晶圓測試的控制方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種晶圓測試的控制方法，先收集初步測試圖形，確定需要跳開的管芯，通過測試機(jī)臺控制探針臺進(jìn)行自由移動和測試，同時測試多個管芯，提高測試效率，同時避開需要跳開的管芯，避免對存在缺陷的管芯進(jìn)行測試，造成探針損傷或測試機(jī)臺損傷。
【專利說明】
晶圓測試的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓測試的控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路制造領(lǐng)域，通常在形成集成電路之后，需要形成在晶圓上的集成電路進(jìn)行測試，以確定晶圓的性能如何，是否符合要求。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中通常采用兩種方式進(jìn)行測試，其中一種為預(yù)測試。即，使用一個單測試點的探針卡，先將晶圓在探針臺(Prober)上運行一次，使用自動測試設(shè)備(ATE)編寫特定檢驗程序測試，最終生成量產(chǎn)的測試圖形(Test Map)后再用正式針卡對這張測試圖形進(jìn)行復(fù)測。然而，這樣做需要額外制備一張?zhí)结樋ê鸵惶诇y試程序，每個產(chǎn)品都會浪費一個探針卡的費用和開發(fā)專用測試程序的人力物力，并且無法提高測試效率。
[0004]另一種測試方式為先通過軟件生成測試圖形，再根據(jù)測試圖形進(jìn)行相應(yīng)的測試。雖然現(xiàn)在很多前道廠家和晶圓加工廠都會提供晶圓的質(zhì)量檢驗報告，并且晶圓測試廠可以根據(jù)這些報告生成測試圖形，但是該種方式依然無法避免正式探針卡多測試點(site)跳開缺陷管芯的問題，并且也無法提高測試效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓測試的控制方法，能夠避免探針、探針臺及測試機(jī)臺受到損傷，同時提高測試效率。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種晶圓測試的控制方法，包括:
[0007]合成測試圖形，確定需要跳開的管芯位置；
[0008]將測試圖形發(fā)送至測試機(jī)臺；
[0009]所述測試機(jī)臺控制探針臺進(jìn)行自由移動和測試，所述探針臺的多個探針同時對管芯進(jìn)行測試；
[0010]測試之前，所述探針臺先判斷是否需要跳開該管芯，若需要，則跳開;若不需要，則通知所述測試機(jī)臺進(jìn)行測試。
[0011]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，在測試完畢后，所述測試機(jī)臺將測試結(jié)果反饋至所述探針臺。
[0012]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，通過產(chǎn)品的數(shù)據(jù)、檢測的文件數(shù)據(jù)及人為設(shè)定的位置數(shù)據(jù)合成測試圖形。
[0013]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，多個探針為一組，測試時一組探針同時對一組管芯進(jìn)行測試。
[0014]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，若一組管芯中存在一個測試點需要跳開，則該組探針跳開該組管芯。
[0015]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，若一組管芯中存在一個測試點需要跳開，則該組探針跳開需要跳開的測試點，并對該組其他管芯進(jìn)行測試。
[0016]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，一組所述探針包括4個探針。
[0017]進(jìn)一步的，在所述的晶圓測試的控制方法中，所述測試機(jī)臺控制探針臺以最小距離進(jìn)行移動。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:先收集初步測試圖形，確定需要跳開的管芯，通過測試機(jī)臺控制探針臺進(jìn)行自由移動和測試，同時測試多個管芯，提高測試效率，同時避開需要跳開的管芯，避免對存在缺陷的管芯進(jìn)行測試，造成探針損傷或測試機(jī)臺損傷。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明一實施例中晶圓測試的控制方法的流程圖；
[0020]圖2為本發(fā)明一實施例中測試圖形示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的晶圓測試的控制方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0022]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0023]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0024]請參考圖1，在本實施例中，提出了一種晶圓測試的控制方法，包括:
[0025]合成測試圖形，確定需要跳開的管芯位置；
[0026]將測試圖形發(fā)送至測試機(jī)臺；
