專利名稱：一種能同時測光透射和光電響應(yīng)特性的扁平真空樣品室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及儀器領(lǐng)域，特別是一種能放在通常的光學(xué)測量儀器和電學(xué)測量儀器上使用的扁平真空樣品室。
紅外材料用于制作紅外探測器之前，必須對其材料的光學(xué)特性和電學(xué)特性進(jìn)行測試篩選，器件制備好以后也需要對其光學(xué)性質(zhì)和光電響應(yīng)性質(zhì)進(jìn)行測量分析，所以在紅外探測器的研制過程中，帶透射窗口的測試杜瓦是非常有用的一種測試工具。但通常這種杜瓦結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，無法放入通常的光學(xué)儀器和電學(xué)儀器上，如紅外顯微鏡等儀器上進(jìn)行測量。又如，在進(jìn)行電學(xué)霍爾測試時，當(dāng)需要加大磁場測量因而需要將電磁鐵兩極拉近，但電磁鐵兩極間的距離卻受到杜瓦尺寸的限制。所以，隨著紅外探測器研制工作的展開、細(xì)化，迫切需要一種扁平的帶透射窗口的測試真空樣品室。
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能放入狹窄區(qū)域使用的可以同時測量光透射和光電特性的扁平真空樣品室。
本實(shí)用新型的目的通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)。
真空樣品室采用扁平式腔體，上、下表面用ZnSe窗口。腔體帶有一個排氣口，用于對腔體抽真空。腔體內(nèi)有一圓柱形致冷塊，致冷塊中心有一通孔，以便測透射時讓光透過。通過往致冷塊內(nèi)輸液氮達(dá)到降溫目的。腔體一側(cè)開有一扇門，測試樣品從門處用樣品架推進(jìn)到致冷塊上。門的內(nèi)側(cè)帶有密封圈，門關(guān)上后靠螺釘擰緊。門上和腔體的旁側(cè)各帶有一螺旋測微頭，用于對樣品架進(jìn)行二維方向的微動調(diào)節(jié)，以便用于小光點(diǎn)測量時控制測量的微區(qū)。門上裝有六個電極引線柱，引線柱與門之間用真空膠密封。腔體內(nèi)樣品的電信號通過門上的電極引線柱輸出。
本實(shí)用新型的有益效果在于因?yàn)閹в型干浯翱诤碗妼W(xué)輸出，而且形狀扁平、體積小，配在紅外顯微鏡上使用可大大拓展儀器使用功能，當(dāng)樣品調(diào)節(jié)到使入射光照射到某一微區(qū)，就可以同時測量這一微區(qū)的光學(xué)透射和光電響應(yīng)，將材料的光學(xué)性質(zhì)和光電響應(yīng)特性直接對應(yīng)起來，對光電材料的研究以及光電探測器的研制非常有意義。本實(shí)用新型如果只作電學(xué)測量，因其形狀扁平，體積小，也比一般測試杜瓦適用范圍廣。如霍耳測試時使用本實(shí)用新型，可以將電磁鐵兩極拉得很近以增大磁場。
本實(shí)用新型
如下圖1是本實(shí)用新型能同時測光透射和光電特性的扁平真空樣品室的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1A-A向的剖視圖。
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)人推薦如下實(shí)施例該真空樣品室包括一個扁平真空腔1，真空腔體用鋁合金制成，表面發(fā)黑處理。腔體含上窗口2和下窗口3，窗口用ZnSe材料制成，窗口分別位于真空腔體1的上頂和下底的中部。腔體帶有一個供抽真空的排氣口4。樣品通過樣品架14從門5處送入，門5用鋁合金制成，位于腔體的側(cè)面。樣品的電極引線通過漆包線連接到門上的引線柱6輸出，門關(guān)上后用螺釘7擰緊。從排氣口4對腔體1進(jìn)行抽真空，當(dāng)測量光學(xué)透射時，光從上窗口2入射，透過被測樣品，再經(jīng)致冷塊8的通孔9、下窗口3射出；當(dāng)測量光電響應(yīng)時，入射光照在樣品上，電信號通過電極引線柱6輸出。致冷塊8用紫銅制作，帶有一液氮輸入口10和氮?dú)饣貧饪?1，在需要液氮溫度測量時使用。門5的內(nèi)側(cè)帶有密封圈12。門上及腔體上的所有結(jié)合部件均用真空密封膠粘合。門上和腔體一側(cè)各帶有一螺旋測微頭13，螺旋測微頭13的旋進(jìn)旋出可以推動樣品架調(diào)節(jié)樣品的被測區(qū)域。
權(quán)利要求1．一種能同時測光透射和光電響應(yīng)特性的扁平樣品室，帶有透射窗口和電輸出引線，包括真空腔體(1)、腔體的上窗口(2)、下窗口(3)、帶電極引線柱(6)的門(5)、帶通孔(9)的致冷塊(8)、緊固螺釘(7)及螺旋測微頭(13)，其特征在于a．所說的真空樣品室形狀扁平，真空腔體(1)用鋁合金制成，表面發(fā)黑處理；b．所說的上窗口(2)和下窗口(3)用ZnSe制成，分別位于真空腔體(1)的上頂和下底的中部；c．所說的帶電極引線柱(6)的門(5)由鋁合金制成，門(5)的內(nèi)側(cè)帶有密封圈(12)，門(5)位于腔體(1)的側(cè)面；d．所說的帶通孔(9)的致冷塊(8)由導(dǎo)熱好的紫銅材料制成，并連有液氮輸入口(10)和回氣口(11)；e．所說的兩個用于調(diào)節(jié)樣品測量區(qū)域的螺旋測微頭(13)分別位于真空腔體(1)的一側(cè)和門(5)上；f．所說的對真空腔體(1)進(jìn)行抽真空的排氣口(4)位于真空腔體(1)的另一側(cè)；g．所說的門上及腔體上的所有結(jié)合部件均用真空密封膠粘合。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種能同時測光透射和光電響應(yīng)特性的扁平真空樣品室,解決了通常杜瓦結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積大因而在一些測試儀器上使用受限制的困難。由真空腔體、ZnSe透射窗口、帶電極引線柱的門和帶通孔的圓柱形致冷塊組成。腔體帶有排氣口,門內(nèi)側(cè)有密封圈,門上的電極引線柱、固定螺釘及螺旋測微頭與門之間用真空膠密封。致冷塊帶有液氮輸入口和回氣口。利用本實(shí)用新型可以同時測量樣品室溫及液氮溫度下的光學(xué)透射和光電響應(yīng)特性。
文檔編號G01M11/02GK2351756SQ9822554
公開日1999年12月1日 申請日期1998年11月5日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月5日
發(fā)明者胡曉寧, 康荔學(xué), 朱文娟 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所