一種測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)領(lǐng)域，具體地說是一種在半導(dǎo)體熱盤溫度均勻性檢測(cè)中能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)溫晶圓與盤面間位置微調(diào)的測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過程中，對(duì)于熱盤盤面溫度均勻性的要求越來越高，正常的生產(chǎn)裝配過后的盤體在進(jìn)行熱盤盤面溫度均勻性測(cè)試時(shí)，由于一些制造誤差與裝配誤差，測(cè)試結(jié)果往往不能達(dá)到預(yù)期的盤面溫度均勻性指標(biāo)要求，如果能夠?qū)Σ贿_(dá)標(biāo)的盤體進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整使之滿足使用要求，將能夠大大節(jié)約設(shè)備成本，防止由于性能不達(dá)標(biāo)造成廢品，同時(shí)也利于在現(xiàn)有基礎(chǔ)上進(jìn)一步提高盤面的溫度均勻性指標(biāo)要求，以面對(duì)未來日益復(fù)雜精密的工藝要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，在半導(dǎo)體熱盤溫度均勻性檢測(cè)中能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓與盤面間位置微小改變，然后根據(jù)測(cè)試晶圓實(shí)際表面溫度分布情況調(diào)整熱盤使之滿足要求。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，包括PIN針、PIN針升降支座、直線導(dǎo)軌支座、千分尺和托盤，其中直線導(dǎo)軌支座固裝于托盤上，PIN針升降支座可升降地安裝于所述直線導(dǎo)軌支座上，所述PIN針升降支座的中部設(shè)有凹槽，PIN針安裝在所述PIN針升降支座的凹槽中，所述凹槽插裝入所述直線導(dǎo)軌支座中，在托盤的下側(cè)安裝有千分尺，所述千分尺的測(cè)量圓桿自由端伸入所述直線導(dǎo)軌支座中并與所述PIN針升降支座的凹槽底面相抵。
[0006]所述PIN針升降支座的兩側(cè)分別設(shè)有側(cè)板，所述側(cè)板設(shè)置于所述直線導(dǎo)軌支座夕卜，并通過直線導(dǎo)軌與所述直線導(dǎo)軌支座相連。
[0007]所述直線導(dǎo)軌的滑軌部分固裝于直線導(dǎo)軌支座上，直線導(dǎo)軌的滑塊部分安裝在PIN針升降支座的側(cè)板上。
[0008]所述PIN針的自由端伸出至所述PIN針升降支座外。
[0009]所述托盤通過托盤支座支承。
[0010]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:
[0011]1、本發(fā)明設(shè)計(jì)的應(yīng)用于熱盤溫度均勻性測(cè)試的微調(diào)裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，能夠大大提高熱盤溫度均勻性測(cè)試的測(cè)試效率。
[0012]2、本發(fā)明可直接用于熱盤均勻性測(cè)試過程中，在測(cè)試中直接根據(jù)千分尺讀數(shù)來判斷盤面陶瓷球的高度是否合理，以及盤面上不同陶瓷球高度所需調(diào)整量。
[0013]3、通過使用本發(fā)明，可以對(duì)盤面陶瓷球需要調(diào)整的高度有一個(gè)量化指標(biāo)，能夠更精確的控制調(diào)整后的熱盤盤面溫度均勻性。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)立體圖，
[0015]圖2為圖1中本發(fā)明的剖視圖，
[0016]圖3為圖1中PIN針升降支座結(jié)構(gòu)示意圖，
[0017]圖4為圖1中本發(fā)明的使用狀態(tài)示意圖，
[0018]圖5為圖4中I處放大圖。
[0019]其中，I為PIN針，2為PIN針升降支座，3為直線導(dǎo)軌，4為直線導(dǎo)軌支座，5為千分尺，6為托盤，7為托盤支座，8為凹槽，9為側(cè)板，10為熱盤。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0021]如圖1?2所示，本發(fā)明包括PIN針1、PIN針升降支座2、直線導(dǎo)軌3、直線導(dǎo)軌支座4、千分尺5、托盤6和托盤支座7，其中托盤6通過三個(gè)托盤支座7支承，直線導(dǎo)軌支座4通過螺栓固裝于所述托盤6上，所述直線導(dǎo)軌支座4中部設(shè)有通孔。
[0022]如圖3所示，PIN針升降支座3為去掉底邊的“凹”字型結(jié)構(gòu)，在PIN針升降支座3的中部設(shè)有一個(gè)凹槽8，兩側(cè)分別設(shè)有側(cè)板9，PIN針I(yè)即安裝在所述凹槽8中，且PIN針I(yè)與測(cè)量晶圓相抵的自由端伸出至所述PIN針升降支座3外。PIN針升降支座3的凹槽8插裝入直線導(dǎo)軌支座4的通孔中，PIN針升降支座3兩側(cè)的側(cè)板9在所述凹槽8插裝入直線導(dǎo)軌支座4時(shí)設(shè)置于所述直線導(dǎo)軌支座4外，并且在直線導(dǎo)軌支座4外側(cè)壁與PIN針升降支座的側(cè)板9之間設(shè)有直線導(dǎo)軌3，其中直線導(dǎo)軌3的滑軌部分固裝于直線導(dǎo)軌支座4上，直線導(dǎo)軌3的滑塊部分安裝在PIN針升降支座的側(cè)板9上。
