熱器根據(jù)感溫部的檢測(cè)結(jié) 果對(duì)傳感器元件進(jìn)行加熱W使傳感器元件的溫度恒定。因此，傳感器的檢測(cè)結(jié)果不易受到 環(huán)境溫度的影響。并且，還在裝配有傳感器的電路板中裝配了第一電子元件，并且在電路板 中形成有沿著與連接傳感器和第一電子元件的假想線交差的方向延伸的狹縫。因此，在電 路板中的裝配有傳感器的區(qū)域和裝配有第一電子元件的區(qū)域之間設(shè)置有利用了狹縫的隔 熱部，因此抑制了裝配有傳感器的區(qū)域與裝配有第一電子元件的區(qū)域之間的熱傳遞。因此， 電路板中的裝配有傳感器的區(qū)域的溫度不易變化，由此能夠通過加熱器精確地控制傳感器 元件的溫度。因此，即使環(huán)境溫度變化也能夠獲得穩(wěn)定的檢測(cè)精度。
【附圖說明】
[0027] 圖1(a)、圖1化）、圖1(c)為裝設(shè)了應(yīng)用本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)編碼器的馬達(dá)的說明圖。
[0028] 圖2為應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的立體圖。
[0029] 圖3為應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的分解圖。
[0030] 圖4為具有應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的旋轉(zhuǎn)編碼器的說明圖。
[0031] 圖5 (a)、圖5化）、圖5 (C)、圖5 (d)為示出了應(yīng)用本發(fā)明的編碼器的檢測(cè)原理等的 說明圖。
[0032] 圖6 (a)、圖6化）、圖6 (C)為用于應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的磁傳感器的說明 圖。
[0033] 圖7為示出了在應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的控制部構(gòu)成的溫度控制部的簡(jiǎn)要 結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0034] 圖8(a)、圖8(b)為用于應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的電路板的說明圖。
[00巧]圖9 (a)、圖9化）、圖9 (C)為用于應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的保持架的說明圖。
[0036] 圖10為用于應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的電路板的俯視圖。
[0037] 圖11為用于應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置的其他電路板的說明圖。
[0038] 圖12為具有其他實(shí)施方式的第二電路板支承部的磁傳感器裝置的分解圖。
[0039] 圖13為第一電路板支承部與電路板之間的粘接部位的剖視圖。
[0040] (符號(hào)說明）
[00川 1…旋轉(zhuǎn)編碼器
[004引 3…磁傳感器
[0043] 4…磁阻元件（傳感器元件）
[0044] 6…保持架
[0045] 10…磁傳感器裝置
[004引 20…磁鐵
[0047] 21…磁化面
[004引 40…元件基板
[0049] 40a----側(cè)的面
[0050] 41-44…磁感膜
[0051] 45…磁感區(qū)域
[00閲 47…溫度監(jiān)測(cè)用電阻薄膜（感溫部）
[0053] 48…加熱用電阻薄膜（加熱器）
[0054] 50…電路板
[005引 50a…內(nèi)側(cè)裝配區(qū)域
[0056] 5化…外側(cè)裝配區(qū)域
[0057] 50c…電路板的外緣
[0058] 52、53 …狹縫
[0059] 54…貫通孔
[0060] 55…檢測(cè)端子
[0061] 56a、5化、56d…第一貫通部
[0062] 57a、5化…第二貫通部（缺口）
[0063] 58、59 …螺釘
[0064] 58a、59a …螺釘頭
[0065] 58b、59b …軸部
[0066] 60…筒部
[0067] 62…凹部
[0068] 63a、63b、63c …突部
