專利名稱：集成電路設(shè)備測(cè)試器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的背景本發(fā)明涉及用于測(cè)試半導(dǎo)體集成電路設(shè)備(IC)或大規(guī)模集成電路設(shè)備(LSI)的集成電路設(shè)備測(cè)試器。


圖1以方塊形式示出了被廣泛使用的集成電路設(shè)備測(cè)試器的基本結(jié)構(gòu)。標(biāo)號(hào)100代表測(cè)試頭，200代表測(cè)試器主系統(tǒng)(main frame)。測(cè)試頭100上裝有性能測(cè)試板101和轉(zhuǎn)接電子線路(pin electronics)102。性能測(cè)試板101上具有安放被測(cè)設(shè)備(以后稱之為DUT)的插座(沒有畫出)，它建立了被測(cè)設(shè)備與測(cè)試器之間的電氣連接關(guān)系。
轉(zhuǎn)接電子線路102具有驅(qū)動(dòng)器組103、模擬比較器組104和中繼矩陣變換電路105，其中，驅(qū)動(dòng)器組103用于驅(qū)動(dòng)DUT，模擬比較器組104用于檢查DUT的應(yīng)答輸出信號(hào)以便確定它們的H和L邏輯是否具有正常電壓值，中繼矩陣變換電路105用于對(duì)連接到DUT的各個(gè)端子上的設(shè)備組進(jìn)行切換。
測(cè)試器主系統(tǒng)中有模式發(fā)生器201，該模式發(fā)生器輸出測(cè)試模式數(shù)據(jù)(數(shù)字信號(hào))。該測(cè)試模式數(shù)據(jù)和來自定時(shí)信號(hào)發(fā)生器的定時(shí)信號(hào)被輸入到格式器202中，格式器202產(chǎn)生被施加到DUT的每個(gè)端子上的模式信號(hào)(模擬波形信號(hào))。該模式信號(hào)通過模式信號(hào)傳輸線301提供給測(cè)試頭100，在測(cè)試頭100中，模式信號(hào)經(jīng)驅(qū)動(dòng)器組103施加到DUT的每個(gè)端子上。順便說一下，在模式信號(hào)傳輸線301上傳送的模式信號(hào)中還含有定時(shí)信號(hào)。
模式比較器組104的比較結(jié)果通過應(yīng)答信號(hào)傳輸線302被送回到測(cè)試器主系統(tǒng)200中，并且在主系統(tǒng)200中的邏輯比較器203上與來自模式發(fā)生器201的期望模式進(jìn)行比較，以便測(cè)出它們之間的不匹配從而測(cè)出失效部件。標(biāo)號(hào)204代表失效存儲(chǔ)器，每當(dāng)邏輯比較器203檢測(cè)到不匹配時(shí)，代表失效的H或L邏輯就被寫入到失效發(fā)生的地址中。
標(biāo)號(hào)205代表定時(shí)信號(hào)發(fā)生器。關(guān)于定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205，為便于以后對(duì)它說明，首先將說明現(xiàn)有的粗延時(shí)電路DY1和精確延時(shí)電路DY2，按照本發(fā)明，它們分別被獨(dú)立安裝在測(cè)試器主系統(tǒng)200和測(cè)試頭100中。
通常，定時(shí)信號(hào)發(fā)生器204對(duì)圖2中A行所示的參考時(shí)鐘CLK進(jìn)行分頻后得到?jīng)Q定測(cè)試間隔或周期T的標(biāo)準(zhǔn)脈沖(rate pulse)RAT(圖2中的B行)；除此之外，定時(shí)信號(hào)發(fā)生器204還使標(biāo)準(zhǔn)脈沖RAT延遲任意時(shí)間間隔，從而產(chǎn)生各種定時(shí)信號(hào)，如測(cè)試模式信號(hào)波形的上升定時(shí)信號(hào)和下降定時(shí)信號(hào)、模擬比較器組104的選通定時(shí)信號(hào)和邏輯比較器203的比較操作定時(shí)信號(hào)等。
因此，定時(shí)信號(hào)發(fā)生器202具有許多延時(shí)電路，這些延時(shí)電路可以在不超過測(cè)試周期T的范圍或不超過幾倍范圍內(nèi)使標(biāo)準(zhǔn)脈沖延時(shí)任意時(shí)間間隔；這些延時(shí)電路用于產(chǎn)生象圖2中的C行和D行所示的定時(shí)信號(hào)T1和T2之類的各種定時(shí)信號(hào)，這些定時(shí)信號(hào)比參考定時(shí)信號(hào)滯后任意時(shí)間間隔。
定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205中的這些延時(shí)電路是由粗延時(shí)電路DY1組和精確延時(shí)電路組DY2所組成的，其中，每個(gè)粗延時(shí)電路對(duì)時(shí)鐘脈沖CLK進(jìn)行計(jì)數(shù)并產(chǎn)生以時(shí)鐘CLK周期τ1為單位的延時(shí)時(shí)間，每個(gè)精確延時(shí)電路對(duì)時(shí)鐘CLK周期τ1的間隔進(jìn)行細(xì)分從而確定延時(shí)時(shí)間；例如，這些延時(shí)電路能夠使測(cè)試模式信號(hào)的上升定時(shí)時(shí)間和下降定時(shí)時(shí)間的分辨率達(dá)到皮秒級(jí)。
測(cè)試器主系統(tǒng)200還包括DC測(cè)試部件206、負(fù)載測(cè)試部件207、第一參考電壓源208、第二參考電壓源209和電源部件211，其中，第一參考電壓源208用于設(shè)置模式信號(hào)的H和L邏輯的電壓值VIH和VIL，第二參考電壓源用于提供模擬比較器組104的比較電壓VOH和VOL，電源部件211用于給DUT提供工作電壓。DC測(cè)試部件206、負(fù)載測(cè)試部件207、第一參考電壓源208、第二參考電壓源209、電源部件211、模式發(fā)生器201、格式器202、失效存儲(chǔ)器204和定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205的設(shè)置和操作完全由控制處理器10通過控制總線11來控制。
圖3示出了測(cè)試頭100與測(cè)試器主系統(tǒng)200之間的連接關(guān)系。測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100通過纜線組300相互連接起來。由于測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100是通過前面在圖1中提到的各種信號(hào)線連接起來的，因此纜線組300所包含的電纜數(shù)很多。
IC端子的數(shù)目隨著IC的集成度的增加而增加。IC工作速度的增加也會(huì)使連接測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100的纜線組300的電纜數(shù)增加。例如，在具有對(duì)應(yīng)于1000個(gè)IC端子的測(cè)試容量的測(cè)試器中，測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100之間交換的信號(hào)數(shù)量多達(dá)幾萬個(gè)；另外，由于在涉及高速、高精度和噪聲阻抗等場(chǎng)合要用雙絞線、同軸電纜、多封口線和類似的特殊電纜，因此導(dǎo)線的實(shí)際數(shù)量要比被處理的信號(hào)的數(shù)量大幾倍，于是纜線組300形成了一大捆，因而很難移動(dòng)測(cè)試頭100(例如，安裝到處理機(jī)上或從處理機(jī)上拆下來)。
