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      一種自動(dòng)控制z軸運(yùn)動(dòng)的led探針臺(tái)尋邊器的制造方法

      文檔序號(hào):10487420閱讀:378來源:國知局
      一種自動(dòng)控制z軸運(yùn)動(dòng)的led探針臺(tái)尋邊器的制造方法
      【專利摘要】一種自動(dòng)控制Z軸運(yùn)動(dòng)的LED探針臺(tái)尋邊器,屬于LED芯片點(diǎn)測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,在機(jī)架上設(shè)置上固定支架和下固定支架,在上固定支架的前端通過探針夾座連接探針,在上固定支架下方的下固定支架上設(shè)置壓力感應(yīng)器;在探針下方布置承片臺(tái),承片臺(tái)的下端中心通過Z軸與Z軸馬達(dá)的輸出端連接,Z軸PC控制中心的一個(gè)輸出端連接在Z軸馬達(dá)的工作控制端,Z軸PC控制中心的一個(gè)輸入端連接壓力感應(yīng)器的信號(hào)輸出端。本發(fā)明能有效避免當(dāng)Z軸運(yùn)動(dòng)到壓力觸點(diǎn)后繼續(xù)上升1~15μm的距離,解決了點(diǎn)測針痕質(zhì)量差、探針使用壽命短、測試結(jié)果的準(zhǔn)確度降低等缺點(diǎn)。
      【專利說明】
      一種自動(dòng)控制Z軸運(yùn)動(dòng)的LED探針臺(tái)尋邊器
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本發(fā)明屬于LED芯片點(diǎn)測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及LED點(diǎn)測機(jī)尋邊器(edgesensor)對Z軸運(yùn)動(dòng)的控制技術(shù)。
      【背景技術(shù)】
      [0002]隨著半導(dǎo)體LED技術(shù)的進(jìn)步,對LED產(chǎn)能的提升,為提高利潤率,業(yè)界對LED芯片的點(diǎn)測速度、點(diǎn)測后針痕質(zhì)量有更高的要求;目前LED業(yè)界所用點(diǎn)測機(jī)對Z軸的控制模式主要依據(jù)感應(yīng)式edge sensor的感應(yīng)信號(hào)實(shí)現(xiàn)對Z軸的運(yùn)動(dòng)控制(被動(dòng)式的edge sensor控制)。
      [0003]這類控制Z軸上升的模式有以下特點(diǎn):其運(yùn)動(dòng)過程承載LED芯片的承片臺(tái)(CHUCK盤)上的芯片與探針接觸后,Z軸繼續(xù)上升,隨著Z軸上升高度增加,達(dá)到尋邊器壓力觸點(diǎn)后形成開路,壓力感應(yīng)觸點(diǎn)燈亮并同時(shí)向Z軸馬達(dá)發(fā)送減速停止信號(hào),Z軸馬達(dá)收到信號(hào)后減速,再上升一段距離后Z軸馬達(dá)停止運(yùn)動(dòng),Z軸停止。在Z軸運(yùn)動(dòng)過程中,當(dāng)壓力感應(yīng)觸點(diǎn)燈亮?xí)rZ軸才進(jìn)行減速運(yùn)動(dòng),從減速到停止Z軸會(huì)上升I?15μπι的高度,則探針扎入芯片電極深度增加I?15μπιο這種運(yùn)動(dòng)模式存在以下缺點(diǎn):
      1.點(diǎn)測針痕質(zhì)量差(深度、大小、形狀不穩(wěn)定);
      2.探針使用壽命短(合金針300?400萬次,鈹銅針100?200萬次);
      3.測試結(jié)果的準(zhǔn)確度低。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]針對現(xiàn)有點(diǎn)測機(jī)對Z軸控制的模式存在的問題,本發(fā)明目的是提出一種可提高點(diǎn)測品質(zhì)的自動(dòng)控制Z軸運(yùn)動(dòng)的LED探針臺(tái)尋邊器。
      [0005]本發(fā)明在機(jī)架上設(shè)置上固定支架和下固定支架,所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定連接,在上固定支架的前端通過探針夾座連接探針,在上固定支架下方的下固定支架上設(shè)置壓力感應(yīng)器;在探針下方布置承片臺(tái),所述承片臺(tái)的下端中心連接Z軸,Z軸連接在固定于機(jī)架上的Z軸馬達(dá)的輸出端,在機(jī)架上還連接Z軸PC控制中心,所述Z軸PC控制中心的一個(gè)輸出端連接在Z軸馬達(dá)的工作控制端,Z軸PC控制中心的一個(gè)輸入端連接壓力感應(yīng)器的信號(hào)輸出端。
      [0006]工作時(shí),在承片臺(tái)上放置有芯片。本發(fā)明通過高靈敏壓力感應(yīng)器與Z軸PC程序控制對Z軸馬達(dá)精確運(yùn)動(dòng)能精確控制,可以設(shè)定探針與芯片接觸后上升的距離;當(dāng)承片臺(tái)上的芯片與探針接觸后,壓力感應(yīng)器就感應(yīng)到一定壓力,將壓力轉(zhuǎn)化為放大的電訊號(hào),Z軸PC程序?qū)㈦娪嵦?hào)轉(zhuǎn)化為Z軸上升的距離。通過設(shè)定探針與芯片接觸后上升的距離,Z軸PC程序即可依據(jù)實(shí)時(shí)的放大電訊號(hào)計(jì)算并控制Z軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)的距離,并確定在一定高度下減速直到運(yùn)動(dòng)到設(shè)定高度后停止。此方法能有效避免當(dāng)Z軸運(yùn)動(dòng)到壓力觸點(diǎn)后繼續(xù)上升I?15μπι的距離,解決了點(diǎn)測針痕質(zhì)量差、探針使用壽命短、測試結(jié)果的準(zhǔn)確度降低等缺點(diǎn)。