[0069] 64a、64b、64c …孔
[0070] 66a、6化、64d…電路板支承部（第一電路板支承部）
[0071] 66c…電路板支承部（第H電路板支承部）
[0072] 67a、6 化、67d …軸部
[0073] 68a、68b…電路板支承部（第二電路板支承部）
[0074] 69a、69b …筒部
[00巧]81、82…霍爾元件 [007引 83…開關(guān)元件
[0077] 84…電阻
[0078] 85…運(yùn)算放大器
[0079] 90…放大部
[0080] 91…微型計(jì)算機(jī)（第一電子元件）
[0081] 92…半導(dǎo)體裝置（第二電子元件）
[0082] 93…晶體管
[0083] 94…連接器
[0084] 95、96…放大部
[00財(cái) 97…轉(zhuǎn)換部
[0086] 100…馬達(dá)
[0087] 110…馬達(dá)本體
[008引 120…輸出軸
[0089] 130…馬達(dá)殼體
[0090] 140…編碼器殼體
[00川 150…電路板
[0092] 190…螺釘
[009引 206…保持架
[0094] 250…電路板
[0095] 257a、25化…貫通部
[0096] 268a、268b…電路板支承部（第二電路板支承部）
[0097] 269a、269b …固定孔
[0098] 270…末端面
[009引 300…彈性粘接劑
[0100] 401、402、403 …絕緣膜
[0101] 48U482…配線部分
[0102] 501----側(cè)的面
[0103] 502…另一側(cè)的面
[0104] 503…抵接部
[0105] 661…端面
[0106] 心??軸線
[0107] L1----側(cè)
[010引 L2…另一側(cè)
【具體實(shí)施方式】
[0109] W下，作為應(yīng)用本發(fā)明的傳感器裝置，W在馬達(dá)中用于磁式旋轉(zhuǎn)編碼器的磁傳感 器裝置為中也參照附圖進(jìn)行說明。另外，在W下的說明中，將馬達(dá)軸線L方向上的與突出 有輸出軸120的一側(cè)相反的一側(cè)（輸出相反側(cè)）作為一側(cè)11，將突出有輸出軸120的一側(cè) (輸出側(cè)）作為另一側(cè)L2。
[0110] (馬達(dá)的結(jié)構(gòu)）
[0111] 圖1(a)、圖1化）、圖1(c)為裝設(shè)了應(yīng)用本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)編碼器1的馬達(dá)100的說明 圖，圖1(a)為從輸出側(cè)觀察到的馬達(dá)100的立體圖，圖1(b)為從與輸出軸相反的一側(cè)（輸 出相反側(cè)）觀察到的馬達(dá)100的立體圖，圖1 (C)為從輸出相反側(cè)觀察到的從馬達(dá)100取下 編碼器殼體140后的狀態(tài)的立體圖。并且，圖2為從軸線L方向的一側(cè)L1觀察到的磁傳感 器裝置10的立體圖，圖3為傳感器裝置10的立體圖。另外，在圖1 (C)中，省略表示裝配于 電路板50的軸線L方向的一側(cè)L1的面的部件等。并且，在圖2 W及圖3中，除后述的連接 器94之外，省略表示裝配于電路板50的軸線L方向的一側(cè)L1的面的部件等。
[0112] 圖1(a)、圖1化）、圖1(c)所示的馬達(dá)100具有馬達(dá)本體110、設(shè)置于馬達(dá)本體110 的輸出相反側(cè)的磁式旋轉(zhuǎn)編碼器1，旋轉(zhuǎn)編碼器1被編碼器殼體140覆蓋。在本實(shí)施方式 中，旋轉(zhuǎn)編碼器1具有與馬達(dá)100的輸出軸120 -同旋轉(zhuǎn)的磁鐵（未圖示）和在馬達(dá)軸線 方向的輸出相反側(cè)與磁鐵對(duì)置的磁傳感器裝置10。
[011引如圖1(c)、圖2 W及圖3所示，磁傳感器裝置10具有固定于馬達(dá)殼體130的保持 架6和固定于保持架6的電路板50,在電路板50中靠軸線L方向的另一側(cè)L2的面裝配有 磁傳感器3。所述磁傳感器裝置10 W及保持架6的詳細(xì)結(jié)構(gòu)在后文敘述。
[0114] (旋轉(zhuǎn)編碼器的結(jié)構(gòu)）