已有技術(shù)的另一個(gè)缺點(diǎn)是即使纜線組300的長(zhǎng)度稍微增大一點(diǎn)也會(huì)造成電纜之間的相互干擾，從而降低測(cè)試精度。此外，傳輸這么大量的信號(hào)會(huì)消耗大量電能，這意味著增加了產(chǎn)生的熱量因而導(dǎo)致冷卻困難，同時(shí)也增加了終接電阻的數(shù)量。這些因素阻礙了系統(tǒng)的小型化。
本發(fā)明的概述因此，本發(fā)明的目的是提供一種能抑制信號(hào)之間的相互干擾的集成電路設(shè)備測(cè)試器，該測(cè)試器的測(cè)試主系統(tǒng)與測(cè)試頭之間的連接纜線組很小使得其測(cè)試頭便于操作。
根據(jù)本發(fā)明，提供了一種IC設(shè)備測(cè)試器，它在控制處理器的控制下，由模式發(fā)生器產(chǎn)生模式數(shù)據(jù)和期望數(shù)據(jù)，由格式器將模式數(shù)據(jù)格式化成預(yù)定模式波形，由驅(qū)動(dòng)器將模式波形以參考電壓形式施加到被測(cè)IC設(shè)備上，由模擬比較器將來自被測(cè)IC設(shè)備的應(yīng)答信號(hào)與參考邏輯電平進(jìn)行比較后作出邏輯判斷，由邏輯比較器將判定后的邏輯與來自模式發(fā)生器的期望數(shù)據(jù)進(jìn)行比較后判定被測(cè)IC設(shè)備是次品還是合格品，將失效數(shù)據(jù)寫入到失效存儲(chǔ)器中。該IC設(shè)備測(cè)試器包括具有控制處理器的測(cè)試器主系統(tǒng)；裝在測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的用于輸出串行數(shù)據(jù)的第一串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置，它用于設(shè)置驅(qū)動(dòng)器的參考電壓和設(shè)置模擬比較器的參考邏輯電平；裝在測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的電／光轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將串行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成光波信號(hào)；具有驅(qū)動(dòng)器和模擬比較器的測(cè)試頭，其中，驅(qū)動(dòng)器用于將測(cè)試模式施加到被測(cè)IC設(shè)備上，模擬比較器用于判定IC設(shè)備的應(yīng)答邏輯；裝在測(cè)試頭內(nèi)的光／電轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將光波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)串行數(shù)據(jù)；裝在測(cè)試頭內(nèi)的第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置，它用于將串行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成并行參考電壓數(shù)據(jù)和并行參考邏輯電平數(shù)據(jù)；D／A轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將并行參考電壓數(shù)據(jù)和并行參考邏輯電平數(shù)據(jù)分別轉(zhuǎn)換成模擬參考電壓和參考邏輯電平并把上述轉(zhuǎn)換結(jié)果分別設(shè)置到模擬比較器和邏輯比較器上；和光纖裝置，它用于將電／光轉(zhuǎn)換器裝置與光／電轉(zhuǎn)換裝置耦合起來。
根據(jù)本發(fā)明，可以采用這樣的結(jié)構(gòu)以光串行信號(hào)的方式從測(cè)試器主系統(tǒng)向測(cè)試頭傳送為每個(gè)IC端子指定的數(shù)據(jù)或各種定時(shí)信號(hào)，測(cè)試頭內(nèi)的串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置接收上述數(shù)據(jù)或定時(shí)信號(hào)并將它們轉(zhuǎn)換成供設(shè)置寄存器裝置儲(chǔ)存的并行信號(hào)，然后以光波信號(hào)方式將測(cè)出的數(shù)據(jù)或測(cè)出的結(jié)果送回到測(cè)試器主系統(tǒng)中。
根據(jù)本發(fā)明，測(cè)試頭內(nèi)還設(shè)有模式存儲(chǔ)器和格式器，模式發(fā)生器產(chǎn)生的數(shù)字測(cè)試模式數(shù)據(jù)以光串行信號(hào)的形式被傳送到測(cè)試頭內(nèi)存入模式存儲(chǔ)器。在開始測(cè)試的同時(shí)，從模式存儲(chǔ)器中讀出其中存儲(chǔ)的測(cè)試模式數(shù)據(jù)，然后將被讀出的測(cè)試模式數(shù)據(jù)(數(shù)字信號(hào))由格式器格式成模擬模式信號(hào)，該模式信號(hào)再由驅(qū)動(dòng)器施加到被測(cè)IC設(shè)備上。
對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)來說，即使采用塑料光纖，光傳輸線的直徑也只有約200到500毫微米，并且與傳輸電信號(hào)的情況不同，每個(gè)通道不必要用雙向?qū)Ь€；因此可以減小信號(hào)傳輸線的直徑和重量。采用傳送和接收光串行信號(hào)的結(jié)構(gòu)，可以使所用的光纖特別少并且還可以使纜線組的直徑和重量進(jìn)一步減小。此外，由于光纖只沿著其中心部分傳輸光，因此不會(huì)發(fā)生相互干擾。于是，可以將纜線組做得長(zhǎng)一些。
附圖的簡(jiǎn)要說明圖1是用于說明已有技術(shù)的方框圖；圖2是用于說明已有技術(shù)的工作的波形圖；圖3是用于說明已有技術(shù)的透視圖；圖4是本發(fā)明實(shí)施例的方框圖；圖5是圖4中轉(zhuǎn)接部件結(jié)構(gòu)的方框圖；圖6是在圖5所示實(shí)施例中所用的轉(zhuǎn)接部件的構(gòu)架的透視圖；圖7是用于安裝圖6所示轉(zhuǎn)接部件的構(gòu)架的示例的透視圖；圖8是圖7所示光電組合板的示例的剖視圖；圖9是本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的方框圖；圖10是圖9所示實(shí)施例中的轉(zhuǎn)接部件結(jié)構(gòu)的方框圖；圖11是本發(fā)明再一個(gè)實(shí)施例的方框圖；和圖12是圖11所示實(shí)施例中的轉(zhuǎn)接部件結(jié)構(gòu)的方框圖。
優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明圖4以方塊形式示出了按照本發(fā)明的IC設(shè)備測(cè)試器的實(shí)施例。本發(fā)明采用光纜和電源線電纜來連接測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100。利用光纜可以傳送各種測(cè)試數(shù)據(jù)、傳送各種設(shè)置數(shù)據(jù)和傳輸各種定時(shí)信號(hào)。通過限制電纜的使用使它僅用在電源上以及通過采用盡可能多的光纜連接可以減小測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100之間的連接纜線的體積。
