專利名稱：Ic處理機的控制方法及使用該方法的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對應(yīng)IC及承口的種類正確地控制試驗臂的動作的方法及使用這種方法的控制系統(tǒng)，這種試驗臂是在半導(dǎo)體試驗機上使用的IC處理機中把IC元件(以下稱為IC)擠壓在承口上的裝置。
目前，IC處理機與半導(dǎo)體試驗機組合使用。該IC處理機是這樣的一種裝置，即，在由IC裝載機輸送的IC放置在測定部的承口上的狀態(tài)下用試驗臂的推進桿擠壓，在IC的導(dǎo)電部，例如導(dǎo)線腳與承口的導(dǎo)電體接觸后，由半導(dǎo)體試驗機判斷IC特性是否優(yōu)良之后，由卸載機從IC處理機上拿下并容納。
最近，因為作為檢查對象的IC的種類繁多，與之對應(yīng)地要形成多種承口，而使承口多樣化，必須對應(yīng)于不同種類的IC，改變試驗臂的動作特性。因為在半導(dǎo)體試驗機中必須在短時間內(nèi)處理大量的IC，所以也希望IC處理機能夠高速處理每個IC，但越是高速化，由推進桿擠壓時對IC產(chǎn)生的沖擊越大，IC的導(dǎo)線腳和承口導(dǎo)電體的壽命會下降。
作為該解決方法，特開平9-89983號公報揭示了一種處理機，該處理機的構(gòu)成是將各種IC的正確接觸壓力預(yù)先輸入FD(floppy disc)，若操作員指定IC種類，CPU根據(jù)來自FD的數(shù)據(jù)，向控制閥輸送信號，調(diào)整驅(qū)動試驗臂的油壓缸壓力。
另外，特開平10-227834號公報揭示了由脈沖電機驅(qū)動處理機時，對應(yīng)IC的種類可微調(diào)正確擠壓力，速度，IC壓進變位(或稱位移)的機構(gòu)。
但是，對于上述現(xiàn)有的方法，任何一種都必須預(yù)先將每種IC的IC處理機用的數(shù)據(jù)輸入計算機內(nèi)，而且這些數(shù)據(jù)也是依賴于由IC代表的每根導(dǎo)線腳的腳壓，腳數(shù)和承口導(dǎo)電體的允許變位量為基礎(chǔ)的經(jīng)驗值。
然而，對于實際的IC處理機，因為在IC放置于承口上的狀態(tài)下，試驗臂向承口擠壓，所以不能保證由規(guī)定的數(shù)據(jù)所確定的值必然合適。例如，如果為了高速處理IC，而提高試驗臂的壓下速度，則試驗臂接觸IC組件時的沖擊超過預(yù)想值，而且當該沖擊力超過IC導(dǎo)線和承口導(dǎo)電體的彈性限度時，有可能損壞IC組件。
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠?qū)?yīng)于IC及承口的種類，合適地控制試驗臂的擠壓力，動作速度及變位的IC處理機的控制方法及控制系統(tǒng)。
為了完成上述目的，本發(fā)明在IC處理機的承口上擠壓IC的導(dǎo)電部的試驗臂的控制方法中，首先，由上述試驗臂對承口上的IC反復(fù)多次擠壓，用各傳感器檢測出其載荷，加速度或速度，以及試驗臂的前端接觸IC之后到停止的壓進變位量，接著，從各檢測數(shù)據(jù)求得IC和承口的合成彈性常數(shù)，以試驗臂對IC的沖擊力低于允許值方式?jīng)Q定試驗臂的動作。
本發(fā)明的控制系統(tǒng)由載荷傳感器，該載荷傳感器檢測出試驗臂對IC的擠壓力；加速度傳感器，該加速度傳感器檢測上述試驗臂的動作速度或加速度；變位傳感器，該變位傳感器檢測上述試驗臂接觸IC后至停止前的壓進變位量和控制裝置構(gòu)成；該控制裝置依據(jù)各傳感器的數(shù)據(jù)，求出IC及承口的合成彈性常數(shù)，并依據(jù)各數(shù)據(jù)識別作用于IC上的沖擊力是否在允許值以下，且試驗機的綜合動作速度是否是成最快的擠壓力，速度及變位。
下面對附圖進行簡單說明。


圖1本發(fā)明一個實施例的試驗臂控制系統(tǒng)的簡要框圖。
