接器I的輸出端12的電源接地的引腳125連接。
[0089]其中，射頻發(fā)生器4還可以包括溫度監(jiān)控的引腳、數(shù)據(jù)引腳、數(shù)據(jù)控制的引腳和光學(xué)檢測(cè)火焰控制的引腳等。相應(yīng)地，連接器I的輸入端11和輸出端12也可以分別還包括上述溫度監(jiān)控的引腳、數(shù)據(jù)引腳、數(shù)據(jù)控制的引腳和光學(xué)檢測(cè)火焰控制的引腳等。
[0090]其中，如圖3所示，條件生成電路2包括偏壓控制模塊21、第一中繼模塊22、第二中繼模塊23和點(diǎn)火模塊24 ；
[0091]偏壓控制模塊21的一端與電源模塊3連接，偏壓控制模塊21的另一端與連接器I的輸入端11包括的電壓偏壓控制的引腳113連接；
[0092]第一中繼模塊22的一端與地線連接，第一中繼模塊22的另一端與連接器I的輸入端11包括的第一繼電器引腳111連接；
[0093]第二中繼模塊23的一端與電源模塊3連接，第二中繼模塊23的另一端與連接器I的輸入端11包括的第二繼電器引腳112連接；
[0094]點(diǎn)火模塊24的一端與電源模塊3連接，點(diǎn)火模塊24的另一端與連接器I的輸入端11包括的數(shù)字接地的引腳114連接。
[0095]其中，偏壓控制模塊21通過連接器I與射頻發(fā)生器4的電壓偏壓控制的弓I腳43連接，為射頻發(fā)生器4內(nèi)部的電壓偏壓控制電路提供電壓，若該電壓偏壓控制電路正常工作，則表明該電壓偏壓控制電路未出現(xiàn)故障，否則表明該電壓偏壓控制電路發(fā)生了故障。
[0096]其中，第一中繼模塊22通過連接器I與射頻發(fā)生器4的第一繼電器引腳41連接，與射頻發(fā)生器4內(nèi)部的第一繼電器電路構(gòu)成回路，若第一繼電器電路正常工作，則表明第一繼電器電路未出現(xiàn)故障，否則表明第一繼電器電路發(fā)送故障。
[0097]同樣地，第二中繼模塊23通過連接器I與射頻發(fā)生器4的第二繼電器引腳42連接，與射頻發(fā)生器4內(nèi)部的第二繼電器電路構(gòu)成回路，若第二繼電器電路正常工作，則表明第二繼電器電路未出現(xiàn)故障，否則表明第二繼電器電路發(fā)送故障。
[0098]其中，點(diǎn)火模塊24通過連接器I與射頻發(fā)生器4的數(shù)字接地的引腳44連接，為射頻發(fā)生器4內(nèi)部的點(diǎn)火控制電路提供電壓，若點(diǎn)火控制電路正常工作，則表明點(diǎn)火控制電路未出現(xiàn)故障，否則表明該點(diǎn)火控制電路發(fā)生故障。
[0099]其中，如圖3所示，連接器I的輸入端11中的電源接地的引腳115與地線連接。
[0100]其中，如圖4所不，偏壓控制模塊21包括第一開關(guān)211、第一電阻212和第一電位器 213 ；
[0101]第一電阻212的一端與電源模塊3及點(diǎn)火模塊24連接，第一電阻212的另一端與第一開關(guān)211的一端以及第一電位器213的一端連接；
[0102]第一開關(guān)211的另一端與連接器I的輸入端11中的電壓偏壓控制的引腳113連接;
[0103]第一電位器213的另一端與地線連接。
[0104]其中，第一電阻212和第一電位器213用于調(diào)節(jié)電壓，從而實(shí)現(xiàn)通過偏壓控制模塊21為射頻發(fā)生器4中的電壓偏壓控制電路提供設(shè)定的電壓。
[0105]其中，如圖5所示，第一中繼模塊22包括第二開關(guān)221 ；
[0106]第二開關(guān)221的一端與地線連接，第二開關(guān)221的另一端與連接器I的輸入端11中的第一繼電器引腳111連接。
[0107]其中，當(dāng)?shù)诙_關(guān)221閉合時(shí)，第一中繼模塊22與射頻發(fā)生器4中的第一繼電器電路構(gòu)成回路，以使第一繼電器電路工作。
[0108]其中，如圖6所示，第二中繼模塊23包括第三開關(guān)231和第二電阻232 ；
[0109]第三開關(guān)231的一端與第二電阻232的一端連接，第三開關(guān)231的另一端與連接器I的輸入端11中的第二繼電器引腳112連接；
[0110]第二電阻232的另一端與電源模塊3連接。
[0111]其中，當(dāng)?shù)谌_關(guān)231閉合時(shí)，第二中繼模塊23與射頻發(fā)生器4中的第二繼電器電路構(gòu)成回路，以使第二繼電器電路開始工作。
