壓力傳送器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及壓力傳送器，特別是涉及較佳地適合于在放射線環(huán)境、高溫環(huán)境下使 用的壓力傳送器。
【背景技術(shù)】
[0002] 壓力傳送器利用填充于導(dǎo)壓路內(nèi)的封入液將由隔膜承受的流體的壓力傳遞到壓 力傳感器，向外部傳送由壓力傳感器檢測(cè)到的電信號(hào)，有測(cè)量絕對(duì)壓力的壓力傳送器和測(cè) 量壓差的壓力傳送器。
[0003] 該些壓力傳送器被用于W原子能設(shè)備為首的石油精制設(shè)備、化學(xué)設(shè)備等的處理流 體的各種測(cè)量，從確保設(shè)備的安全和確保制品的質(zhì)量的點(diǎn)出發(fā)，例如要求±1%的精度?？?是，在長(zhǎng)期的使用中，處理流體所含有的氨（氨原子、氨分子、氨離子）的一部分透過隔膜， 成為氣泡而積存在導(dǎo)壓路中。由此，導(dǎo)壓路內(nèi)部的壓力上升，壓力傳遞特性劣化，因此難W 保持測(cè)量精度。
[0004] 因此，W往W來，抑制透過隔膜而侵入到壓力傳送器的內(nèi)部的氨的影響的各種技 術(shù)被提出。例如，在下述專利文獻(xiàn)1中公開了 W下的技術(shù)，即，通過在隔膜中的、與封入液接 觸的一面形成氨吸藏合金膜，使氨吸藏合金膜捕獲透過了隔膜的氨，根據(jù)該樣的技術(shù)，能夠 抑制封入液中的氣泡的產(chǎn)生而維持壓力傳遞特性。
[0005] 專利文獻(xiàn)1 ;日本特開2005 - 114453號(hào)公報(bào)
[0006] 可是，上述的W往技術(shù)是用于降低從壓力傳送器的外部透過了隔膜的氨的影響的 技術(shù)，沒有考慮在壓力傳送器的內(nèi)部所產(chǎn)生的氣體、和透過隔膜侵入到內(nèi)部的氨。目P，在放 射線環(huán)境、高溫環(huán)境等特殊環(huán)境下，被填充在壓力傳送器的導(dǎo)壓路內(nèi)的封入液因放射線和 熱而分解，產(chǎn)生氨、碳化氨類的氣體。由于所產(chǎn)生的氣體一旦超過封入液的溶解度就會(huì)氣泡 化，所W即使該樣壓力傳送器中的壓力傳遞特性也會(huì)劣化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠可靠地抑制導(dǎo)壓路內(nèi)的氣泡的產(chǎn)生，由此 能夠長(zhǎng)期維持壓力傳遞特性的壓力傳送器。
[0008] 用于解決課題的手段
[0009] 為了達(dá)到該樣的目的的本發(fā)明的壓力傳送器具備：管狀的導(dǎo)壓路；封入液，被填 充在上述導(dǎo)壓路內(nèi)；受壓隔膜，在閉塞上述導(dǎo)壓路的一方的開口的狀態(tài)下被設(shè)置，承受測(cè)量 流體的壓力；W及壓力傳感器，在被暴露于上述封入液的狀態(tài)下設(shè)于上述導(dǎo)壓路的另一方 的開口，上述封入液是含有苯基的娃油，該壓力傳送器具有設(shè)于上述導(dǎo)壓路的內(nèi)部的氨吸 藏材料。
[0010] 發(fā)明的效果
[0011] 根據(jù)如W上那樣的結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的壓力傳送器，抑制由于導(dǎo)壓路內(nèi)的封入液的分 解而造成的氣體的產(chǎn)生，并且通過封入液中的氨被氨吸藏材料吸藏，也抑制氣體的產(chǎn)生，因 此，能夠謀求導(dǎo)壓路內(nèi)部的壓力的穩(wěn)定化，能夠長(zhǎng)期維持壓力傳遞特性。
【附圖說明】
[0012] 圖1是表示第1實(shí)施方式的壓力傳送器的結(jié)構(gòu)的圖。
[0013] 圖2是說明基于氨吸藏材料的氨吸藏的圖。
[0014] 圖3是表示導(dǎo)壓路中的氨吸藏材料的配置例的圖。
[0015] 圖4是說明伽馬射線對(duì)封入液的照射試驗(yàn)的圖。
[0016] 圖5是表示伽馬射線的累計(jì)福射劑量和封入液中的氣體產(chǎn)生量的關(guān)系的曲線圖。
[0017] 圖6是說明基于伽馬射線的照射的封入液的分解和基于氨吸藏材料的氨吸藏的 圖。
[0018] 圖7是表示第2實(shí)施方式的壓力傳送器的結(jié)構(gòu)的圖。
[0019] 圖8是表示受壓隔膜中的氨透過防止層的配置例的圖。
[0020] 圖9是表示第3實(shí)施方式的壓力傳送器的結(jié)構(gòu)的圖。
[0021] 圖10是表示第4實(shí)施方式的壓力傳送器的結(jié)構(gòu)的圖。
[0022] 圖11是表示原子能設(shè)備中的壓差傳送器的應(yīng)用例的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023] W下，基于附圖，按照W下所示的順序說明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0024] 1.第1實(shí)施方式（壓差測(cè)量用的壓力傳送器）