圖2是說明圖1實施例的計算機動作的流程圖。
圖3示出IC被設(shè)在試驗臂前端上的推進桿擠壓在承口上的狀態(tài)的斷面圖。
圖4示出一例試驗對象的立體圖。
圖5是示出與圖4所示的IC配合使用的一例承口的立體圖。
圖6是示出由推進桿經(jīng)IC組件把承口的保護板下壓，圖5示出的承口的導(dǎo)電腳突出狀態(tài)的立體圖。
圖1是本發(fā)明一實施例的IC處理機中的試驗臂控制系統(tǒng)整體構(gòu)成的方框圖。
圖1上半部分是由脈沖電機3，驅(qū)動電路17，試驗臂1，推進桿8，IC5，導(dǎo)電體4及承口2構(gòu)成的IC檢查部的主要部分。在試驗臂1的前端上設(shè)置了使用應(yīng)變儀式載荷傳感器9和應(yīng)變儀式加速度傳感器10。支承承口2的基盤F4上設(shè)置變位傳感器11，該變位傳感器11使用過電流式非接觸變位計。輕質(zhì)，高剛性的鋁制懸臂7作為變位傳感器11用的靶6安裝在推進桿8上方。
下半部分是收集處理各傳感器9-11檢測出的電氣信號的系統(tǒng)，該系統(tǒng)由放大器12，A／D變換器13，計算機14及D／A變換器16構(gòu)成。檢測出的信號經(jīng)數(shù)字化后進行運算處理，在脈沖電機3的動作需要進行調(diào)整時，將控制信號輸入驅(qū)動電路17。下面，更詳細地進行說明。
在圖1中，在框架F1上固定了試驗臂本體1，該本體1具備脈沖電機3。推進桿8安裝在該試驗臂本體1的下端，并可作上下移動。在該推進桿8的前端上，形成有吸著孔20，孔20用于以負壓吸著IC5。吸著孔20通過形成在推進桿8及試驗臂本體1內(nèi)部的空氣孔與壓縮機21聯(lián)通。
因支承板F2連接脈沖電機3，推進桿8經(jīng)載荷傳感器9及框架F3固定在支承板F2上，因此，這些推進桿8，支承板F2、F3通過脈沖電機3一體地上下移動。
推進桿8的下方，設(shè)置了承口2，該承口2安裝在框架F4上，在該承口2的IC容納部上設(shè)計導(dǎo)電體4，該導(dǎo)電體配置成與IC5的導(dǎo)線等的導(dǎo)電體接觸。
在上述框架F2上固定了傳感器臂7，該傳感器臂7由輕質(zhì)，高剛性鋁等材料形成，在其下端上安裝變位傳感器用的靶6。該靶6被安裝在傳感器臂7上面對變位傳感器11的位置上，該變位傳感器11安裝在裝載上述承口2的框架F4上。
上述一對框架F2、F3中，于下方框架F3上設(shè)置加速度傳感器10。
上述試驗臂1的構(gòu)成是在其下端上具有推進桿8，推進桿8以其前端上吸著IC5的狀態(tài)在脈沖電機3作用下上下移動，另外，試驗臂1通過控制脈沖電機3的轉(zhuǎn)數(shù)和轉(zhuǎn)動速度，就可調(diào)整對IC及承口2的擠壓力，動作速度以及IC壓進變位量，如后述那樣，在與承口2剛要接觸前減速，緩解IC和承口2之間的沖擊。
上述載荷傳感器9是用于檢測出對著IC5及承口2的試驗臂1，即推進桿8的擠壓力，在本實施例中，在框架F2、F3之間安裝有應(yīng)變儀式載荷變換器，即負載感應(yīng)器。加速度傳感器10主要檢測試驗臂1下降時的加速度或速度變化，使用應(yīng)變儀式或壓電式傳感器。也可以使用速度傳感器，并由如計算機對其輸出進行微分來代替加速度傳感器。變位傳感器11是檢測被推進桿8吸著的IC5與承口2的導(dǎo)電體4接觸的狀態(tài)下與推進桿分離，放置于承口2上后，從推進桿8再次下降即將接觸IC前的位置到接觸后被壓進到停止的變位量D，在本實施例中使用過電流式非接觸變位計。
下面，參照圖1更詳細地說明用于控制這種構(gòu)成的試驗臂1的動作的控制系統(tǒng)構(gòu)成。
上述脈沖電機3及壓縮機20連接驅(qū)動電路7，各自的轉(zhuǎn)動速度和轉(zhuǎn)數(shù)等受到控制。
