用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源、方法和校準(zhǔn)光源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源、方法和校準(zhǔn)光源，解決現(xiàn)有紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源存在的不穩(wěn)定和效率低的技術(shù)問題。包括金屬殼體、恒溫模塊和紫外LED陣列；紫外LED陣列封裝在恒溫模塊表面；金屬殼體上設(shè)置有透射紫外光窗口；紫外LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的紫外LED；多個(gè)紫外LED的光譜可疊加為連續(xù)光譜。校準(zhǔn)時(shí)，采用全段校準(zhǔn)和分段校準(zhǔn)結(jié)合的方式，在校準(zhǔn)波段范圍內(nèi)，使用待校準(zhǔn)的紫外光譜儀針對(duì)校準(zhǔn)波點(diǎn)測(cè)量校準(zhǔn)光源的波點(diǎn)波長(zhǎng)、輻射能量等并執(zhí)行校準(zhǔn)?；谧贤釲ED的高穩(wěn)定性、高純度和在秒級(jí)可達(dá)到穩(wěn)定輸出的特點(diǎn)，該校準(zhǔn)光源輸出穩(wěn)定且校準(zhǔn)效率提高。
【專利說明】
用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源、方法和校準(zhǔn)光源
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于紫外光譜輻射測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，是涉及一種用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源、方法和校準(zhǔn)光源。
【背景技術(shù)】
[0002]紫外光譜儀，是利用紫外光譜法工作的儀器，多用于紫外LED等光學(xué)產(chǎn)品的出廠前光電性能測(cè)試，其準(zhǔn)確度決定著被測(cè)量的紫外LED的品質(zhì)。
[0003]但紫外光譜儀要保持其準(zhǔn)確度需要經(jīng)常使用校準(zhǔn)光源進(jìn)行校準(zhǔn)，因?yàn)樽贤夤庾V儀在不同的環(huán)境溫度和濕度條件下存在一定的偏差，而且層經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間的照射，內(nèi)壁涂層反射率會(huì)發(fā)生變化。目前的校準(zhǔn)光源多采用氘燈和低壓汞燈作為標(biāo)定光源。其中，低壓汞燈作為一個(gè)非連續(xù)光譜光源，其主要特征波長(zhǎng)只有253.7納米，其他波段沒有紫外能量，因此只適合作為波長(zhǎng)標(biāo)定光源。
[0004]氘燈在200納米到400納米的連續(xù)光譜中，峰值波長(zhǎng)的誤差比較大，不適合作為波長(zhǎng)標(biāo)定光源，可以作為輻射能量標(biāo)定光源;但其壽命不足1000小時(shí)，還需要點(diǎn)亮5分鐘才能達(dá)到穩(wěn)定輸出的狀態(tài)，導(dǎo)致有效工作壽命很低，存在不穩(wěn)定和效率低的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源、方法和校準(zhǔn)光源，解決現(xiàn)有紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源存在的不穩(wěn)定和效率低的技術(shù)問題。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本申請(qǐng)采用以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
提出一種用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，包括金屬殼體、恒溫模塊和紫外LED陣列;所述紫外LED陣列封裝在所述恒溫模塊表面;所述金屬殼體上設(shè)置有透射紫外光窗口；其中，所述紫外LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的紫外LED;且，多個(gè)紫外LED的光譜可疊加為連續(xù)光譜。
[0007]進(jìn)一步的，每個(gè)紫外LED的峰值波長(zhǎng)均介于200nm至400nm之間。
[0008]進(jìn)一步的，所述紫外LED陣列中，每?jī)深w相鄰峰值波長(zhǎng)的紫外LED的光譜疊加后的強(qiáng)度在波谷位置不低于兩個(gè)相鄰峰值波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)強(qiáng)度平均值的5%。