[0027]所述測試機(jī)臺控制探針臺進(jìn)行自由移動和測試，所述探針臺的多個探針同時對管芯進(jìn)行測試；
[0028]測試之前，所述探針臺先判斷是否需要跳開該管芯，若需要，則跳開;若不需要，則通知所述測試機(jī)臺進(jìn)行測試。
[0029]具體的，本實施例中要建立一套測試圖形的服務(wù)系統(tǒng)，需要先通過產(chǎn)品的數(shù)據(jù)、檢測的文件數(shù)據(jù)及人為設(shè)定的位置數(shù)據(jù)合成測試圖形(如圖2所示)，例如收集探針臺的產(chǎn)品設(shè)置、客戶提供的檢驗文件、公司內(nèi)部檢驗文件以及人為設(shè)定的跳開管芯文件，然后進(jìn)行文件數(shù)據(jù)的合并，合并后的數(shù)據(jù)通過網(wǎng)絡(luò)提供給測試機(jī)臺的智能鏈接庫文件使用。測試圖形10數(shù)據(jù)包含需要跳開的管芯11的個數(shù)和位置，還包括待測的管芯12。
[0030]在測試機(jī)臺編程階段只需要將智能鏈接庫文件包含在測試程序中即可，當(dāng)進(jìn)入晶圓測試階段測試機(jī)臺會先獲取探針臺的當(dāng)前待測試管芯在測試圖形上的位置，與服務(wù)系統(tǒng)中下載的測試圖形進(jìn)行比對，如果是需要跳開的管芯11則直接發(fā)送跳開指令給探針臺進(jìn)行跳開動作，如果不是需要跳開的管芯則先查詢是否測試過，然后再發(fā)指定管芯的測試需求給測試機(jī)臺進(jìn)行晶圓測試，在測試完畢后，所述測試機(jī)臺將測試結(jié)果反饋至所述探針臺。
[0031]在本實施例中，多個探針為一組，測試時一組探針同時對一組管芯進(jìn)行測試。在本實施例中，一組所述探針包括4個探針，同時對4個管芯進(jìn)行測試。若4個管芯中存在一個測試點(或管芯)需要跳開，則該4個探針跳開該4個管芯，犧牲掉其他三個管芯，對其他管芯進(jìn)行測試，從而避免對探針和探針臺及測試機(jī)臺造成損傷。除此之外，若4個管芯中存在一個測試點需要跳開，則該4個探針跳開需要跳開的測試點，并對該組其他3個管芯進(jìn)行測試，從而不犧牲每一個可用的管芯，同時還可以避免對探針和探針臺及測試機(jī)臺造成損傷。
[0032]由于智能鏈接庫文件是可以控制探針臺的移動方式，所以可以以待測試晶圓最小距離移動從而節(jié)約探針臺走步的時間提高測試效率。
[0033]綜上，在本發(fā)明實施例晶圓測試的控制方法中，先收集初步測試圖形，確定需要跳開的管芯，通過測試機(jī)臺控制探針臺進(jìn)行自由移動和測試，同時測試多個管芯，提高測試效率，同時避開需要跳開的管芯，避免對存在缺陷的管芯進(jìn)行測試，造成探針損傷或測試機(jī)臺損傷。
[0034]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不對本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓測試的控制方法，其特征在于，包括步驟: 合成測試圖形，確定需要跳開的管芯位置； 將測試圖形發(fā)送至測試機(jī)臺； 所述測試機(jī)臺控制探針臺進(jìn)行自由移動和測試，所述探針臺的多個探針同時對管芯進(jìn)行測試； 測試之前，所述探針臺先判斷是否需要跳開該管芯，若需要，則跳開;若不需要，則通知所述測試機(jī)臺進(jìn)行測試。2.如權(quán)利要求1所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，在測試完畢后，所述測試機(jī)臺將測試結(jié)果反饋至所述探針臺。3.如權(quán)利要求1所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，通過產(chǎn)品的數(shù)據(jù)、檢測的文件數(shù)據(jù)及人為設(shè)定的位置數(shù)據(jù)合成測試圖形。4.如權(quán)利要求1所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，多個探針為一組，測試時一組探針同時對一組管芯進(jìn)行測試。5.如權(quán)利要求4所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，若一組管芯中存在一個測試點需要跳開，則該組探針跳開該組管芯。6.如權(quán)利要求4所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，若一組管芯中存在一個測試點需要跳開，則該組探針跳開需要跳開的測試點，并對該組其他管芯進(jìn)行測試。7.如權(quán)利要求4所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，一組所述探針包括4個探針。8.如權(quán)利要求4所述的晶圓測試的控制方法，其特征在于，所述測試機(jī)臺控制探針臺以最小距離進(jìn)行移動。
【文檔編號】G01R31/26GK105866654SQ201610356761
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年5月25日
【發(fā)明人】凌儉波, 劉遠(yuǎn)華, 陳燕, 湯雪飛, 王 華
【申請人】上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司