另一方面，載荷傳感器9，加速度傳感器10及變位傳感器11各自的輸出端子連接放大器12，被輸入的模擬感應(yīng)信號被放大后，由A／D變換器13變換成數(shù)字信號。該數(shù)字信號被供給到計算機14的CPU18。該計算機14控制包含與該CPU18連接的運算電路15及存儲器M的系統(tǒng)整體的動作。存儲器M包含存儲CPU18的操作程序的ROM及臨時存儲運算電路15運算所用的數(shù)據(jù)的RAM等。
運算電路15的輸出數(shù)據(jù)經(jīng)D／A變換器16變換成模擬信號，作為驅(qū)動信號供給驅(qū)動電路17，該驅(qū)動電路17驅(qū)動脈沖電機3及壓縮機21。
上述系統(tǒng)構(gòu)成是放大器12將來自各傳感器9-11的模擬微弱電信號放大并輸出，A／D變換器13將放大后的模擬信號數(shù)字化并輸送到計算機14。計算機14的CPU18根據(jù)設(shè)定程序由運算電路15運算處理檢測數(shù)據(jù)和存儲器M內(nèi)的存儲數(shù)據(jù)，發(fā)出試驗臂1對應(yīng)于IC和承口2的種類最合適的動作的指令，操作員能夠?qū)χ饌€畫面進行監(jiān)視。
下面，參照圖3至圖6，說明IC5在押到承口2的導(dǎo)電體4上受推進桿8擠壓的狀態(tài)以及IC5及承口2的構(gòu)成。
在圖3中，承口2的基座2a裝載在框架F4上。如圖5，圖6所示，多個導(dǎo)電腳2b直立在基座2a上，導(dǎo)電腳2b的前端被插入保護板2c上形成的多個通孔2d中。
保護板2c受到插在其四個角上的通孔內(nèi)的4根保護柱2e及繞在該保護柱2e周圍的螺施彈簧2f保持，可在基座2a上作上下移動。該螺旋彈簧2f應(yīng)該這樣來設(shè)定，通常時如圖5所示，在導(dǎo)電腳2b不從保護板2c的表面突出的狀態(tài)下，具有托住保護板2c的彈力。
推進桿8的前端吸著來自圖中未示出的IC裝載機的IC5，然后放置到承口2上，在下一步，由推進桿8緊壓承口2上的IC5時，保護板2c頂著螺旋彈簧2f的彈力下降，如圖6所示，導(dǎo)電腳2b就會從保護板2c的表面突出。圖3示出推進桿8的前端吸著的IC5與保護板2c正好接觸的狀態(tài)。
在承口2裝載于框架F4上的狀態(tài)下，該承口2由蓋23、24固定并受到保護。
IC5成為例如如圖4所示那樣各自的多個導(dǎo)線腳5b從平板狀的IC組件5a的4個側(cè)面突出的形狀。
作為確立IC導(dǎo)電體和承口側(cè)的導(dǎo)電體的電接觸的方法，除圖4所示的方法之外，可以采用IC的導(dǎo)線腳和承口的彈性導(dǎo)電體相互以彈性力接觸的彈導(dǎo)電體方式，或者，由形成在IC的一個表面上的多個工作球(handball)構(gòu)成的導(dǎo)電體和埋入橡膠承口內(nèi)的導(dǎo)電粒子構(gòu)成的導(dǎo)電體相互接觸的導(dǎo)電橡膠方式等各種方法。
在本實施例中，雖然說明了IC5被試驗臂1側(cè)的推進桿8吸著的方式，但也可以采用從IC裝載機直接將IC5放置到承口2上，再用推進桿擠壓IC的方式。
這里，說明如上構(gòu)成的IC處理機的動作。
首先，由CPU18利用來自各傳感器9-11的數(shù)據(jù)，按如下方式?jīng)Q定試驗臂1的合適擠壓力，沖擊力，動作速度和壓進變形量。
擠壓力如果設(shè)定IC導(dǎo)線5b的彈性常數(shù)為K1，代表承口2的螺旋彈簧2f的彈性常數(shù)為K2，則IC5和承口2兩者之和的合成常數(shù)K由下列公式K=K(K1+K2)／K1·K2求得。K的值是由擠壓載荷P和變位量δ的比得到，即K=P／δ其中，P是在推進桿8接觸IC5的狀態(tài)下由載荷傳感器9測定的擠壓載荷，δ是在推進桿8接觸IC5之后，IC5在承口2內(nèi)下降規(guī)定距離時的由變位傳感器11測出的IC5的壓進變位量。此時，推進桿8的壓進變位量δ是從IC5接觸保護板2c時的推進桿8的加速度變化從零變化到負的規(guī)定值時刻的推進桿8的位置到推進桿8下降由IC5預(yù)先決定的規(guī)定距離的位置的距離，或者，到擠壓載荷P超過規(guī)定值時，推進桿8由計算機14控制而停止前的距離，是IC5的導(dǎo)線腳5b受承口2的導(dǎo)電腳2d擠壓時的收縮量δ1和支承承口2的主要構(gòu)成導(dǎo)電體4的保護板2c的螺旋彈簧2f的變位量δ2的和(δ=δ1+δ2)。δ1，δ2的大小由各自的彈性常數(shù)決定。
