎn)動,從而可求得晶體表面與原子面的夾角。當(dāng)進(jìn)行晶體帖料時,調(diào)整基準(zhǔn)平面13和料板基準(zhǔn)邊12與X射線的夾角A,選擇預(yù)定的切角。將晶體1緊帖于擺桿9的轉(zhuǎn)軸10端,旋轉(zhuǎn)螺桿8,當(dāng)X光接收器顯示最大讀數(shù)時,停止轉(zhuǎn)動,定軸工作完成,晶體可在該位置實施帖料。彈簧6是一個張力彈簧,可消除螺母與螺桿的間隙,提高測量精度。本裝置的平移、升降機構(gòu)見圖三、四,手輪14帶動絲杠18轉(zhuǎn)動,滑板16的螺孔17與上述絲杠18配合,在手輪14轉(zhuǎn)動時,使滑板16沿導(dǎo)軌板15縱向運動,可使滑板16上的料板11隨之移動,達(dá)到依次對晶體1的定軸排列工作。在平移機構(gòu)下部是升降機構(gòu),當(dāng)轉(zhuǎn)動手輪19時,斜齒輪組20帶動絲杠21向下或上移動,絲杠21頂部的托板22也隨之向下或上移動,從而便于晶體上下疊加排列。
權(quán)利要求一種多功能x射線晶體定軸儀,它包括x射線發(fā)射和接收裝置、基準(zhǔn)平面、角度檢測機構(gòu)、平移及升降機構(gòu),其特征在于在角度檢測機構(gòu)上設(shè)計了角度可調(diào)的基準(zhǔn)平面13,用于料板11的定位,滿足對晶體不同切角的帖料需要,上述測角機構(gòu)是由調(diào)角度螺桿8、檢測端與所述調(diào)角度螺桿8相連的測角器5、與所述調(diào)角度螺桿8上端螺紋連接的螺母7以及螺母7頂部固定的擺桿9和擺桿端部的轉(zhuǎn)軸10共同組成;上述測角機構(gòu)還包括消除螺母7與調(diào)角度螺桿8之間的螺紋間隙的張力彈簧6;上述彈簧6、調(diào)角度螺桿8和轉(zhuǎn)軸10均設(shè)有固定端,所述固定端可共同設(shè)在機身上;平移機構(gòu)包括手輪14、手輪14帶動的絲杠18、滑板16和導(dǎo)軌板15;滑板16一端設(shè)有一個螺孔17,該螺孔17可與絲杠18相配合,隨手輪14轉(zhuǎn)動,以導(dǎo)軌板15的導(dǎo)向作直線運動;滑板16上可放置料板;在平移機構(gòu)下部為升降機構(gòu),它包括手輪19、斜齒輪組20、絲杠21和托板22;上述手輪19帶動斜齒輪組20的一個齒輪轉(zhuǎn)動,斜齒輪組中的另一個齒輪的軸孔內(nèi)有內(nèi)螺紋,所述絲杠21與之配合;托板22固定在絲杠21的頂端,在手輪19轉(zhuǎn)動時,絲杠18帶動托板22上下移動,托板22上端是平移機構(gòu)的導(dǎo)軌板15。
專利摘要一種多功能X射線晶體定軸儀,它包括用于料板定位的基準(zhǔn)平面;由調(diào)角度螺桿、檢測端與所述調(diào)角度螺桿相連的測角器、與所述調(diào)角度螺桿上端螺紋連接的螺母以及螺母頂部的擺桿組成的測角機構(gòu);平移機構(gòu);升降機構(gòu)等。本裝置可將晶體切割加工前的定軸測角、機械對角帖合兩道工序同時完成,具有測試精度高、工序簡單等優(yōu)點,能大大提高產(chǎn)品的合格率。
文檔編號G01B15/00GK2204042SQ94205548
公開日1995年7月26日 申請日期1994年3月28日 優(yōu)先權(quán)日1994年3月28日
發(fā)明者潘云法 申請人:李清