專利名稱：塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光學(xué)傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要用于檢測(cè)空氣中的塵埃數(shù)，進(jìn)而確定空氣的清潔程度?，F(xiàn)有技術(shù)中的塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要采用白光光源，其檢測(cè)的塵埃下限大于0.3微米，且其光學(xué)傳感器體積大、發(fā)熱量高、分辨率低。
本實(shí)用新型的目的在于提供一種分辨率高的塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光學(xué)傳感器。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是它包括發(fā)出激光光束的激光二極管、置于激光二極管右側(cè)的用于將發(fā)散的激光會(huì)聚成平行激光束的準(zhǔn)直器、置于準(zhǔn)直器右側(cè)的用于將準(zhǔn)置器射出的不均勻平行光校正為均勻平行光的柱面鏡、置于柱面鏡右側(cè)的內(nèi)腔為橢球狀且柱面鏡的激光束穿過所述橢球狀內(nèi)腔一個(gè)焦點(diǎn)的橢球聚光鏡、置于橢球聚光鏡右側(cè)的光陷井、設(shè)置于所述橢球聚光鏡另一個(gè)焦點(diǎn)處的用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電倍增管，所述的橢球聚光鏡平行激光穿過的焦點(diǎn)處設(shè)有被測(cè)氣流的氣路。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)(1).整個(gè)光路短、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，可用本實(shí)用新型制成體積較小的便攜式塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
(2).采用激光作為光源，可測(cè)量到0.01微米的塵埃粒子，故分辨率較高。
以下結(jié)合附圖
及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述附圖為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；其中[1].激光二極管；[2].準(zhǔn)直器；[3].柱面鏡；[4].橢球聚光鏡；[5].氣路；[6].光陷井；[7].光電倍增管。
實(shí)施例參見附圖，本實(shí)用新型包括發(fā)出激光光束的激光二極管[1]、置于激光二極管右側(cè)的用于將發(fā)散的激光會(huì)聚成平行激光束的準(zhǔn)直器[2]、置于準(zhǔn)直器右側(cè)的用于將準(zhǔn)置器射出的不均勻平行光校正為均勻平行光的柱面鏡[3]、置于柱面鏡右側(cè)的內(nèi)腔為橢球狀且柱面鏡的激光束穿過所述橢球狀內(nèi)腔一個(gè)焦點(diǎn)的橢球聚光鏡[4]、置于橢球聚光鏡右側(cè)的光陷井[6]、設(shè)置于所述橢球聚光鏡另一個(gè)焦點(diǎn)處的用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電倍增管，所述的橢球聚光鏡[4]平行激光穿過的焦點(diǎn)處設(shè)有被測(cè)氣流的氣路[5]。所述的激光二極管[1]激光功率為5～10mw，所述的準(zhǔn)直器[2]由兩個(gè)平行排列的凸面鏡組成，可將發(fā)散的激光會(huì)聚成平行的激光，即向一個(gè)方向會(huì)聚，激光可以相對(duì)集中。柱面鏡[3]使激光二極管[1]在一個(gè)方向得到準(zhǔn)直而在另一個(gè)方向上不受影響，使柱面鏡[3]射出的平行激光得以校正變得更為均勻。橢球聚光鏡[4]采用玻璃材料，內(nèi)腔為橢球狀，柱面鏡[3]射出的激光穿過該橢球內(nèi)腔的一個(gè)焦點(diǎn)，同時(shí)該焦點(diǎn)也是被測(cè)氣體的氣路[5]所在的位置，被測(cè)氣路[5]中的氣流所包含的塵埃經(jīng)過該焦點(diǎn)時(shí)使平行的激光束散射，經(jīng)橢球腔內(nèi)壁反射至橢球腔的另一個(gè)焦點(diǎn)，不同大小及數(shù)量的塵埃粒子散射的激光光束不同。由于另一個(gè)焦點(diǎn)上設(shè)有光電倍增管[7]，故塵埃粒子散射光會(huì)聚于該焦點(diǎn)上的光電倍增管的陰極面上，將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成呈正比的電信號(hào)輸入后級(jí)電路處理。該橢球聚光鏡[4]可縮短光路，能進(jìn)一步減少噪聲來源，達(dá)到提高分辨率的目的。光陷井[6]接收穿過橢球腔焦點(diǎn)的平行激光并將該激光束限制在該陷井內(nèi)，以免對(duì)橢球內(nèi)腔的散射光產(chǎn)生干擾。
權(quán)利要求1.一種塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光學(xué)傳感器，其特征在于它包括發(fā)出激光光束的激光二極管[1]、置于激光二極管右側(cè)的用于將發(fā)散的激光會(huì)聚成平行激光束的準(zhǔn)直器[2]、置于準(zhǔn)直器右側(cè)的用于將準(zhǔn)置器射出的不均勻平行光校正為均勻平行光的柱面鏡[3]、置于柱面鏡右側(cè)的內(nèi)腔為橢球狀且柱面鏡的激光束穿過所述橢球狀內(nèi)腔一個(gè)焦點(diǎn)的橢球聚光鏡[4]、置于橢球聚光鏡右側(cè)的光陷井[6]、設(shè)置于所述橢球聚光鏡另一個(gè)焦點(diǎn)處的用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的光電倍增管，所述的橢球聚光鏡[4]平行激光穿過的焦點(diǎn)處設(shè)有被測(cè)氣流的氣路[5]。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光學(xué)傳感器，其特征在于它包括激光二極管(1)、置于激光二極管右側(cè)的準(zhǔn)直器(2)、置于準(zhǔn)直器右側(cè)的柱面鏡(3)、置于柱面鏡右側(cè)的內(nèi)腔為橢球狀的橢球聚光鏡(4)、置于橢球聚光鏡右側(cè)的光陷井(6)、設(shè)置于橢球聚光鏡另一個(gè)焦點(diǎn)處的光電倍增管，所述的橢球聚光鏡(4)的一個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)有被測(cè)氣流的氣路(5)。本實(shí)用新型的光路短、分辨率高，適用于食品業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)等車間的空氣塵埃檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01N15/14GK2216679SQ9423955
公開日1996年1月3日 申請(qǐng)日期1994年10月28日 優(yōu)先權(quán)日1994年10月28日
發(fā)明者吳俊民, 陳建, 陳紹麗, 金惠琴 申請(qǐng)人:蘇州凈化設(shè)備廠