[0009]進(jìn)一步的，所述紫外LED陣列為兩組;且，兩組紫外LED陣列中，一組紫外LED陣列中所有紫外LED的峰值波長(zhǎng)與另一組紫外LED陣列中所有紫外LED的峰值波長(zhǎng)相互交叉排布。
[0010]進(jìn)一步的，所述兩組紫外LED陣列的光譜中，光譜曲線交點(diǎn)位置的強(qiáng)度需大于任一峰值波長(zhǎng)強(qiáng)度的30%。
[0011 ]進(jìn)一步的，所述金屬殼體內(nèi)還設(shè)置有低壓汞燈。
[0012]進(jìn)一步的，所述金屬殼體內(nèi)部空間填充有惰性氣體、干燥空氣或氮?dú)狻?br>[0013]提出一種用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)方法，使用上述用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源進(jìn)行校準(zhǔn)，包括如下步驟:開啟所述用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，以使得所述紫外LED陣列在所述恒溫模塊加熱后穩(wěn)定在標(biāo)稱溫度;測(cè)量所述紫外LED陣列中每顆紫外LED的輻射能量以及所有紫外LED的輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn);測(cè)量所述紫外LED陣列中每顆紫外LED的峰值波長(zhǎng)和/或半波寬，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。
[0014]進(jìn)一步的，在開啟所述用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源之后，所述方法還包括:測(cè)量所述紫外LED陣列中設(shè)定波長(zhǎng)段內(nèi)每個(gè)波長(zhǎng)LED對(duì)應(yīng)的輻射能量和輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn);測(cè)量所述紫外LED陣列中所述設(shè)定波長(zhǎng)段內(nèi)每點(diǎn)的波長(zhǎng)，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)。
[0015]還提出一種校準(zhǔn)光源，包括金屬殼體、恒溫模塊和全波段LED陣列;所述全波段LED陣列封裝在所述恒溫模塊表面;所述金屬殼體上設(shè)置有透射全波段光窗口；其中，所述全波段LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的LED芯片;且，多個(gè)LED芯片的光譜可疊加為全波段連續(xù)光譜。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:本申請(qǐng)?zhí)岢龅挠糜谧贤夤庾V儀的校準(zhǔn)光源、方法和校準(zhǔn)光源中，采用紫外LED構(gòu)成紫外LED陣列，該LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的紫外LED，且多個(gè)紫外LED的光譜可疊加為連續(xù)光譜，從而形成為校準(zhǔn)光源;紫外LED是一類穩(wěn)定高效的固體光源，光譜的純度好，開關(guān)反應(yīng)速度快，秒級(jí)可達(dá)穩(wěn)定輸出狀態(tài)，且壽命長(zhǎng)、性能穩(wěn)定，而紫外LED芯片的壽命更長(zhǎng)，穩(wěn)定度更好，因此其組成的校準(zhǔn)光源也具備性能穩(wěn)定和輸出高效的技術(shù)效果，僅在數(shù)秒內(nèi)即可達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，使得校準(zhǔn)過程短而有效，有利于生產(chǎn)企業(yè)提高生產(chǎn)效率;而恒溫模塊的作用能使光源在開機(jī)后迅速穩(wěn)定在標(biāo)稱溫度下，進(jìn)一步保證了校準(zhǔn)光源的高效和穩(wěn)定性，從而解決了現(xiàn)有校準(zhǔn)光源存在的不穩(wěn)定和效率低的技術(shù)問題。
[0017]結(jié)合附圖閱讀本申請(qǐng)實(shí)施方式的詳細(xì)描述后，本申請(qǐng)的其他特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚。
【附圖說明】