[0115] 圖4為具有應(yīng)用本發(fā)明的磁傳感器裝置10的旋轉(zhuǎn)編碼器1的說明圖。圖5(a)、 圖5化）、圖5(c)、圖5(d)為示出了應(yīng)用本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)編碼器1的檢測(cè)原理等的說明圖，圖 5(a)為示出了 A相用的磁感膜的電連接結(jié)構(gòu)的說明圖，圖5(b)為示出了 B相用的磁感膜的 電連接結(jié)構(gòu)的說明圖，圖5(c)為從磁傳感器3輸出的信號(hào)的說明圖，圖5(d)為示出了所述 信號(hào)與磁鐵20(輸出軸120)的角度位置（電角）之間的關(guān)系的說明圖。
[0116] 如圖4所示，磁鐵20的在周向上被磁化成一個(gè)N極和一個(gè)S極的磁化面21朝向 軸線L方向的一側(cè)L1。磁傳感器裝置10具有磁傳感器3,所述磁傳感器3具有在軸線L方 向的一側(cè)L1與磁鐵20的磁化面21對(duì)置的磁阻元件4 (傳感器元件）。磁傳感器裝置10具 有半導(dǎo)體裝置92,所述半導(dǎo)體裝置92具有將磁傳感器3的輸出增幅的放大部90 (放大部 90 (+A)、放大部90 (-A)、放大部90 (+B)、放大部90 (-B)) W及模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換部97。并且，在 磁傳感器裝置10中設(shè)置有微型計(jì)算機(jī)91，所述微型計(jì)算機(jī)91具有信號(hào)處理部，所述信號(hào)處 理部根據(jù)利用半導(dǎo)體裝置92進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換而得到的信號(hào)，檢測(cè)磁鐵20的旋轉(zhuǎn)角度位 置和旋轉(zhuǎn)速度等。并且，磁傳感器裝置10在與磁鐵20對(duì)置的位置具有第一霍爾元件81和 第二霍爾元件82,所述第二霍爾元件82位于周向上相對(duì)于第一霍爾元件81相差90度機(jī)械 角的部位，在半導(dǎo)體裝置92中設(shè)置有與第一霍爾元件81對(duì)應(yīng)的放大部95和與第二霍爾元 件82對(duì)應(yīng)的放大部96。
[0117] 磁傳感器3具有磁阻元件4。磁阻元件4具有元件基板40、相對(duì)于磁鐵20的相位 彼此具有90度相位差的兩相磁感膜（A相（SIN)磁感膜W及B相（C0巧磁感膜）。在所述 磁阻元件4中，A相磁感膜具有W相差180度相位差檢測(cè)輸出軸120的移動(dòng)的+A相（Sm+) 的磁感膜43和-A相（SIN-)的磁感膜41，B相磁感膜具有W相差180度相位差檢測(cè)輸出軸 120的移動(dòng)的+B相（C0S+)的磁感膜44 W及-B相（C0S-)的磁感膜42。
[0118] +A相磁感膜43 W及-A相磁感膜41構(gòu)成圖5(a)所示的橋接電路，一端與電源端 子VccA連接，另一端與接地端子（GNDA)連接。在+A相磁感膜43的中點(diǎn)位置設(shè)置有輸出 +A相的輸出端子（+A)，在-A相磁感膜41的中點(diǎn)位置設(shè)置有輸出-A相的輸出端子（-A)。 并且，+B相磁感膜44 W及-B相磁感膜42與+A相磁感膜43 W及-A相磁感膜41相同，構(gòu) 成圖5(b)所示的橋接電路，且一端與電源端子VccB連接，另一端與接地端子（GNDB)連接。 在+B相磁感膜44的中點(diǎn)位置設(shè)置有輸出+B相的輸出端子（+B)，在-B相磁感膜42的中點(diǎn) 位置設(shè)置有輸出-B相的輸出端子（-B)。另外，在圖5中，為方便起見，分別記載了 A相用的 電源端子VccA W及B相用的電源端子VccB，但A相用的電源端子VccA W及B相用的電源 端子VccB也可通用。并且，在圖5中，為方便起見，分別記載了 A相用的接地端子GNDA W 及B相用的接地端子GNDB，但A相用的接地端子GNDA W及B相用的接地端子GNDB也可通 用。
[0119] 如圖4所示，磁傳感器3配置在磁鐵20 W及穿過輸出軸120的中也的軸線L(旋 轉(zhuǎn)中也軸線）上，并且，磁傳感器3 W各磁感膜41-44的阻值在飽和靈敏度區(qū)域W上的磁場(chǎng) 強(qiáng)度，檢測(cè)在磁化面21的內(nèi)側(cè)改變方向的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。
[0120] 在本實(shí)施方式的磁傳感器裝置10中設(shè)置有微型計(jì)算機(jī)91，所述微型計(jì)算機(jī)91執(zhí) 行信號(hào)處理，對(duì)從