沖擊力在IC5與作為導(dǎo)電體4的保護板2c接觸時產(chǎn)生的沖擊根據(jù)即將接觸前和剛接觸后的時間Δt時的推進桿8下降速度的變化量(ΔV=V1-V0)求得。這里，沖擊力F由F=m．(ΔV／Δt)公式求出。然而，從上式可知，接觸前的推進桿8的下降速度V0相對于試驗臂1的動作速度被充分地減速，而且，如果在被推進桿8的前端吸著的IC5與承口2的保護板2c接觸的前后，保持一定速度，接觸時的沖擊力成為極小或0。這里，ΔV／Δt是加速度，可用加速度傳感器10檢測出。
另一方面，因IC5和承口的保護板2c接觸而產(chǎn)生的反作用力等于由推進桿8施加到IC5上的擠壓力P。該擠壓力P可由設(shè)置在推進桿8上方的載荷傳感器9(負載感應(yīng)器)檢測出。如果把試驗臂1前端的推進桿8的質(zhì)量定為m，則沖擊力F是m和加速度的積，并可從上式求得。實際上，該質(zhì)量m不僅包含推進桿8，還包括與該推進桿8結(jié)合的，由脈沖電機3驅(qū)動的全部部件，例如，框架F2、F3，傳感器9、10，及傳感器臂7等的全部質(zhì)量。
動作速度任意時刻t時的試驗臂1的推進桿8的動作速度V(t)利用傳感器11檢測出的變位數(shù)據(jù)D(t)或由傳感器10檢測出的加速度數(shù)據(jù)A(t)，如下求得。
V(t)={D(t)-D(t-Δt}／ΔtV(t)=V(t-Δt)+A(t)／t壓進變位量壓進變位量δ(t)能夠根據(jù)由變位傳感器11測得的數(shù)據(jù)D(t)按下式求得。
δ(t)=D(t)-D(t-Δt)另一方面，預(yù)定下一次的數(shù)據(jù)輸入計算機14的存儲器M內(nèi)。
(1)試驗臂1(推進桿8)的動作速度V。該速度根據(jù)脈沖電機3的驅(qū)動轉(zhuǎn)數(shù)及轉(zhuǎn)動速度來求得。
(2)試驗臂1的制動位置HB和停止位置HS(參照圖1)。
(3)制動后的推進桿8的下降速度V0。該下降速度也根據(jù)脈沖電機3的驅(qū)動轉(zhuǎn)數(shù)及轉(zhuǎn)動速度求出。
(4)允許壓進變位量δa(IC5被推進桿8壓到承口2的保護板2C上之后，到推進桿8停止前的變位量)。
(5)允許擠壓力Pa(由推進桿8的壓進變位量δ和合成彈性常數(shù)K決定)。
下面，根據(jù)圖2的流程說明CPU18對數(shù)據(jù)處理的過程及運算過程。
首先，試驗臂1的推進桿8將IC5擠壓到承口2的導(dǎo)電體4即保護板2c上，擠壓多次，測量載荷P和變位D，根據(jù)前式計算出IC5和承口2的合成彈性常數(shù)K(步驟S0)。此時的擠壓力設(shè)定在由IC5和承口2所代表的范圍內(nèi)，通過多次擠壓，將其結(jié)果平均，就可減少誤差，得到正確的數(shù)據(jù)。
在接著的步驟S1，將試驗臂1的動作速度V，試驗臂1的制動位置HB及停止位置HS，制動后的下降速度V0，允許壓進變位量δa，以及允許擠壓力Pa與在步驟S0中求得的合成彈性常數(shù)K一起，作為初始條件存儲在存儲器M內(nèi)。
這里，按需要，在步驟S21中，對由驅(qū)動電路17驅(qū)動的脈沖電機3進行調(diào)整。
按這樣作好了起動的準備工作后，在步驟S22中，由操作員按壓起動開關(guān)，開始控制動作，脈沖電機3高速轉(zhuǎn)動，試驗臂1的推進桿8從其初期位置開始急速下降。CPU18以從驅(qū)動電路17輸出的脈沖數(shù)來監(jiān)視該脈沖電機的轉(zhuǎn)數(shù)，當該脈沖數(shù)達到與試驗臂1的制動數(shù)量相當時，將指令輸送給驅(qū)動電路17，對脈沖電機3采取制動措施。