[0018]圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源的俯視結(jié)構(gòu)圖；
圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源的剖視圖；
圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源的光譜曲線圖；
圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對(duì)本申請(qǐng)的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)地說明。
[0020]如圖1和圖2所示，本申請(qǐng)?zhí)岢龅挠糜谧贤夤庾V儀的校準(zhǔn)光源，包括金屬殼體11、恒溫模塊12和紫外LED陣列。
[0021 ]紫外LED陣列封裝在恒溫模塊12表面;金屬殼體11上設(shè)置有透射紫外光窗口 13;透射紫外光窗口 13與金屬殼體11之間、金屬殼體11與恒溫模塊13之間均采用無機(jī)金屬焊接；金屬殼體11內(nèi)部空間或?yàn)檎婵?，或者填充有例如惰性氣體、氮?dú)?、干燥空氣等的氣體。
[0022]紫外LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的紫外LED14;且，多個(gè)紫外LED14的光譜可如圖3中曲線I所示的疊加為連續(xù)光譜。
[0023]紫外LED是一類穩(wěn)定高效的固體光源，光譜的純度好，開關(guān)反應(yīng)速度快，秒級(jí)可達(dá)穩(wěn)定輸出狀態(tài)，且壽命長(zhǎng)、性能穩(wěn)定，而紫外LED芯片的壽命更長(zhǎng)，穩(wěn)定度更好，因此其組成的校準(zhǔn)光源也具備性能穩(wěn)定和輸出高效的技術(shù)效果，僅在數(shù)秒內(nèi)即可達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，使得校準(zhǔn)過程短而有效，有利于生產(chǎn)企業(yè)提高生產(chǎn)效率;而恒溫模塊的作用能使光源在開機(jī)后迅速穩(wěn)定在標(biāo)稱溫度下，進(jìn)一步保證了校準(zhǔn)光源的高效和穩(wěn)定性，從而解決了現(xiàn)有校準(zhǔn)光源存在的不穩(wěn)定和效率低的技術(shù)問題。
[0024]本申請(qǐng)實(shí)施例中，每個(gè)紫外LED的峰值波長(zhǎng)均介于200nm至400nm之間，主要是針對(duì)200納米到400納米的紫外光譜儀校準(zhǔn)標(biāo)定。當(dāng)然，也可以根據(jù)實(shí)際測(cè)量需求界定紫外LED的峰值波長(zhǎng)范圍，本申請(qǐng)實(shí)施例不予限制。
[0025]為保證測(cè)量精度，降低噪聲的影響，在紫外LED陣列中，如圖3的A點(diǎn)所示，每?jī)深w相鄰峰值波長(zhǎng)的紫外LED的光譜疊加后的強(qiáng)度不低于兩個(gè)相鄰峰值波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)強(qiáng)度均值的5%。
[0026]為提高測(cè)量精度和準(zhǔn)確度，還可以采取在恒溫模塊上封裝兩組或更多組紫外LED陣列。如圖3所示，為兩組紫外LED陣列組成校準(zhǔn)光源的光譜曲線圖，包括曲線I和曲線2，這兩組紫外LED陣列中，一組紫外LED陣列中所有紫外LED的峰值波長(zhǎng)與另一組紫外LED陣列中所有紫外LED的峰值波長(zhǎng)相互交叉排布;例如，I組的紫外LED陣列中排布峰值波長(zhǎng)為200nm、220醒、24011111、26011111、28011111、30011111、32011111、34011111、36011111、380111]1和400111]1等11個(gè)按照20111]1間隔遞增排列的紫外1^)，2組的紫外1^0陣列中排布峰值波長(zhǎng)為21011111、23011111、250醒、270醒、290]1111、31011111、33011111、35011111、370111]1和390111]1等10個(gè)按照20111]1間隔遞增排列的紫外1^0。此時(shí)，在兩組紫外LED陣列的光譜中，曲線I和曲線2光譜曲線交點(diǎn)位置的強(qiáng)度大于任一峰值波長(zhǎng)強(qiáng)度的30%，能提高測(cè)量的準(zhǔn)確度;而峰值波長(zhǎng)間隔越小，也即紫外LED顆數(shù)越多，測(cè)量精度也就越高。