裝在圖1所示測(cè)試器主系統(tǒng)200中的DC測(cè)試部件206、負(fù)載測(cè)試部件207和第一參考電壓源208在該實(shí)施例中被移到測(cè)試頭100內(nèi)，串行數(shù)據(jù)收發(fā)器212和光輸入／輸出(I／O)模塊213裝在測(cè)試器主系統(tǒng)200內(nèi)。另一方面，轉(zhuǎn)接部件110裝在測(cè)試頭100內(nèi)，以后將參照?qǐng)D5對(duì)轉(zhuǎn)接部件100專門進(jìn)行說明。轉(zhuǎn)接部件110中裝有DC測(cè)量部件、負(fù)載測(cè)量部件和第一參考電壓源以及轉(zhuǎn)接電子線路等功能元件。光I／O模塊213中含有電／光轉(zhuǎn)換器2EO1到2EO5和光／電轉(zhuǎn)換器2OE1到2OE5。該光I／O模塊213通過光纖OPF1到OPF10和光耦合部件126連接到測(cè)試頭100的轉(zhuǎn)接部件110上。
串行數(shù)據(jù)收發(fā)器212向電／光轉(zhuǎn)換器2EO1輸出和提供各種設(shè)置電壓數(shù)據(jù)、負(fù)載測(cè)試條件、DC測(cè)試設(shè)置數(shù)據(jù)、中繼矩陣變換電路控制數(shù)據(jù)等，并通過光／電轉(zhuǎn)換器2OE1接收來自測(cè)試頭100的DC測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)TX。格式器202將收到的測(cè)試數(shù)據(jù)模式格式化成預(yù)定形式并通過電／光轉(zhuǎn)換器2EO2提供給測(cè)試頭100。定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205向格式器202提供定時(shí)沿信號(hào)，產(chǎn)生選通信號(hào)STRB-H和STRB-L并通過電／光轉(zhuǎn)換器2EO4和2EO5將這些選通信號(hào)以光選通信號(hào)的形式施加到測(cè)試頭100上。邏輯比較器203接收來自測(cè)試頭100的被光／電轉(zhuǎn)換器2OE4和2OE5轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的測(cè)試結(jié)果(在選通定時(shí)信號(hào)下通過判斷模擬比較結(jié)果而得到的邏輯數(shù)據(jù))，然后將它們與期望數(shù)據(jù)EPD進(jìn)行比較從而決定被測(cè)IC設(shè)備(以后稱之為DUT)是否合格，并將失效數(shù)據(jù)寫入到失效存儲(chǔ)器204中。
圖5以方塊形式示出了圖4實(shí)施例中的轉(zhuǎn)換部件110的結(jié)構(gòu)，該轉(zhuǎn)接部件110向DUT的一個(gè)端子P提供模式信號(hào)并對(duì)來自端子P的輸出信號(hào)作模擬比較，然后將比較結(jié)果送到測(cè)試主系統(tǒng)200中。
在這個(gè)例子中，轉(zhuǎn)接部件110包括轉(zhuǎn)接電子線路102A、中繼矩陣變換電路105、局部轉(zhuǎn)接控制器111、DC測(cè)試部件116和光I／O模塊113，其中，轉(zhuǎn)接電子線路中裝有用于驅(qū)動(dòng)DUT的一個(gè)端子P的驅(qū)動(dòng)器103A、模擬比較器104A和負(fù)載測(cè)試電路117。
光I／O模塊113具有光／電轉(zhuǎn)換器OE1到OE5和電／光轉(zhuǎn)換器EO1到EO5，通過光／電轉(zhuǎn)換器OE1到OE5它將來自測(cè)試器主系統(tǒng)200的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，這些信號(hào)可以用來執(zhí)行功能與DC測(cè)試。
局部轉(zhuǎn)接控制器111由串行數(shù)據(jù)收發(fā)器111A、寄存器組111B、111C和111D、D／A轉(zhuǎn)換器111E、和中斷控制電路111F組成，其中，串行數(shù)據(jù)收發(fā)器111A通過光／電轉(zhuǎn)換器OE1接收從光纖OPF1傳來的串行信號(hào)，寄存器組111B、111C和111D讀出由串行數(shù)據(jù)收發(fā)器111A接收到的用于各種設(shè)置的串行數(shù)據(jù)并以并行數(shù)據(jù)方式輸出這些數(shù)據(jù)供各種設(shè)置使用，D／A轉(zhuǎn)換器111E根據(jù)設(shè)置數(shù)據(jù)產(chǎn)生供驅(qū)動(dòng)器103A用的電壓信號(hào)VIH和VIL以及供模擬比較器104A用的比較電壓信號(hào)VOH和VOL，中繼控制電路111F根據(jù)來自寄存器組111D的中繼控制用的并行數(shù)據(jù)控制中繼矩陣變換電路105。
也就是說，供驅(qū)動(dòng)器103A用的H邏輯電壓VIH的電壓值和L邏輯電壓VIL的電壓值以及供模擬比較器104A用的比較電壓VOH和VOL儲(chǔ)存在寄存器組111B中，寄存器組111B再將這些電壓信號(hào)以并行數(shù)據(jù)的形式提供給D／A轉(zhuǎn)換器111E從而轉(zhuǎn)換成模擬電壓值，然后這些模擬電壓值被提供給驅(qū)動(dòng)器103A和模擬比較器104A。此外，負(fù)載測(cè)試電路117的工作測(cè)試條件也儲(chǔ)存在寄存器組111B中，因而從寄存器組111B讀出的數(shù)據(jù)也可以用于負(fù)載測(cè)試。
儲(chǔ)存在寄存器組111C中的是DC測(cè)試所必需的控制信號(hào)和DC測(cè)試結(jié)果，例如，在測(cè)試模式(外加電流的電壓測(cè)量模式／外加電壓的電流測(cè)量模式)中，控制信號(hào)控制外加電壓／電流值的設(shè)置、測(cè)量范圍設(shè)置、測(cè)量起始和終止等。當(dāng)需要時(shí)，測(cè)試結(jié)果可以由串行數(shù)據(jù)收發(fā)器111A傳送到電／光轉(zhuǎn)換器EO1上轉(zhuǎn)換成光信號(hào)TX，然后再傳送到測(cè)試器主系統(tǒng)200中。
儲(chǔ)存在寄存器組111D中的是用于控制中繼矩陣變換電路105的控制信號(hào)。該控制信號(hào)被輸入到中繼控制電路111F中去控制轉(zhuǎn)接電子線路102A和中繼矩陣變換電路105，從而使它們處于與被設(shè)置的測(cè)試模式相對(duì)應(yīng)的狀態(tài)。即，在工作測(cè)試過程中，驅(qū)動(dòng)器103A和模擬比較器104A被連接到DUT的端子P上而DC測(cè)試部件116則與之?dāng)嚅_。在DC測(cè)試過程中，轉(zhuǎn)接電子線路102A與DUT的管腳部分開而DC部件116則連接到DUT的管腳P上。
