壽命預(yù)測(cè)方法、壽命預(yù)測(cè)裝置、壽命運(yùn)算裝置、旋轉(zhuǎn)機(jī)械的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及壽命預(yù)測(cè)方法、壽命預(yù)測(cè)裝置、壽命預(yù)測(cè)系統(tǒng)、壽命運(yùn)算裝置以及旋轉(zhuǎn) 機(jī)械。
【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體裝置、機(jī)床等各種旋轉(zhuǎn)機(jī)械中具備由馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。而且，旋轉(zhuǎn)機(jī) 構(gòu)因摩擦、附著物而性能惡化，最終變得功能不全。將老化惡化而變得功能不全稱(chēng)為壽命。 在干式泵中，制造中途裝置失去功能時(shí)制造中途的加工品變得不合格。因此，為了在裝置達(dá) 到壽命前維護(hù)裝置，而設(shè)計(jì)一種診斷裝置的壽命的方法。
[0003] 專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)有診斷裝置的壽命的方法。根據(jù)該方法，在裝置設(shè)置有檢測(cè)振 動(dòng)的傳感器。而且，對(duì)振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析，并運(yùn)算功率譜。接下來(lái)，從功率譜選定基準(zhǔn) 振動(dòng)的頻率，并作成基準(zhǔn)振動(dòng)的功率譜的時(shí)間序列數(shù)據(jù)。在功率譜的值超過(guò)判定值時(shí)，判斷 出接近壽命。
[0004] 專(zhuān)利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2004 - 117253號(hào)公報(bào)
[0005] 在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的壽命預(yù)測(cè)方法中，蓄積有從使成為預(yù)測(cè)壽命的對(duì)象的裝置的運(yùn)轉(zhuǎn) 開(kāi)始時(shí)開(kāi)始的基準(zhǔn)振動(dòng)的功率譜的時(shí)間序列數(shù)據(jù)。而且，根據(jù)時(shí)間序列數(shù)據(jù)來(lái)設(shè)定判定值， 功率譜的值超過(guò)判定值時(shí)，判斷出接近壽命。因此，需要保存、管理數(shù)據(jù)的功能。若成為對(duì)象 的裝置變化，則基準(zhǔn)振動(dòng)改變，為了壽命預(yù)測(cè)而需要同一裝置的功率譜的時(shí)間序列數(shù)據(jù)。在 成為預(yù)測(cè)壽命的對(duì)象的裝置的臺(tái)數(shù)較多時(shí)，需要增多傳感器的個(gè)數(shù)，成為較難實(shí)施的方法。 因此，期望一種即使沒(méi)有成為對(duì)象的裝置的時(shí)間序列數(shù)據(jù)，也能夠預(yù)測(cè)裝置的壽命的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明是為了解決上述的課題而提出的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí) 現(xiàn)。
[0007] 應(yīng)用例1
[0008] 是本應(yīng)用例所涉及的壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于，包括：對(duì)設(shè)置于被檢測(cè)裝置的慣 性傳感器輸出的振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜；使用上述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及使 用上述特征量來(lái)判定上述被檢測(cè)裝置的壽命，在R =上述特征量、D =上述頻譜中的振幅的 平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的上述振幅的平方的總和時(shí)，
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于，包括： 對(duì)設(shè)置于被檢測(cè)裝置的慣性傳感器輸出的振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(P/D)。
2. -種壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于，包括： 對(duì)設(shè)置于被檢測(cè)裝置的慣性傳感器輸出的振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(D-P) / 亦。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于， 對(duì)所述特征量相對(duì)于運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間的變化率進(jìn)行運(yùn)算， 使用所述變化率來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于， 將所述特征量和第2判定值相比較來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于， 所述慣性傳感器輸出的振動(dòng)波形包括相互正交的第1方向、第2方向、以及第3方向的 所述被檢測(cè)裝置的振動(dòng)成分， 所述壽命預(yù)測(cè)方法包括： 對(duì)所述第1方向、所述第2方向、以及所述第3方向的所述頻譜以及所述特征量進(jìn)行運(yùn) 算； 使用所述第1方向、所述第2方向、以及所述第3方向的所述特征量來(lái)對(duì)合成特征量進(jìn) 行運(yùn)算；以及 使用所述合成特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 設(shè)為， Rl =使用所述第1方向上的所述振動(dòng)波形而運(yùn)算出的所述特征量， R2 =使用所述第2方向上的所述振動(dòng)波形而運(yùn)算出的所述特征量， R3 =使用所述第3方向上的所述振動(dòng)波形而運(yùn)算出的所述特征量， 將等式1 RM= ^ Ri2 + R22 + Rs2 設(shè)為合成特征量。
6. -種壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于，包括： 對(duì)設(shè)置于被檢測(cè)裝置的慣性傳感器輸出的振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R = P/D。