[0027]本申請(qǐng)實(shí)施例中提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源中，如圖1和圖2所示，還包括低壓汞燈15，該低壓汞燈15設(shè)置在金屬殼體內(nèi)，例如圖中所示的呈環(huán)形排布的紫外LED陣列中心點(diǎn)位置。當(dāng)然，本申請(qǐng)實(shí)施例提出的校準(zhǔn)光源還包括必要的電路以及電信號(hào)接口，本申請(qǐng)實(shí)施例不予詳述。
[0028]基于上述提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，本申請(qǐng)還提出一種用該校準(zhǔn)光源來校準(zhǔn)紫外光譜儀的校準(zhǔn)方法，如圖4所示，包括如下步驟:
步驟S41:開啟用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，以使得紫外LED陣列在恒溫模塊加熱后穩(wěn)定在標(biāo)稱溫度。
[0029]這里的標(biāo)稱溫度為設(shè)定值。當(dāng)紫外LED陣列為一組時(shí)，開啟校準(zhǔn)光源也即開啟了紫外LED陣列和恒溫模塊;當(dāng)紫外LED陣列為兩組時(shí)，可以在開啟校準(zhǔn)光源之后，先啟動(dòng)一組紫外LED陣列，在進(jìn)行了后續(xù)校準(zhǔn)后再開啟第二組重復(fù)校準(zhǔn)步驟，或者同時(shí)開啟兩組紫外LED陣列均可，本申請(qǐng)實(shí)施例不予限制。
[0030]步驟S42:測(cè)量紫外LED陣列中每顆紫外LED的輻射能量以及所有紫外LED的輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)。
[0031]這里的標(biāo)稱值為統(tǒng)稱，對(duì)于測(cè)量波段范圍內(nèi)，例如200nm至400nm，每個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)都對(duì)應(yīng)有輻射能量標(biāo)稱值，所有波長(zhǎng)點(diǎn)對(duì)應(yīng)輻射能量的總和為總輻射能量標(biāo)稱值。
[0032]而在該全紫外波段范圍內(nèi)，為了簡(jiǎn)化測(cè)量步驟，可以僅測(cè)量紫外LED陣列中每顆紫外LED的輻射能量和所有紫外LED的總輻射能量。
[0033]校準(zhǔn)時(shí)，使用紫外光譜儀測(cè)量該校準(zhǔn)光源，針對(duì)每顆紫外LED測(cè)量輻射能量，以及測(cè)量所有紫外LED的總輻射能量，并分別將測(cè)量值與已有的標(biāo)稱值作對(duì)比，若存在測(cè)量值與標(biāo)稱值的誤差大于規(guī)定閾值的情況，則根據(jù)現(xiàn)有方案針對(duì)誤差點(diǎn)執(zhí)行校準(zhǔn)，以保證后續(xù)使用其測(cè)量紫外產(chǎn)品時(shí)的測(cè)量準(zhǔn)確度。例如，若測(cè)量峰值波長(zhǎng)為200nm的紫外LED的輻射能量與其標(biāo)稱值的誤差大于規(guī)定閾值，則需要針對(duì)200nm峰值波長(zhǎng)的輻射能量執(zhí)行校準(zhǔn)。
[0034]步驟S43:測(cè)量紫外LED陣列中每顆紫外LED的峰值波長(zhǎng)和/或半波寬，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。
[0035]同步驟S42，這里的標(biāo)稱值也為統(tǒng)稱，對(duì)于測(cè)量波段范圍內(nèi)，例如200nm至400nm，每顆紫外LED的光譜都對(duì)應(yīng)有峰值波長(zhǎng)標(biāo)稱值，每顆紫外LED的光譜都對(duì)應(yīng)有半波寬標(biāo)稱值。
[0036]校準(zhǔn)時(shí)，在該全紫外波段范圍內(nèi)，使用紫外光譜儀測(cè)量該校準(zhǔn)光源中的紫外LED陣列，針對(duì)每顆紫外LED測(cè)量其波長(zhǎng)峰值和半波寬，并分別將測(cè)量值與已有的標(biāo)稱值作對(duì)比，若存在測(cè)量值與標(biāo)稱值的誤差大于規(guī)定的閾值情況，則根據(jù)現(xiàn)有方案針對(duì)誤差點(diǎn)執(zhí)行校準(zhǔn)，以保證后續(xù)使用其測(cè)量紫外產(chǎn)品時(shí)的測(cè)量準(zhǔn)確度。例如，若測(cè)量峰值波長(zhǎng)為200nm的紫外LED的峰值波長(zhǎng)為195nm，與標(biāo)稱值200nm的誤差為5nm，大于閾值2nm，則需對(duì)200nm波長(zhǎng)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0037]以上為針對(duì)全段進(jìn)行測(cè)量校準(zhǔn)的步驟，但若在小波段范圍內(nèi)出現(xiàn)測(cè)試偏低以及偏高的情況，而偏低和偏高的情況正好在全紫外波段差不多抵消，則使用全段測(cè)量校準(zhǔn)發(fā)現(xiàn)不了此類問題。