這樣，局部轉(zhuǎn)接控制器111根據(jù)測(cè)試模式將每個(gè)端子P的條件設(shè)置在寄存器組111B、111C和111D中。由于待存入寄存器組111B、111C和111D中的數(shù)據(jù)是以光串行信號(hào)RX的形式發(fā)送的，因此只要用一根光纖OPF1作為它們的傳輸線就足夠了，在光纖OPF1中傳送的光信號(hào)RX被光／電轉(zhuǎn)換器OE1轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后再輸入到串行數(shù)據(jù)收發(fā)器111A中。
在這個(gè)例子中，當(dāng)需要時(shí)可以從寄存器組111B、111C和111D中讀出它們儲(chǔ)存的各種設(shè)置數(shù)據(jù)，然后通過電／光轉(zhuǎn)換器EO1將這些數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)TX，再由光纖OPF2將光信號(hào)TX送回到測(cè)試器主系統(tǒng)200中，在此過程中需要檢查測(cè)試器的設(shè)置是否正確。
光纖OPF3是模式信號(hào)傳輸線，它以光信號(hào)PAT的形式傳送被施加到端子P上的模式信號(hào)。模式信號(hào)PAT被光／電轉(zhuǎn)換器OE2轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后再輸入到裝在轉(zhuǎn)接電子線路102A內(nèi)的驅(qū)動(dòng)器103A上，從而輸入到端子P上。
在光纖OPF4中傳輸?shù)氖球?qū)動(dòng)器控制信號(hào)DRE，該信號(hào)DRE用于控制驅(qū)動(dòng)器103A在功能測(cè)試過程中的狀態(tài)。在從DUT中讀取應(yīng)答信號(hào)的情況下，控制信號(hào)DRE使驅(qū)動(dòng)器103A的輸出端處在高阻狀態(tài)，以便應(yīng)答輸出信號(hào)能被有效讀入到模擬比較器104A中。
光纖OPF5和OPF6是選通脈沖傳輸線，它們分別以光信號(hào)STRB-H和STRB-L的形式傳送模擬比較器104A的選通脈沖，其中選通脈沖用以確定H邏輯電平和L邏輯電平的比較時(shí)刻。光信號(hào)STRB-H是用于選通從DUT讀出的信號(hào)的H邏輯周期的脈沖，光信號(hào)STRB-L是用于選通讀出信號(hào)的L邏輯周期的脈沖。
光信號(hào)STRB-H和STRB-L被光／電轉(zhuǎn)換器OE5和OE6轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后再作為選通脈沖施加到模擬比較器104A上。
光纖OPF7和OPF8是從測(cè)試頭100向測(cè)試器主系統(tǒng)200回送選通脈沖的傳輸線。被送回到測(cè)試器主系統(tǒng)200的選通脈沖RSTRB-H和RSTRB-L由實(shí)際電路安排給出延時(shí)，在延時(shí)期間，它們?cè)跍y(cè)試器主系統(tǒng)200與模擬比較器104A之間移動(dòng)，并被作為裝在測(cè)試器主系統(tǒng)200中的邏輯比較器的選通脈沖。即，模擬比較器104A的判斷結(jié)果在轉(zhuǎn)換成光信號(hào)之后從光纖OPF7和OPF8傳送到測(cè)試器主系統(tǒng)200內(nèi)，并輸入到邏輯比較器中；在這種情況下，為了使判斷結(jié)果的傳輸延時(shí)時(shí)間和選通脈沖的延時(shí)時(shí)間彼此相符，可以使選通脈沖在測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100之間移動(dòng)。光纖OPF9和OPF10是將模擬比較器104A的判斷結(jié)果，即本例中DUT的功能測(cè)試結(jié)果以SH和SL形式送回到測(cè)試器主系統(tǒng)200中的傳輸線。
如上所述，圖4所示的實(shí)施例借助于10個(gè)對(duì)應(yīng)于DUT的每個(gè)端子P的光纖來提供測(cè)試器主系統(tǒng)與測(cè)試頭100之間的信號(hào)交換。即使采用直徑相對(duì)較大的500毫微米塑料光纖，10根光纖組成的光纖束的直徑也是非常小的，甚至由對(duì)應(yīng)于1000個(gè)IC端子的1000根光纖所組成的光纖束的直徑也要比纜線組300(見圖3)小得多。盡管以上用返回的選通脈沖RSTRB-H和RSTRBR-L為邏輯比較203提供比較定時(shí)，但還可以用定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205產(chǎn)生邏輯比較定時(shí)信號(hào)并將它提供給邏輯比較器203，如虛線所示，這種情況不需要光纖OPF7和OPF8，于是能相應(yīng)減少光纖的數(shù)量。另一方面，可以采用這樣的結(jié)構(gòu)只用不帶鎖存功能的模擬比較器作為測(cè)試頭100的模擬比較器104A，從而使它連續(xù)進(jìn)行比較而不需要向它提供選通脈沖STRB-H和STRB-L，然后在選通脈沖STRB-H和STRB-L的定時(shí)時(shí)刻，在測(cè)試器主系統(tǒng)200側(cè)對(duì)比較結(jié)果進(jìn)行采樣，并將采樣數(shù)據(jù)提供給邏輯比較器203。
圖6示出了用于把圖5所示的各個(gè)元件一起安裝DUT的每個(gè)管腳的轉(zhuǎn)接部件的構(gòu)架。在機(jī)箱110A內(nèi)的線路板110B上裝有構(gòu)成局部轉(zhuǎn)接控制器111的集成電路元件、構(gòu)成DC測(cè)試部件116的集成電路元件、含有驅(qū)動(dòng)器103A和模擬比較器104A以及負(fù)載測(cè)試電路117的轉(zhuǎn)接電子線路102A、中繼矩陣變換電路105、光I／O模塊113、供電源用的電氣連接器114、用于與性能測(cè)試板連接或分開的連接器115。標(biāo)號(hào)112表示散熱片。
圖7示出了一種用于將轉(zhuǎn)接部件110安裝到測(cè)試頭100上的構(gòu)件。標(biāo)號(hào)121表示光電組合板。該光電組合板121具有圖8所示的結(jié)構(gòu)。多層電路層122的一個(gè)裝配面內(nèi)有一個(gè)光纖嵌入層123，內(nèi)端如S1所示呈45°斜角的光纖OPF被并排埋置在光纖嵌入層123中；每根光纖的斜端面對(duì)著電路層122，以便光纖中的傳播光能以與線路板表面垂直的方向被反射出來，裝在轉(zhuǎn)接部件110(圖6)內(nèi)的光I／O模塊113被沿著反射方向放置，從而在光纖OPF與轉(zhuǎn)接部件110內(nèi)的光I／O模塊113之間建立光耦合。
光纖OPF的另一端暴露在線路板的端面上。光纜124(見圖7)通過光耦合從測(cè)試器主系統(tǒng)200(圖7中沒有表示出)延伸到光纖OPF的露出端面S2上，測(cè)試器主系統(tǒng)200和裝在測(cè)試頭100一側(cè)的轉(zhuǎn)接部件110可以通過光傳輸線連接起來。附帶說一下，裝在轉(zhuǎn)接部件110(圖6)中的電氣連接器114是通過普通電氣連接構(gòu)件連接到電路層122上的，然后再通過電路層122連接到測(cè)試器主系統(tǒng)200上。
圖7中，標(biāo)號(hào)125表示從測(cè)試器主系統(tǒng)200延伸出來的電源電纜，標(biāo)號(hào)126代表在光電組合板121表面形成的光耦合部件，標(biāo)號(hào)127代表電氣連接器。通過將光I／O模塊113和轉(zhuǎn)接部件110上的電氣連接器114分別連接到光耦合部件126和電氣連接器127上，可以使轉(zhuǎn)接部件110連接到測(cè)試器主系統(tǒng)200上。