[00巧]2.第2實(shí)施方式（設(shè)有氨透過防止層的壓差測(cè)量用的壓力傳送器）
[0026] 3.第3實(shí)施方式（絕對(duì)壓力測(cè)量用的壓力傳送器）
[0027] 4.第4實(shí)施方式（具備中間隔膜的壓力傳送器）
[002引 5.第5實(shí)施方式（原子能設(shè)備中的壓力傳送器的應(yīng)用例）
[002引《第1實(shí)施方式》
[0030] (壓差測(cè)量用的壓力傳送器）
[0031] 圖1是表示第1實(shí)施方式的壓力傳送器的結(jié)構(gòu)的圖。該圖所示的壓力傳送器1用 于W各種設(shè)備中的處理流體為測(cè)量流體的壓力測(cè)量，測(cè)量2點(diǎn)間（高壓側(cè)和低壓側(cè)）的壓 力差。
[0032] <壓力傳送器1的結(jié)構(gòu)>
[0033] 該壓力傳送器1具備；與高壓側(cè)的測(cè)量流體印對(duì)應(yīng)地設(shè)置的導(dǎo)壓路11 及與比 該測(cè)量流體印靠低壓側(cè)的測(cè)量流體F1對(duì)應(yīng)地設(shè)置的導(dǎo)壓路11'。在上述一對(duì)導(dǎo)壓路11、 11'的內(nèi)部填充有封入液L。各導(dǎo)壓路ll、ir的一方的開口分別由受壓隔膜13、13'閉塞。 此外，該壓力傳送器1具備；共同地設(shè)于各導(dǎo)壓路ii、ir的另一方的開口的1個(gè)壓力傳感 器15 及相對(duì)于該壓力傳感器15并列設(shè)置的1個(gè)中也隔膜17。并且，特別是本第1實(shí) 施方式的壓力傳送器1特征性的結(jié)構(gòu)在于，封入液L由含有苯基的娃油構(gòu)成、W及在導(dǎo)壓路 ii、ir的內(nèi)部設(shè)有氨吸藏材料。
[0034] W下，按照導(dǎo)壓路封入液U受壓隔膜13、13'、壓力傳感器15、中也隔膜 17、氨吸藏材料的順序說明設(shè)于壓力傳送器1的各構(gòu)成要素的詳情。
[003引[導(dǎo)壓路ii、ir]
[0036] 導(dǎo)壓路ll、ir在各自的一方的開口部分具備擴(kuò)大了開口徑的受壓室llaUla'。 由該受壓室llaUla'擴(kuò)大的導(dǎo)壓路ll、ir的開口部分分別由受壓隔膜13、13'閉塞。各 受壓室llaUla' W不會(huì)妨礙基于受壓隔膜13、13'的受壓的動(dòng)作的內(nèi)部形狀形成。
[0037] 此外，導(dǎo)壓路ll、ir在與由受壓隔膜13、13'閉塞的一側(cè)相反側(cè)的另一方的開口 部分，具備擴(kuò)大了其開口徑的過大壓的放壓室nb、nb'。在導(dǎo)壓路中其開口徑被擴(kuò) 大了的形狀的放壓室1化、1化'夾持1個(gè)中也隔膜17地被配置，成為由該中也隔膜17分?jǐn)?的狀態(tài)。各放壓室nb、ub' W不會(huì)妨礙基于中也隔膜17的受壓的動(dòng)作的內(nèi)部形狀形成。
[0038] 另外，導(dǎo)壓路ii、ir具有分支的路徑，成為在該分支了的導(dǎo)壓路ii、ir的前端側(cè) 的開口設(shè)有壓力傳感器15的結(jié)構(gòu)。在該里，例如與高壓側(cè)的測(cè)量流體印對(duì)應(yīng)地設(shè)置的導(dǎo) 壓路11具有從放壓室Ub的壁部分支的路徑。另一方面，與低壓側(cè)的測(cè)量流體F1對(duì)應(yīng)地 設(shè)置的導(dǎo)壓路11'具有在放壓室Ub'的近前分支的路徑。
[0039] 在導(dǎo)壓路ll、ir中，該些分支了的路徑的前端側(cè)的開口夾持1個(gè)壓力傳感器15 地被配置，成為導(dǎo)壓路Ii、ir被該壓力傳感器15分?jǐn)嗔说臓顟B(tài)。
[0040] [封入液L]
[0041] 封入液L被裝入像W上那樣被閉塞的一對(duì)導(dǎo)壓路11、1 r內(nèi)，被填充到包括受壓室 llaUla'、放壓室nb、Ub'和分支的壓力傳感器15的部分在內(nèi)的導(dǎo)壓路ll、ir內(nèi)。被填 充在上述一對(duì)導(dǎo)壓路ii、ir內(nèi)的封入液L也可W是同一種類。該封入液L是含有苯基的 娃油，具體而言是下述構(gòu)造式（1)所示的苯甲基娃油。苯基是具有結(jié)合力高的二重結(jié)合構(gòu) 造的基。
[004引化學(xué)式1