[0038]因此在步驟S41之后，相對(duì)于全段校準(zhǔn)，還可以實(shí)施分段校準(zhǔn)的步驟，分段校準(zhǔn)的步驟如下:
步驟S51:測(cè)量紫外LED陣列中設(shè)定波長(zhǎng)段內(nèi)每點(diǎn)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的輻射能量和輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)。
[0039]步驟S52:測(cè)量紫外LED陣列中設(shè)定波長(zhǎng)段內(nèi)每點(diǎn)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的輻射能量和輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)。
[0040]同步驟S42和步驟S43，這里的標(biāo)稱值也為統(tǒng)稱，對(duì)于分段測(cè)量的波段范圍內(nèi)，例如200nm至250nm，300nm至330nm等分段范圍內(nèi)，每點(diǎn)波長(zhǎng)都對(duì)應(yīng)有輻射能量標(biāo)稱值和波長(zhǎng)標(biāo)稱值。
[0041 ]在300nm至330nm小波段范圍內(nèi)做校準(zhǔn)時(shí)，使用紫外光譜儀測(cè)量該校準(zhǔn)光源，針對(duì)300nm、301nm、302nm……、329nm和330nm等每個(gè)波點(diǎn)，測(cè)量每個(gè)波點(diǎn)的輻射能量和波長(zhǎng)，并分別將測(cè)量值與已有的標(biāo)稱值作對(duì)比，若存在測(cè)量值與標(biāo)稱值的誤差大于規(guī)定閾值的情況，則根據(jù)現(xiàn)有方案針對(duì)誤差點(diǎn)執(zhí)行校準(zhǔn)，以保證后續(xù)使用其測(cè)量紫外產(chǎn)品時(shí)的測(cè)量準(zhǔn)確度。
[0042]上述這種全段校準(zhǔn)和分段校準(zhǔn)相結(jié)合的方式可以有效發(fā)現(xiàn)避免由于某一波段微小變化造成的誤差，提高校準(zhǔn)的準(zhǔn)確度。
[0043]上述，本申請(qǐng)實(shí)施例提出的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源和校準(zhǔn)方法中，使用紫外LED陣列組成校準(zhǔn)光源，紫外芯片的發(fā)光功率穩(wěn)定且比較接近，封裝后測(cè)試每顆紫外LED峰值波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的輻射強(qiáng)度偏差在10%以內(nèi)，能夠保證其作為校準(zhǔn)光源的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度;紫外LED采用無機(jī)封裝，壽命大于3000小時(shí)，相比于氘燈，壽命大大提高，且紫外LED在秒級(jí)即可達(dá)到穩(wěn)定輸出，從而有效工作壽命也增長(zhǎng)。金屬殼體與恒溫模塊之間、透射紫外光窗口與金屬殼體之間均采用無機(jī)金屬焊接的方式，抗紫外老化密封性良好。全段校準(zhǔn)結(jié)合分段校準(zhǔn)的校準(zhǔn)步驟，起到減小校準(zhǔn)誤差的效果。且，本申請(qǐng)?zhí)岢龅男?zhǔn)光源可以不僅僅作為校準(zhǔn)光源，也可以用于其他類似的紫外光譜分析儀器。
[0044]參照上述提出的紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源的設(shè)計(jì)思路，本申請(qǐng)實(shí)施例還提出一種全波段光的校準(zhǔn)光源，能夠作為包括可見光和非可見光在內(nèi)的全波段光譜的校準(zhǔn)光源，具體的，包括金屬殼體、恒溫模塊和全波段LED陣列;全波段LED陣列封裝在恒溫模塊表面;金屬殼體上設(shè)置有透射全波段光窗口；其中，全波段LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的LED芯片;且，多個(gè)LED芯片的光譜可疊加為全波段連續(xù)光譜。具體該校準(zhǔn)光源的使用方法同紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源的使用方法相同，此處不予贅述。