在光電組合板121的表面有大量的光耦合部件126和電氣連接器127，以便能安裝所需數(shù)量的轉(zhuǎn)接部件110。盡管在上述說明中將光電組合板121用于轉(zhuǎn)接部件110與光纜124之間的連接，但不必總采用光電組合板121，在這種情況下也可以用裝在電路層表面的光連接器將轉(zhuǎn)接部件110與光纜124連接起來。另一方面，通過分別將光連接器和電氣連接器分別連接到光纜124和電纜125的端部，可以使光纜124和電纜125直接連接到轉(zhuǎn)接部件110上。
在圖7中，標(biāo)號(hào)128表示冷卻系統(tǒng)，它既能對(duì)轉(zhuǎn)接部件110作機(jī)械支承，同時(shí)又具有冷卻功能。該冷卻系統(tǒng)128具有一些部件安裝孔128A，安裝孔128A的四周比如可以是雙層隔板，雙層隔板之間可以作為冷卻水通道。標(biāo)號(hào)128B、128C分別代表冷卻水的入口與出口。
在轉(zhuǎn)接部件110的頂端面上豎著放置了電氣連接器，轉(zhuǎn)接部件110通過這些電氣連接器連接到性能測(cè)試板101上。順便說一下，圖7示出了這樣一種情況多個(gè)用于連接被測(cè)IC設(shè)備的轉(zhuǎn)接部件110-A被直接安裝在性能測(cè)試板101的頂面以便減小電路的長(zhǎng)度；因此，這種結(jié)構(gòu)特別適合于測(cè)試高速IC設(shè)備。
圖9示出了本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例。裝在圖4所示實(shí)施例的測(cè)試器主系統(tǒng)200中的格式器202和邏輯比較器203在這個(gè)實(shí)施例中被移到測(cè)試頭100上，從而省去了測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100之間的選通信號(hào)交換，因而相應(yīng)減少了所用光纖的數(shù)量。因此，模式發(fā)生器201產(chǎn)生的模式數(shù)據(jù)PAD通過電／光轉(zhuǎn)換器2EO2轉(zhuǎn)換成光信號(hào)，該光信號(hào)通過光纖OPF3輸入到測(cè)試頭100的轉(zhuǎn)接部件100中，圖10所示的波形或格式控制器130根據(jù)模式數(shù)據(jù)PAD產(chǎn)生實(shí)際波形的測(cè)試模式信號(hào)并將它施加到DUT上。來自DUT的應(yīng)答信號(hào)在轉(zhuǎn)接部件110中與期望值比較，比較結(jié)果(失效數(shù)據(jù))FDAT被轉(zhuǎn)接成光信號(hào)后通過光纖OPF7傳送到主系統(tǒng)200中，在主系統(tǒng)200中，它又被光／電轉(zhuǎn)換器2OE2轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，然后再被寫入到失效存儲(chǔ)器204中。
使圖4所示定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205產(chǎn)生比時(shí)鐘周期短的延時(shí)時(shí)間的精確控制工作是在測(cè)試頭一側(cè)完成的。定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205產(chǎn)生時(shí)鐘信號(hào)CLK、以時(shí)鐘周期為單位進(jìn)行延遲控制的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)RATE和用于精確延時(shí)控制的精確延時(shí)控制數(shù)據(jù)DCT，這些信號(hào)由電／光轉(zhuǎn)換器2EO4、2EO5和2EO3轉(zhuǎn)換成光信號(hào)，這些光信號(hào)通過光纖OPF5、OPF6和OPF4傳送給測(cè)試頭100。
如圖10所示，測(cè)試頭100中裝有波形或格式控制器130、局部轉(zhuǎn)接控制器111和DC測(cè)試部件116，這種配置用格式控制器130產(chǎn)生模式信號(hào)和執(zhí)行局部比較工作。即，格式控制器130中還配備了串行數(shù)據(jù)收發(fā)器131，串行數(shù)據(jù)收發(fā)器131對(duì)通過光纖OPF3傳送的來自模式發(fā)生器201(圖9)的測(cè)試模式數(shù)據(jù)PAD的串行信號(hào)進(jìn)行接收，并把它提供給格式器132，格式器132產(chǎn)生模擬波形模式信號(hào)。
為了避免增加測(cè)試頭100的尺寸，只是將圖1中的精確延時(shí)電路DY2從圖1的定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133移到測(cè)試頭一側(cè)，以便減小測(cè)試頭100中的定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133的電路規(guī)模。因此，在這個(gè)實(shí)施例中，被粗延時(shí)電路DY1以時(shí)鐘周期為單位作過粗延時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)脈沖在測(cè)試器主系統(tǒng)200中被電／光轉(zhuǎn)換器2EO5轉(zhuǎn)換成光信號(hào)，該光標(biāo)準(zhǔn)脈沖RATE通過光纖OPF4傳送到轉(zhuǎn)接部件110中。該光信號(hào)再由光／電轉(zhuǎn)換器OE3轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)脈沖RATE，并以電標(biāo)準(zhǔn)脈沖RATE的形式被輸入到定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133中，定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)脈沖RATE作精確延時(shí)并把它作為定時(shí)信號(hào)分配到相關(guān)部件上。精確延時(shí)控制數(shù)據(jù)DCT通過串行數(shù)據(jù)收發(fā)器131從光纖OPF5輸入到定時(shí)信號(hào)控制器135中。定時(shí)信號(hào)控制器135根據(jù)該精確延時(shí)控制數(shù)據(jù)DCT對(duì)定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133進(jìn)行控制。
邏輯比較器134對(duì)輸入到格式器132的測(cè)試模式數(shù)據(jù)PAD(數(shù)字信號(hào))與來自DUT的應(yīng)答信號(hào)進(jìn)行邏輯比較，并將比較結(jié)果作為失效信號(hào)FDAT發(fā)送到串行數(shù)據(jù)收發(fā)器131，該比較結(jié)果由此又被發(fā)送到電／光轉(zhuǎn)換器EO5以轉(zhuǎn)換成光信號(hào)，然后通過光纖OPF7發(fā)送。