[0023]在托盤6的下側(cè)表面安裝有千分尺5，本實(shí)施例中所述千分尺5為數(shù)字顯示千分尺，所述千分尺5的測(cè)量圓桿自由端伸入所述直線導(dǎo)軌支座4中，在裝置工作時(shí)，千分尺5的測(cè)量圓桿自由端與PIN針升降支座2的凹槽8底面相抵，通過調(diào)整千分尺5使千分尺的測(cè)量圓桿推動(dòng)PIN針升降支座4上下運(yùn)動(dòng)，PIN針升降支座4的上下直線運(yùn)動(dòng)由直線導(dǎo)軌3來保證，這樣便實(shí)現(xiàn)了通過調(diào)整千分尺5來調(diào)整設(shè)置于PIN針升降支座4上的PIN針的高度。
[0024]本實(shí)施例在托盤6上均布有三個(gè)PIN針I(yè)，每一個(gè)PIN針的上下運(yùn)動(dòng)都是相互獨(dú)立的，這樣可以有效保證在測(cè)溫過程中對(duì)測(cè)溫晶圓相對(duì)盤面高度在不同方向上做不同的調(diào)整，所述PIN針I(yè)的具體數(shù)量可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定。
[0025]本發(fā)明的工作原理為:
[0026]如圖4?5所示，本發(fā)明在測(cè)試時(shí)設(shè)置于熱盤10的下方，在熱盤10的盤體上設(shè)有供所述PIN針I(yè)穿過的通孔。在熱盤均勻性測(cè)試中，當(dāng)放置在熱盤盤面上的測(cè)溫晶圓在一定條件下穩(wěn)定后我們即可得知溫度均勻性指標(biāo)，當(dāng)溫度均勻性指標(biāo)不合格時(shí)，我們即可通過千分尺5調(diào)整PIN針I(yè)高度，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)溫晶圓相對(duì)于熱盤盤面高度差的精確調(diào)節(jié)，在調(diào)節(jié)過程中測(cè)溫晶圓所檢測(cè)的溫度均勻性指標(biāo)也會(huì)隨之變化，通過測(cè)溫設(shè)備測(cè)試測(cè)溫晶圓實(shí)際表面溫度分布，便可以確定盤面上陶瓷球高度是否合理及陶瓷球需要的調(diào)整量大小，當(dāng)調(diào)整到溫度均勻性滿足預(yù)期指標(biāo)時(shí)，還可以記錄不同PIN針的高度調(diào)整量，實(shí)現(xiàn)對(duì)盤面陶瓷球需要調(diào)整的高度有一個(gè)量化指標(biāo)，能夠更精確的控制調(diào)整后的熱盤盤面溫度均勻性。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，其特征在于:包括PIN針(1)、PIN針升降支座(2)、直線導(dǎo)軌支座(4)、千分尺(5)和托盤￠)，其中直線導(dǎo)軌支座(4)固裝于托盤(6)上，PIN針升降支座(2)可升降地安裝于所述直線導(dǎo)軌支座(4)上，所述PIN針升降支座(3)的中部設(shè)有凹槽(8)，PIN針(I)安裝在所述PIN針升降支座(3)的凹槽⑶中，所述凹槽⑶插裝入所述直線導(dǎo)軌支座⑷中，在托盤(6)的下側(cè)安裝有千分尺(5)，所述千分尺(5)的測(cè)量圓桿自由端伸入所述直線導(dǎo)軌支座(4)中并與所述PIN針升降支座(3)的凹槽(8)底面相抵。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，其特征在于:所述PIN針升降支座(3)的兩側(cè)分別設(shè)有側(cè)板(9)，所述側(cè)板(9)設(shè)置于所述直線導(dǎo)軌支座(4)外，并通過直線導(dǎo)軌(3)與所述直線導(dǎo)軌支座(4)相連。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，其特征在于:所述直線導(dǎo)軌(3)的滑軌部分固裝于直線導(dǎo)軌支座(4)上，直線導(dǎo)軌(3)的滑塊部分安裝在PIN針升降支座的側(cè)板(9)上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，其特征在于:所述PIN針⑴的自由端伸出至所述PIN針升降支座(3)夕卜。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，其特征在于:所述托盤(6)通過托盤支座(7)支承。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)領(lǐng)域，具體地說是一種在半導(dǎo)體熱盤溫度均勻性檢測(cè)中能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)溫晶圓與盤面間位置微調(diào)的測(cè)溫晶圓微調(diào)裝置，包括PIN針、PIN針升降支座、直線導(dǎo)軌支座、千分尺和托盤，其中直線導(dǎo)軌支座固裝于托盤上，PIN針升降支座可升降地安裝于所述直線導(dǎo)軌支座上，所述PIN針升降支座的中部設(shè)有凹槽，PIN針安裝在所述PIN針升降支座的凹槽中，所述凹槽插裝入所述直線導(dǎo)軌支座中，在托盤的下側(cè)安裝有千分尺，所述千分尺的測(cè)量圓桿自由端插入所述直線導(dǎo)軌支座中并與所述PIN針升降支座的凹槽底面相抵，這樣通過所述千分尺即可調(diào)整PIN針的高度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，測(cè)試效率高，可以量化測(cè)試指標(biāo)。
【IPC分類】G01K1/00
【公開號(hào)】CN105181157
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410281209
【發(fā)明人】尹碩
【申請(qǐng)人】沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2014年6月20日