[0045]應(yīng)該指出的是，上述說明并非是對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明也并不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也應(yīng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，包括金屬殼體、恒溫模塊和紫外LED陣列； 所述紫外LED陣列封裝在所述恒溫模塊表面;所述金屬殼體上設(shè)置有透射紫外光窗口 ； 其中，所述紫外LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的紫外LED;且，多個(gè)紫外LED的光譜可疊加為連續(xù)光譜。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，每個(gè)紫外LED的峰值波長(zhǎng)均介于200nm至400nm之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，所述紫外LED陣列中，每?jī)深w相鄰紫外LED的光譜疊加后的強(qiáng)度不低于兩個(gè)相鄰峰值波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)強(qiáng)度均值的5%。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，所述紫外LED陣列為兩組； 且，兩組紫外LED陣列中，一組紫外LED陣列中所有紫外LED的峰值波長(zhǎng)與另一組紫外LED陣列中所有紫外LED的峰值波長(zhǎng)相互交叉排布。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，所述兩組紫外LED陣列的光譜中，光譜曲線交點(diǎn)位置的強(qiáng)度需大于任一峰值波長(zhǎng)強(qiáng)度的30%。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，所述金屬殼體內(nèi)還設(shè)置有低壓汞燈。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，其特征在于，所述金屬殼體內(nèi)部空間填充有惰性氣體、干燥空氣或氮?dú)狻?.用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)方法，其特征在于，使用如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源進(jìn)行校準(zhǔn)，包括如下步驟: 開啟所述用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源，以使得所述紫外LED陣列在所述恒溫模塊加熱后穩(wěn)定在標(biāo)稱溫度； 測(cè)量所述紫外LED陣列中每顆紫外LED的輻射能量以及所有紫外LED的輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)； 測(cè)量所述紫外LED陣列中每顆紫外LED的峰值波長(zhǎng)和/或半波寬，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)方法，其特征在于，在開啟所述用于紫外光譜儀的校準(zhǔn)光源之后，所述方法還包括: 測(cè)量所述紫外LED陣列中設(shè)定波長(zhǎng)段內(nèi)每點(diǎn)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的輻射能量和輻射總能量，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)； 測(cè)量所述紫外LED陣列中所述設(shè)定波長(zhǎng)段內(nèi)每點(diǎn)的波長(zhǎng)，并在測(cè)量值與標(biāo)稱值誤差大于閾值時(shí)執(zhí)行校準(zhǔn)。10.一種校準(zhǔn)光源，其特征在于，包括金屬殼體、恒溫模塊和全波段LED陣列； 所述全波段LED陣列封裝在所述恒溫模塊表面;所述金屬殼體上設(shè)置有透射全波段光窗口 ； 其中，所述全波段LED陣列包含多個(gè)峰值波長(zhǎng)按照設(shè)定納米間隔遞增排列的LED芯片；且，多個(gè)LED芯片的光譜可疊加為全波段連續(xù)光譜。
【文檔編號(hào)】G01J3/28GK105910705SQ201610409357
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年6月8日
【發(fā)明人】白生茂, 曲丞世, 張曉裴, 潘娜, 武帥, 張國(guó)華, 周德寶, 梁旭東
【申請(qǐng)人】青島杰生電氣有限公司