圖11示出了本發(fā)明再一個(gè)實(shí)施例的方框圖。該實(shí)施例進(jìn)一步將模式發(fā)生器201、失效存儲(chǔ)器204和定時(shí)信號(hào)發(fā)生器205移到圖9所示的測(cè)試頭一側(cè)，并在測(cè)試器主系統(tǒng)200中增加了串行數(shù)據(jù)收發(fā)器214，這種配置用光纖OPF4傳送模式發(fā)生所必需的數(shù)據(jù)，以及用光纖OPF5接收測(cè)試結(jié)果。這種結(jié)構(gòu)所用的光纖總量要比圖9所示實(shí)施例所用的光纖總量少。
為了在測(cè)試頭一側(cè)產(chǎn)生模式信號(hào)，可以將定時(shí)存儲(chǔ)器141、模式存儲(chǔ)器142和失效存儲(chǔ)器143與格式控制器130一起裝在測(cè)試頭100的轉(zhuǎn)接部件110中，如圖12所示。
串行數(shù)據(jù)收發(fā)器214預(yù)先通過光纖OPF4向模式存儲(chǔ)器142發(fā)送串行信號(hào)形式的模式數(shù)據(jù)RXX以供它儲(chǔ)存。此外，在空閑時(shí)間內(nèi)串行數(shù)據(jù)收發(fā)器214通過光纖OPF5向定時(shí)存儲(chǔ)器141發(fā)送延時(shí)控制數(shù)據(jù)(定時(shí)數(shù)據(jù))以供它儲(chǔ)存。因此，在測(cè)試開始之前就可以將供DUT的所有端子使用的數(shù)據(jù)從測(cè)試器主系統(tǒng)200傳送到測(cè)試頭200中的各個(gè)轉(zhuǎn)接部件110中儲(chǔ)存起來。
在開始測(cè)試的同時(shí)，模式數(shù)據(jù)PAD被從模式存儲(chǔ)器142中讀出來并被提供給格式器132，再由格式器132轉(zhuǎn)換成模擬波形模式信號(hào)。在模式數(shù)據(jù)PAD被讀出的同時(shí)，延時(shí)控制數(shù)據(jù)PAD也被從定時(shí)存儲(chǔ)器中讀出來并被提供給定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133，定時(shí)信號(hào)發(fā)生器133再根據(jù)時(shí)鐘信號(hào)CLK產(chǎn)生代表測(cè)試周期的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)RATE。標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)RATE延遲相應(yīng)于延遲控制數(shù)據(jù)DCT的非常短的時(shí)間間隔，從而產(chǎn)生定時(shí)信號(hào)，這些定時(shí)信號(hào)被提供給格式器32、模擬比較器104A和邏輯比較器134從而確定各個(gè)比較時(shí)刻和模式信號(hào)的上升與下降時(shí)刻等。
例如，每當(dāng)邏輯比較器134檢測(cè)到代表失效的不匹配情況時(shí)，H邏輯信號(hào)就被寫入到失效存儲(chǔ)器143中的失效發(fā)生地址中。在測(cè)試空閑期間或在測(cè)試結(jié)束時(shí)，如此儲(chǔ)存在失效存儲(chǔ)器143中的失效數(shù)據(jù)(測(cè)試結(jié)果)通過存儲(chǔ)器總線MBUS和串行數(shù)據(jù)收發(fā)器131被傳送到電／光轉(zhuǎn)換器EO2上轉(zhuǎn)換成光信號(hào)TXX，該光信號(hào)再通過光纖OPF5傳送到測(cè)試器主系統(tǒng)200中。本發(fā)明的作用如上所述，按照本發(fā)明，在測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100之間交換的數(shù)據(jù)、時(shí)鐘和其它信號(hào)都是用光纖傳送的。這種光纖的直徑最大的為500毫微米，它要比電纜直徑小得多。因此，即使所用的光纖數(shù)量與一般電纜的數(shù)量相同，光纖束的直徑也要比電纜束的直徑小得多。此外，由于光纖比電纜輕，因此光纖束的重量很輕便于使用。
通過采用圖9或圖11所示的串行數(shù)據(jù)收發(fā)器111A和131可以減少纜線的數(shù)量。具體地講，在具有如圖11所示的模式存儲(chǔ)器142、定時(shí)存儲(chǔ)器141和失效存儲(chǔ)器143的情況下可以在公共光纖中傳輸不同的信號(hào)。因此，DUT的每個(gè)端子所用的光纖數(shù)量可以減少到大約六根，如圖11所示。這使得連接測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100的纜線組300的直徑減小了。
由于光纖不會(huì)對(duì)光產(chǎn)生大的衰減以及沒有光泄漏，因此測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100可以相隔很遠(yuǎn)距離。于是，可以將產(chǎn)生大量熱的測(cè)試器主系統(tǒng)200與測(cè)試頭100放置在不同的地方，或者例如，只把測(cè)試頭放置在潔凈室內(nèi)。除此之外，由于用光信號(hào)交換各種信號(hào)，因此不需要為每根傳輸線提供終接電阻。這也有助于減少測(cè)試器所產(chǎn)生的熱量。
顯然，在本發(fā)明的新的思想范圍內(nèi)可以作許多修改和變動(dòng)。
權(quán)利要求
1．一種集成電路設(shè)備測(cè)試器，它在控制處理器的控制下，由模式發(fā)生器產(chǎn)生模式數(shù)據(jù)和期望數(shù)據(jù)，由格式器將所述模式數(shù)據(jù)格式化成預(yù)定模式波形，由驅(qū)動(dòng)器將所述模式波形以參考電壓形式施加到被測(cè)IC設(shè)備上，由模擬比較器將來自所述被測(cè)IC設(shè)備的應(yīng)答信號(hào)與參考邏輯電平進(jìn)行比較，然后作出邏輯判斷，由邏輯比較器將判定后的邏輯與來自所述模式發(fā)生器的期望數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以判定所述被測(cè)IC設(shè)備是次品還是合格品，并將失效數(shù)據(jù)寫入到失效存儲(chǔ)器中，所述IC設(shè)備測(cè)試器包括裝有所述控制處理器的測(cè)試器主系統(tǒng)；裝在所述測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的用于輸出串行數(shù)據(jù)的第一串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置，它用于為所述驅(qū)動(dòng)器設(shè)置所述參考電壓和為所述模擬比較器設(shè)置所述參考邏輯電平；裝在所述測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的電／光轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述串行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)；具有所述驅(qū)動(dòng)器和模擬比較器的測(cè)試頭，其中，所述驅(qū)動(dòng)器用于將測(cè)試模式施加到所述IC設(shè)備上，模擬比較器用于判定所述IC設(shè)備的應(yīng)答邏輯；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的光／電轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的串行數(shù)據(jù)；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置，它用于將所述串行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成并行參考電壓數(shù)據(jù)和并行參考邏輯電平數(shù)據(jù)；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的D／A轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述并行參考電壓數(shù)據(jù)和所述并行參考邏輯電平數(shù)據(jù)分別轉(zhuǎn)換成模擬參考電壓和參考邏輯電平，并把這些轉(zhuǎn)換結(jié)果分別設(shè)置到所述驅(qū)動(dòng)器和所述模擬比較器上；和光纖裝置，它用于將所述電／光轉(zhuǎn)換器裝置與所述光／電轉(zhuǎn)換器裝置耦合起來。