[0043]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種壓力傳送器，其特征在于， 該壓力傳送器具備： 管狀的導(dǎo)壓路； 封入液，被填充在上述導(dǎo)壓路內(nèi)； 受壓隔膜，在閉塞上述導(dǎo)壓路的一方的開口的狀態(tài)下被設(shè)置，承受測(cè)量流體的壓力；以 及 壓力傳感器，在被暴露于上述封入液的狀態(tài)下設(shè)于上述導(dǎo)壓路的另一方的開口， 上述封入液是含有苯基的硅油， 該壓力傳送器具有設(shè)于上述導(dǎo)壓路的內(nèi)部的氫吸藏材料。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述硅油是苯甲基硅油。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫吸藏材料吸藏氫和在上述導(dǎo)壓路內(nèi)產(chǎn)生了的碳化氫中的氫原子。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫吸藏材料沿著上述導(dǎo)壓路的配設(shè)方向被配置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫吸藏材料被混合在上述封入液中。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫吸藏材料被設(shè)于上述導(dǎo)壓路的內(nèi)壁。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫吸藏材料被敷設(shè)在上述導(dǎo)壓路內(nèi)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫吸藏材料是鈀、鎂、釩、鈦、錳、鋯、鎳、鈮、鈷、鈣、或它們的合金。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 在上述受壓隔膜上設(shè)有氫透過防止層。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫透過防止層被設(shè)為上述受壓隔膜的上述導(dǎo)壓路側(cè)的表面層或該受壓隔膜的中 間層。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫透過防止層由氫吸藏材料或氫遮斷材料構(gòu)成。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述氫透過防止層由金、銀、銅、白金、鋁、鉻、鈦或它們的合金構(gòu)成。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 被填充上述封入液并且一方的開口被上述受壓隔膜閉塞的一對(duì)上述導(dǎo)壓路，在從兩面 側(cè)夾持上述壓力傳感器的狀態(tài)下被配置。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓力傳送器，其特征在于， 該壓力傳送器具有相對(duì)于上述一對(duì)導(dǎo)壓路與上述壓力傳感器并列地被夾持的中心隔 膜，在該中心隔膜上設(shè)有上述氫吸藏材料。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳送器，其特征在于， 上述導(dǎo)壓路具備被串聯(lián)連接的多個(gè)管體部分、和設(shè)于該各管體部分的連接部的中間隔 膜， 在上述中間隔膜上設(shè)有上述氫吸藏材料。
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠可靠地抑制導(dǎo)壓路內(nèi)的氣泡的產(chǎn)生，由此能夠長(zhǎng)期維持壓力傳遞特性的壓力傳送器。壓力傳送器(1)具備：管狀的導(dǎo)壓路(11、11’)；被填充在導(dǎo)壓路(11、11’)內(nèi)的封入液(L)；在閉塞導(dǎo)壓路(11、11’)的一方的開口的狀態(tài)下被設(shè)置，承受測(cè)量流體(Fh、Fl)的壓力的受壓隔膜(13、13’)；以及在被暴露于封入液(L)的狀態(tài)下設(shè)于導(dǎo)壓路(11、11’)的另一方的開口的壓力傳感器(15)，封入液(L)是含有苯基的硅油，壓力傳送器(1)還具有設(shè)于導(dǎo)壓路(11、11’)的內(nèi)部的氫吸藏材料。
【IPC分類】G01L7-08
【公開號(hào)】CN104568285
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410551141
【發(fā)明人】有田節(jié)男, 桑名諒, 馬場(chǎng)淳史, 伏見篤, 新間大輔, 花見英樹, 原勛, 伊藤崇
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社日立制作所
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年10月17日
【公告號(hào)】EP2863198A2, EP2863198A3, US20150107365