[0112]其中，如圖7所示，點(diǎn)火模塊24包括第四開關(guān)241、第三電阻242和第二電位器243 ；
[0113]第三電阻242的一端與電源模塊3及偏壓控制模塊21連接，第三電阻242的另一端與第四開關(guān)241的一端以及第二電位器243的一端連接；
[0114]第四開關(guān)241的另一端與連接器I的輸入端11中的數(shù)字接地的引腳114連接；
[0115]第二電位器243的另一端與地線連接。
[0116]其中，第三電阻242和第二電位器243用于調(diào)節(jié)電壓，從而實(shí)現(xiàn)通過點(diǎn)火模塊24為射頻發(fā)生器4中的點(diǎn)火控制電路提供設(shè)定的電壓。
[0117]其中，如圖8所示，電源模塊3包括第一電源單元31和第二電源單元32 ;
[0118]第一電源單元31與偏壓控制模塊21和點(diǎn)火模塊24連接；
[0119]第二電源單元32與第二中繼模塊23連接。
[0120]其中，如圖9所示，第一電源單元31包括第四電阻311、第三電位器312和電源313 ；
[0121]第四電阻311的一端與地線連接，第三電位器312的一端與電源313連接；
[0122]第四電阻311的另一端與第三電位器312的另一端連接，且第四電阻311的另一端和第三電位器312的另一端均與偏壓控制模塊21和點(diǎn)火模塊24連接。
[0123]其中，第四電阻311和第三電位器312用于調(diào)節(jié)電壓，可以將電源的輸出電壓調(diào)節(jié)至30v-48v，以為偏壓控制模塊21和點(diǎn)火模塊24提供設(shè)定的電壓。
[0124]其中，如圖10所示的該控制電路的電路圖，通過該控制電路6對(duì)射頻發(fā)生器4進(jìn)行控制時(shí)，首先將射頻發(fā)生器4從ICP等精密儀器中取出，將射頻發(fā)生器4的各個(gè)引腳對(duì)應(yīng)地連接到連接器I的輸出端12的各個(gè)引腳上。然后將電源模塊3上電，其上電電壓為48v，將第一電源單元31的輸出電壓調(diào)節(jié)為30v，然后閉合第四開關(guān)241，通過點(diǎn)火模塊24對(duì)射頻發(fā)生器4內(nèi)部的點(diǎn)火控制電路進(jìn)行控制及檢測(cè)。若點(diǎn)火控制電路正常，再閉合第二開關(guān)221，通過第一中繼模塊22對(duì)射頻發(fā)生器4內(nèi)部的第一繼電器電路進(jìn)行控制及檢測(cè)。若第一繼電器電路也正常，則閉合第三開關(guān)231，通過第二中繼模塊23對(duì)射頻發(fā)生器4內(nèi)部的第二繼電器電路進(jìn)行控制及檢測(cè)。若第二繼電器電路正常，則閉合第一開關(guān)211，通過偏壓控制模塊21對(duì)射頻發(fā)生器4內(nèi)部的電壓偏壓控制電路進(jìn)行控制及檢測(cè)。若電壓偏壓控制電路也正常，則表明射頻發(fā)生器4未出現(xiàn)故障。最后斷開第四開關(guān)241，并依次斷開第二開關(guān)221、第三開關(guān)231和第一開關(guān)211，使射頻發(fā)生器4停止作業(yè)。
[0125]其中，通過本發(fā)明實(shí)施例提供的控制電路可以簡(jiǎn)單方便地對(duì)射頻發(fā)生器進(jìn)行單獨(dú)控制和檢測(cè)，并且可以檢測(cè)出射頻發(fā)生器內(nèi)部的單元電路是否出現(xiàn)故障。
[0126]在本發(fā)明實(shí)施例提供中，由于控制電路中包括的條件生成電路可以為射頻發(fā)生器提供作業(yè)條件，所以可以將射頻發(fā)生器從精密儀器中取出，通過該控制電路為該射頻發(fā)生器單獨(dú)提供作業(yè)條件，使射頻發(fā)生器作業(yè)，然后對(duì)射頻發(fā)生器的作業(yè)情況進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)射頻發(fā)生器進(jìn)行單獨(dú)檢修，避免損壞精密儀器中的其他部件。
[0127]實(shí)施例2
[0128]參見圖11，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種射頻發(fā)生器的檢測(cè)系統(tǒng)，該檢測(cè)系統(tǒng)包括射頻信號(hào)檢測(cè)器5以及上述實(shí)施例1描述的控制電路6 ;
[0129]控制電路6與射頻發(fā)生器4連接