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試器，其中所述第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置包括用于保存所接收到的串行數(shù)據(jù)和用于以各種設(shè)置并行數(shù)據(jù)形式輸出這些信號(hào)的寄存器裝置。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試器，還包括裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的DC測(cè)試部件，在測(cè)試器內(nèi)，所述測(cè)試器主系統(tǒng)將控制信號(hào)以光串行信號(hào)的形式傳送到所述DC測(cè)試部件上，從而控制所述DC測(cè)試部件對(duì)被測(cè)IC設(shè)備進(jìn)行DC測(cè)試。
4．根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試器，其中所述第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置在所述測(cè)試頭內(nèi)的所述寄存器裝置中儲(chǔ)存了為每個(gè)端子設(shè)置的數(shù)據(jù)和DC測(cè)試結(jié)果，并將所述設(shè)置數(shù)據(jù)和所述DC測(cè)試結(jié)果以光串行信號(hào)形式傳送到所述測(cè)試器主系統(tǒng)中。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試器，其中待被施加到所述被測(cè)IC設(shè)備上的模式信號(hào)作為對(duì)所述被測(cè)IC設(shè)備的每個(gè)端子的光信號(hào)的形式從所述測(cè)試器主系統(tǒng)輸入到所述測(cè)試頭上，并通過裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的所述驅(qū)動(dòng)器施加到所述被測(cè)IC設(shè)備上；從所述被測(cè)IC設(shè)備中讀出的信號(hào)由所述模擬比較器來檢查以便確定該信號(hào)是否具有正常的H或L邏輯電平；和為所述被測(cè)IC設(shè)備的所述每個(gè)端子所作的判斷結(jié)果由所述電／光轉(zhuǎn)換器裝置轉(zhuǎn)換成光串行信號(hào)，并通過所述光纖裝置傳送給所述測(cè)試器主系統(tǒng)。
6．根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試器，其中第三串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置、所述格式器和所述邏輯比較器相應(yīng)于所述被測(cè)IC設(shè)備的每根端子引線即被設(shè)置在所述測(cè)試頭內(nèi)；供所述每個(gè)端子使用的數(shù)字模式數(shù)據(jù)被以光串行信號(hào)形式從所述測(cè)試器主系統(tǒng)傳送到所述測(cè)試頭上，并被所述第三串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置接收和轉(zhuǎn)換成并行模式數(shù)據(jù)；所述并行模式數(shù)據(jù)被所述格式器轉(zhuǎn)換成模擬模式信號(hào)；所述模式信號(hào)通過所述驅(qū)動(dòng)器被施加到所述每個(gè)端子上；從所述被測(cè)IC設(shè)備讀出來的信號(hào)由所述模擬比較器來檢測(cè)以便確定其邏輯電平是否正常；該判斷結(jié)果與來自所述測(cè)試器主系統(tǒng)的數(shù)字期望模式數(shù)據(jù)在所述邏輯比較器上進(jìn)行邏輯比較；和邏輯比較結(jié)果通過所述第三串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置以光串行信號(hào)的形式傳送到所述測(cè)試器主系統(tǒng)中。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試器，其中所述測(cè)試頭內(nèi)設(shè)有定時(shí)信號(hào)發(fā)生器；以光串行信號(hào)形式傳送的數(shù)字定時(shí)數(shù)據(jù)在被所述第三串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置轉(zhuǎn)換成并行信號(hào)以后被提供給所述定時(shí)信號(hào)發(fā)生器；并且，所述格式器、所述邏輯比較器和所述模擬比較器的工作受來自所述定時(shí)信號(hào)發(fā)生器的定時(shí)信號(hào)的控制。
8．根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試器，其中所述測(cè)試頭內(nèi)設(shè)有模式存儲(chǔ)器、失效存儲(chǔ)器和定時(shí)存儲(chǔ)器；以光信號(hào)形式從所述測(cè)試器主系統(tǒng)傳送到所述模式存儲(chǔ)器和所述定時(shí)存儲(chǔ)器中的模式數(shù)據(jù)和定時(shí)數(shù)據(jù)被預(yù)先儲(chǔ)存在這些存儲(chǔ)器內(nèi)；在測(cè)試開始的同時(shí)，所述模式數(shù)據(jù)和所述定時(shí)數(shù)據(jù)被從所述模式存儲(chǔ)器和所述定時(shí)存儲(chǔ)器中讀取出來并被提供給所述格式器和所述定時(shí)信號(hào)發(fā)生器，再由它們產(chǎn)生模式信號(hào)和定時(shí)信號(hào)；所述IC設(shè)備的功能測(cè)試是用所述模式信號(hào)和所述定時(shí)信號(hào)來進(jìn)行的；所述功能測(cè)試的結(jié)果由所述邏輯比較器獲得并被儲(chǔ)存在所述失效存儲(chǔ)器中；和所述儲(chǔ)存數(shù)據(jù)被以光信號(hào)的形式傳送到所述測(cè)試器主系統(tǒng)中。