7. -種壽命預(yù)測(cè)方法，其特征在于，包括： 對(duì)設(shè)置于被檢測(cè)裝置的慣性傳感器輸出的振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R = (D - P)/D。
8. -種壽命預(yù)測(cè)裝置，其特征在于，具備： 慣性傳感器，其設(shè)置于被檢測(cè)裝置，輸出所述被檢測(cè)裝置的振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(P/D)。
9. 一種壽命預(yù)測(cè)裝置，其特征在于，具備： 慣性傳感器，其設(shè)置于被檢測(cè)裝置，輸出所述被檢測(cè)裝置的振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(D-P) / 而。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8或者9所述的壽命預(yù)測(cè)裝置，其特征在于， 所述慣性傳感器為陀螺傳感器。
11. 一種壽命預(yù)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于， 是振動(dòng)檢測(cè)裝置和壽命運(yùn)算裝置以能夠經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行通信的方式連接的壽命預(yù)測(cè)系 統(tǒng)， 所述振動(dòng)檢測(cè)裝置具有： 慣性傳感器，其設(shè)置于被檢測(cè)裝置，輸出所述被檢測(cè)裝置的振動(dòng)波形；和 發(fā)送部，其向所述壽命運(yùn)算裝置發(fā)送所述振動(dòng)波形， 所述壽命運(yùn)算裝置具有： 接收部，其從所述振動(dòng)檢測(cè)裝置接收所述振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(P/D) ·
12. -種壽命預(yù)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于， 是振動(dòng)檢測(cè)裝置和壽命運(yùn)算裝置以能夠經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行通信的方式連接的壽命預(yù)測(cè)系 統(tǒng)， 所述壽命預(yù)測(cè)系統(tǒng)具有所述振動(dòng)檢測(cè)裝置和所述壽命運(yùn)算裝置， 所述振動(dòng)檢測(cè)裝置具備： 慣性傳感器，其設(shè)置于被檢測(cè)裝置，輸出所述被檢測(cè)裝置的振動(dòng)波形；和 發(fā)送部，其向所述壽命運(yùn)算裝置發(fā)送所述振動(dòng)波形， 所述壽命運(yùn)算裝置具備： 接收部，其接收所述振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(D-P) / 拍。
13. -種壽命運(yùn)算裝置，其特征在于， 是在以能夠經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與振動(dòng)檢測(cè)裝置進(jìn)行通信的方式連接的系統(tǒng)中使用的壽命運(yùn)算 裝置， 所述壽命運(yùn)算裝置具備： 接收部，其接收所述振動(dòng)檢測(cè)裝置發(fā)送的被檢測(cè)裝置的振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= Vcp/d)。
14. 一種壽命運(yùn)算裝置，其特征在于， 是在以能夠經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與振動(dòng)檢測(cè)裝置進(jìn)行通信的方式連接的系統(tǒng)中使用的壽命運(yùn)算 裝置， 所述壽命運(yùn)算裝置具備： 接收部，其接收所述振動(dòng)檢測(cè)裝置發(fā)送的被檢測(cè)裝置的振動(dòng)波形， 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定所述被檢測(cè)裝置的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= v'(d-p) / 拍。
15. -種旋轉(zhuǎn)機(jī)械，其特征在于，具備： 旋轉(zhuǎn)部； 慣性傳感器，其輸出所述旋轉(zhuǎn)部的振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定旋轉(zhuǎn)機(jī)械的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(P/D) 〇
16. -種旋轉(zhuǎn)機(jī)械，其特征在于，具備： 旋轉(zhuǎn)部； 慣性傳感器，其輸出所述旋轉(zhuǎn)部的振動(dòng)波形； 頻譜運(yùn)算部，其對(duì)所述振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜； 特征量運(yùn)算部，其使用所述頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及 判定部，其基于所述特征量來(lái)判定旋轉(zhuǎn)機(jī)械的壽命， 在R =所述特征量、D =所述頻譜中的振幅的平方的總和、P =超過(guò)第1判定值的所述 振幅的平方的總和時(shí)， R= V(D-P) / 而。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及壽命預(yù)測(cè)方法、壽命預(yù)測(cè)裝置、壽命運(yùn)算裝置、旋轉(zhuǎn)機(jī)械。該壽命預(yù)測(cè)方法包括輸入設(shè)置在主泵(6)中的陀螺傳感器(10)輸出的振動(dòng)波形；對(duì)振動(dòng)波形進(jìn)行頻率解析來(lái)運(yùn)算頻譜；根據(jù)頻譜來(lái)運(yùn)算特征量；以及使用特征量來(lái)判定主泵(6)的壽命，設(shè)為R＝特征量、D＝頻譜中的振幅的平方的總和、P＝超過(guò)第1判定值的振幅的平方的總和，
【IPC分類(lèi)】G01M13-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104634551
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410553765
【發(fā)明人】池尻昌久, 松村香苗, 井口修一
【申請(qǐng)人】精工愛(ài)普生株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年10月17日
【公告號(hào)】US20150134271