      [0007]本發(fā)明的特點(diǎn)是;
      1、高靈敏壓力傳感器,對I?20g的接觸壓力感應(yīng)靈敏。 2、Z軸PC程序能模擬出微米級運(yùn)動(dòng)距離、壓力變化曲線和壓力變化曲線對應(yīng)的放大電訊號(hào),并將此曲線輸入Z軸PC控制程序中;當(dāng)Z軸上升,承片臺(tái)上芯片與探針接觸后,壓力感應(yīng)器感應(yīng)到壓力變化時(shí),依據(jù)模擬曲線中壓力變化放大電訊號(hào)與距離的對應(yīng)關(guān)系,并能精確控制Z軸的運(yùn)動(dòng)。
      [0008]3、設(shè)定承片臺(tái)上芯片與探針接觸后,承片臺(tái)上升的距離。
      [0009]本發(fā)明可采用高靈敏壓力傳感器為陶瓷壓力傳感器,壓力直接作用在壓力傳感器的陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 /3.3 mV/V等。通過激光標(biāo)定,傳感器具有很高壓力測量精確度。
      [0010]Z軸PC控制中心內(nèi)的微米級接觸距離與接觸壓力變化曲線,是通過經(jīng)多次,大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并結(jié)合實(shí)際情況模擬計(jì)算得到的,微米級接觸距離與接觸壓力變化曲線精確地模擬計(jì)算出微米級接觸距離與接觸壓力的函數(shù)關(guān)系,并寫入Z軸PC控制程序中。對Z軸馬達(dá)控制時(shí),依據(jù)Z軸當(dāng)前的壓力計(jì)算出Z軸當(dāng)前位置,再依據(jù)接觸距離與壓力的曲線和所設(shè)定的Z軸運(yùn)動(dòng)高度,兩位置之間的距離為Z軸馬達(dá)減速停止的距離。
      【附圖說明】
      [0011]圖1為本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0012]如圖1所示,在機(jī)架200上設(shè)置有上固定支架201和下固定支架202,其中上固定支架201和下固定支架202的后端相互固定連接,且分別與機(jī)架200固定。在上固定支架201的前端通過探針夾座204連接探針205,在上固定支架201下方的下固定支架202前端上設(shè)置壓力感應(yīng)器203。
      [0013]在探針205下方布置有承片臺(tái)102。承片臺(tái)102的下端中心連接Z軸101,Z軸101連接在固定于機(jī)架200上的Z軸馬達(dá)100的輸出端。
      [0014]在機(jī)架200上還連接Z軸PC控制中心206,Z軸PC控制中心206的一個(gè)輸出端連接在Z軸馬達(dá)100的工作控制端,Z軸PC控制中心206的一個(gè)輸入端連接壓力感應(yīng)器203的信號(hào)輸出端。
      [0015]圖1中的103為布置在承片臺(tái)102上方的芯片。
      [0016]Z軸馬達(dá)100上升,帶動(dòng)Z軸101上端的CHUCK盤102上的芯片103上升,芯片103接觸到探針205后,在接觸壓力很小的范圍內(nèi),壓力感應(yīng)器203能靈敏地感應(yīng)到接觸壓力變化,此時(shí)PC控制中心206依據(jù)接觸距離與壓力變化曲線計(jì)算出此位置到壓力感應(yīng)觸點(diǎn)位置間的距離,并控制Z軸馬達(dá)100開始減速,在到達(dá)壓力感應(yīng)觸點(diǎn)距離時(shí),Z軸馬達(dá)100停止。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種自動(dòng)控制Z軸運(yùn)動(dòng)的LED探針臺(tái)尋邊器,其特征在于:在機(jī)架上設(shè)置上固定支架和下固定支架,所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定連接,在上固定支架的前端通過探針夾座連接探針,在上固定支架下方的下固定支架上設(shè)置壓力感應(yīng)器;在探針下方布置承片臺(tái),所述承片臺(tái)的下端中心連接Z軸,Z軸連接在固定于機(jī)架上的Z軸馬達(dá)的輸出端,在機(jī)架上還連接Z軸PC控制中心,所述Z軸PC控制中心的一個(gè)輸出端連接在Z軸馬達(dá)的工作控制端,Z軸PC控制中心的一個(gè)輸入端連接壓力感應(yīng)器的信號(hào)輸出端。
      【文檔編號(hào)】G01R31/26GK105842603SQ201610220154
      【公開日】2016年8月10日
      【申請日】2016年4月11日
      【發(fā)明人】肖和平, 陳亮, 馬祥柱, 陳寶, 楊凱
      【申請人】揚(yáng)州乾照光電有限公司
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