9．一種集成電路設(shè)備測(cè)試器，它在控制處理器的控制下，由模式發(fā)生器產(chǎn)生模式數(shù)據(jù)和期望數(shù)據(jù)，由格式器將所述模式數(shù)據(jù)格式化成預(yù)定模式波形，由驅(qū)動(dòng)器將所述模式波形以參考電壓形式施加到被測(cè)IC設(shè)備上，由模擬比較器將來自所述被測(cè)IC設(shè)備的應(yīng)答信號(hào)與參考邏輯電平進(jìn)行比較以作出邏輯判斷，由邏輯比較器將判定后的邏輯與來自所述模式發(fā)生器的期望數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以判定所述被測(cè)IC設(shè)備是次品還是合格品，將失效數(shù)據(jù)寫入到失效存儲(chǔ)器中，所述IC設(shè)備測(cè)試器包括具有所述控制處理器、所述模式發(fā)生器、所述格式器、所述邏輯比較器和所述失效存儲(chǔ)器的測(cè)試器主系統(tǒng)；裝在所述測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的第一電／光轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述格式器輸出的測(cè)試模式波形轉(zhuǎn)換成光信號(hào)；具有所述驅(qū)動(dòng)器和所述模擬比較器的測(cè)試頭；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的第一光／電轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將以光信號(hào)形式提供給它的測(cè)試模式波形轉(zhuǎn)換成電信號(hào)形式的測(cè)試模式波形，并將后者施加到所述驅(qū)動(dòng)器上；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的第二電／光轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述模擬比較器的比較結(jié)果轉(zhuǎn)換成光信號(hào)；裝在所述測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的第二光／電轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將以所述光信號(hào)形式提供給它的所述比較結(jié)果轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，并將后者施加到所有邏輯比較器上；連接所述第一電／光轉(zhuǎn)換器裝置的輸出端與所述第一光／電轉(zhuǎn)換器裝置的輸入端的第一光纖裝置，它用于從前者向后者傳送測(cè)試模式光信號(hào)；和連接所述第二電／光轉(zhuǎn)換器裝置的輸出端與所述第二光／電轉(zhuǎn)換器裝置的輸入端的第二光纖裝置，它用于從前者向后者傳送比較結(jié)果光信號(hào)。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的測(cè)試器，還包括裝在所述測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的第一串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置，它用于以串行數(shù)據(jù)形式輸出供所述驅(qū)動(dòng)器用的設(shè)定所述參考電壓的數(shù)據(jù)和設(shè)定供所述模擬比較器用的所述參考邏輯電平的數(shù)據(jù)；裝在所述測(cè)試器主系統(tǒng)內(nèi)的第三電／光轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述串行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成光信號(hào)；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的第三光／電轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)串行數(shù)據(jù)；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置，它用于接收所述串行數(shù)據(jù)并將該數(shù)據(jù)以并行參考電壓數(shù)據(jù)和以并行參考邏輯電平數(shù)據(jù)的形式輸出；裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的D／A轉(zhuǎn)換器裝置，它用于將所述并行參考電壓數(shù)據(jù)和所述并行參考邏輯電平數(shù)據(jù)分別轉(zhuǎn)換成模擬參考電壓和參考邏輯電平，并把這些轉(zhuǎn)換結(jié)果分別設(shè)置到所述驅(qū)動(dòng)器和所述模擬比較器上；和連接所述第三電／光轉(zhuǎn)換器裝置與所述第三光／電轉(zhuǎn)換器裝置的第三光纖裝置。
11．根據(jù)權(quán)利要求10所述的測(cè)試器，其中所述第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置包括用于保存所接收到的串行信號(hào)數(shù)據(jù)和用于以各種設(shè)置的并行數(shù)據(jù)形式輸出這些信號(hào)的寄存器裝置。
12．根據(jù)權(quán)利要求11所述的測(cè)試器，還包括裝在所述測(cè)試頭內(nèi)的DC測(cè)試部件，在測(cè)試器內(nèi)，所述測(cè)試器主系統(tǒng)將控制信號(hào)以光串行信號(hào)的形式傳送到所述DC測(cè)試部件上，從而控制所述DC測(cè)試部件對(duì)被IC設(shè)備進(jìn)行DC測(cè)試。
13．根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試器，其中所述第二串行數(shù)據(jù)收發(fā)器裝置在所述測(cè)試頭內(nèi)的所述寄存器裝置中儲(chǔ)存了為所述被測(cè)IC設(shè)備的每個(gè)端子設(shè)置的數(shù)據(jù)和DC測(cè)試結(jié)果，并將所述設(shè)置數(shù)據(jù)和所述DC測(cè)試結(jié)果以光串行信號(hào)形式傳送到所述測(cè)試器主系統(tǒng)中。
14．根據(jù)權(quán)利要求3、4、12或13所述的測(cè)試器，還包括設(shè)在所述測(cè)試頭內(nèi)的中繼矩陣變換電路，它用于有選擇地將所述驅(qū)動(dòng)器的輸出端和所述DC測(cè)試部件的輸出端連接到所述被測(cè)IC設(shè)備上。
全文摘要
在用于對(duì)與測(cè)試頭連接的IC設(shè)備進(jìn)行測(cè)試的IC設(shè)備測(cè)試器中,測(cè)試器主系統(tǒng)與測(cè)試頭之間的所有信號(hào)交換都采用光信號(hào)交換,它們之間的信號(hào)傳輸線都由光纖構(gòu)成,因此,連接測(cè)試器主系統(tǒng)與測(cè)試頭的纜線組的直徑可以做得很小,并且可以根據(jù)需要來延長(zhǎng)纜線組的長(zhǎng)度。
文檔編號(hào)G01R31/319GK1206467SQ97191480
公開日1999年1月27日 申請(qǐng)日期1997年11月13日 優(yōu)先權(quán)日1997年11月13日
發(fā)明者岡安俊幸 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛德萬測(cè)試