在該階段，最初于步驟S23，CPU18獲取來自各傳感器9-11的輸入數(shù)據(jù)。其結(jié)果，在步驟S3，S4，S5中，將各時刻t的載荷數(shù)據(jù)P(t)，加速度數(shù)據(jù)A(t)，變位數(shù)據(jù)D(t)被存儲在儲存器M內(nèi)。
然后，利用于步驟S4中獲取的加速度數(shù)據(jù)A(t)，在步驟S7中求出推進桿8的下降速度V1(t)，同時，利用于步驟S5中獲取的變位數(shù)據(jù)D(t)，于步驟S8中求出推進桿8的下降速度V2。
于步驟S9中確認這些速度V1(t)、V2(t)是否相等，如果在允許誤差范圍內(nèi)，然后，將其中的一個速度數(shù)據(jù)，例如V2(t)在下一步驟S10中與設(shè)定的制動后的下降速度V0比較。如果兩者的差在正常范圍內(nèi)，則進行下一步動作。
當測出的速度比初期設(shè)定值V0大時，于步驟S11中設(shè)定制動位置HB的變更，從步驟S24跳到步驟S2把制動位置HB變更到例如更接近于承口2的位置。
在該制動位置HB變更后，于步驟S4，S5，S6，S7，S8，S9，S10再次獲取數(shù)據(jù)，對速度進行比較。
另一方面，與之平行地，于步驟S25中由載荷傳感器9直接求出IC5和承口2的接觸壓力(沖擊力)，并作為P1(t)，同時，于步驟S6中，根據(jù)推進桿8的質(zhì)量m和加速度A(t)算出一個值作為P2(t)，于步驟S12中對兩者比較。即使兩者一致，也多少有些不同，并于步驟S13中比較該載荷，例如P1和存儲器M內(nèi)的允許擠壓力Pa。
其結(jié)果，如果P(t)≤Pa，即沖擊力在允許值內(nèi)，則進入下一步動作，如果P(t)大于Pa，則于步驟S14減少脈沖電機3的轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)數(shù)或轉(zhuǎn)速，再返回步驟S24。
另外，于步驟S5得到的變位數(shù)據(jù)D(t)在步驟S15中，作為IC5相對于承口2的壓進變位數(shù)據(jù)D(t)與存儲器M內(nèi)的允許值δa比較，數(shù)據(jù)D(t)超過δa值時，在步驟S16中，設(shè)定試驗臂1的推進桿8的停止位置的變更，從步驟S24返回到步驟S2，進行該停止位置HS的變更。該數(shù)據(jù)HS的變更也可以改變試驗臂1的推進桿8的沖程，即脈沖電機3從開始到停止的總轉(zhuǎn)數(shù)的設(shè)定。
因為操作員能夠通過例如與CPU18連接的監(jiān)視器30確認步驟S10中的推進桿8的動作速度是否良好和步驟S13、S15中的動作狀態(tài)，所以如果最初的設(shè)定值合適，就繼續(xù)保持這樣使用，如果不合適，則加以修正。在滿足步驟S13、S15的條件范圍內(nèi)，通過增大試驗臂1的動作速度V，就能夠加大試驗臂1對IC5的處理能力，因為被試驗臂1前端的推進桿8吸著的IC5與承口2接觸后，即將進一步下降之前減速到V0，則即使動作速度V稍有增加，也能夠有效地抑制沖擊。
如上所述，通過把本發(fā)明的控制方法及計測控制系統(tǒng)組裝到IC處理機上，相對于不同種類的IC和承口，在短時間內(nèi)，可使試驗臂1合適地動作。
根據(jù)本發(fā)明的IC的控制方法及利用方法的控制系統(tǒng)是為了在IC元件試驗時，使設(shè)計在IC元件表面上的導(dǎo)電體和半導(dǎo)體檢查裝置的作為檢查探針的導(dǎo)電體良好接觸使用，本發(fā)明能夠迅速、正確地進行這種操作，因此，能夠迅速正確地對大量IC元件在出廠時進行檢查。
權(quán)利要求
1．一種試驗臂的控制方法，是擠壓被輸送到IC處理機的承口內(nèi)的IC，其特征在于由上述試驗臂對承口上的IC反復(fù)擠壓多次，用各傳感器檢測其載荷，加速度或速度，及IC的壓進變位量；根據(jù)各檢測出的數(shù)據(jù)，預(yù)先求出IC及承口的合成彈性常數(shù)；并且利用所求出的合成彈性常數(shù)，控制試驗臂的動作，使得試驗臂對IC的沖擊力為允許值以下。2．一種IC處理機的控制方法，其特征在于該方法具有將放置在承口上的IC被試驗臂的推進桿擠壓時的擠壓力與預(yù)先設(shè)定的允許擠壓力比較的步驟和根據(jù)該比較結(jié)果，控制試驗臂的動作，以便確保低于上述允許擠壓力。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的IC處理機的控制方法，其特征在于具有根據(jù)承口和IC的合成彈性常數(shù)預(yù)先求出上述預(yù)先設(shè)定的允許擠壓力的步驟。
4．根據(jù)權(quán)利要求2所述的IC處理機的控制方法，其特征在于包含在上述推進桿接觸上述承口上的IC前后控制上述推進桿使其動作速度保持一定的步驟。
5．根據(jù)權(quán)利要求3所述的IC處理機的控制方法，其特征在于根據(jù)上述承口和IC的合成彈性常數(shù)求出允許擠壓力的步驟包含對利用上述推進桿反復(fù)擠壓上述承口上的IC多次后得到的合成彈性常數(shù)求出平均值的步驟。
6．一種試驗臂的測試控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有檢測試驗臂對IC的擠壓力的載荷傳感器；檢測上述試驗臂的動作速度或加速度的加速度傳感器；檢測上述試驗臂與IC接觸后至停止前的壓進變位量的變位傳感器；和根據(jù)來自各傳感器的數(shù)據(jù)，求出IC及承口的合成彈性常數(shù)的同時，根據(jù)各數(shù)據(jù)，控制試驗臂的驅(qū)動，以使作用于IC上的沖擊力在允許值以下，且試驗臂的動作為最快速的擠壓力，速度及變位。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測試控制系統(tǒng)，其特征在于上述控制裝置具有存儲器，該存儲器預(yù)先存儲作為初期條件的試驗臂的動作速度，試驗臂的制動位置及停止位置，制動后的試驗臂的動作速度，允許壓進變位量和允許擠壓力。
8．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測試控制系統(tǒng)，其特征在于由上述控制裝置根據(jù)IC的壓進變位量和上述合成彈性常數(shù)求得上述允許值。
9．根據(jù)權(quán)利要求8所述的測試控制系統(tǒng)，其特征在于包含使上述試驗臂以高速移動到上述制動位置，并從上述制動位置以規(guī)定的低速移動上述試驗臂。
10．根據(jù)權(quán)利要求6所述的測試控制系統(tǒng)，其特征在于還具有顯示由上述控制裝置的控制內(nèi)容的監(jiān)視器。
11．根據(jù)權(quán)利要求7所述的測試控制系統(tǒng)，其特征在于具有把上述設(shè)定的初期條件與來自上述各傳感器的測定數(shù)據(jù)比較的裝置和根據(jù)比較結(jié)果，在上述測定值與初期條件不同時修正上述初期條件的裝置。
全文摘要
本發(fā)明根據(jù)IC和承口的種類合適地控制試驗臂的擠壓力,運行速度和變位量。為了達到該目的,該方法包括檢測載荷,加速度或速度,和IC的壓進變位量,以便于將由試驗臂(1)的推進桿(8)施加到承口(2)內(nèi)的IC上的擠壓力與由承口(2)和IC(5)的合成彈性常數(shù)確定的允許擠壓力比較的步驟和根據(jù)該比較結(jié)果控制試驗臂的移動,以便于使擠壓力低于允許擠壓力的步驟。
文檔編號G01R31/26GK1292092SQ99803484
公開日2001年4月18日 申請日期1999年12月28日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月31日
發(fā)明者大野友則, 栗原貢 申請人:株式會社大東