一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，包括機(jī)械傳動平臺和電子電路模塊；所述的機(jī)械傳動平臺包括固定組件部分和相對固定組件部分做往復(fù)直線運(yùn)動的活動組件部分；所述的活動組件部分包括活動設(shè)置在直線滾動導(dǎo)軌副上的滑塊、設(shè)置在滑塊上并與直線滾動導(dǎo)軌副平行的滑臺和設(shè)置在滑臺一端的動鏡，所述的滑臺的另一端通過連接器與電機(jī)動子線圈相連接；所述的電子電路模塊包括伺服控制電路、光電開關(guān)電路、光柵編碼器處理電路、通信電路和電源電路；本發(fā)明解決了現(xiàn)有動鏡掃描運(yùn)動平臺運(yùn)動均勻性不高、運(yùn)動速度范圍窄以及精度不高的問題，能進(jìn)行多檔速度調(diào)整，極大的提高了其適用范圍。
【專利說明】
一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明屬于干涉儀技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺。
【背景技術(shù)】
[0002] 光譜分析技術(shù)在環(huán)境科學(xué)、農(nóng)業(yè)、制藥、石油化工、臨床醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域有著重要 的應(yīng)用。由于干涉式傅里葉變換光譜儀具有高效率、寬光譜覆蓋范圍、光譜分辨率高諸多等 優(yōu)點(diǎn)，成為許多國家研究光譜分析技術(shù)的重要方向。干涉式傅里葉變換光譜儀是利用干涉 圖的傅里葉變換獲取光譜的技術(shù)，利用雙光束干涉的有邁克爾遜型、Mach-Zender型和 Sagnac型，其中又以邁克爾遜型傅里葉光譜儀最為常見。
[0003] 邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺是邁克爾遜干涉儀的核心部件之一。干涉儀動 鏡在運(yùn)動過程中的速度波動和角度傾斜對光譜儀探測有很大的影響，要保證光譜儀探測光 譜的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，必須設(shè)計高精度的邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺以實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定 性的光程差掃描運(yùn)動。高精度、高勻速性以及多速度的動鏡運(yùn)動平臺設(shè)計，是一項(xiàng)綜合性的 應(yīng)用技術(shù)，涉及到驅(qū)動系統(tǒng)、導(dǎo)軌等支撐部件的選擇、測量技術(shù)和計算機(jī)控制技術(shù)等多個方 面。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的在于根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種高精度、多掃描速度的邁克爾 遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，該平臺具有能夠根據(jù)不同的邁克爾遜干涉儀的要求進(jìn)行多檔 速度調(diào)整，極大的提高了其適用范圍，解決了現(xiàn)有動鏡掃描運(yùn)動平臺的運(yùn)動均勻性不高、運(yùn) 動速度范圍窄以及精度不高的問題。
[0005] 本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動 平臺，包括機(jī)械傳動平臺和電子電路模塊;所述的機(jī)械傳動平臺包括固定組件部分和相對 固定組件部分做往復(fù)直線運(yùn)動的活動組件部分;所述的固定組件部分包括底座、設(shè)置在底 座上的滑座和設(shè)置在滑座上的直線滾動導(dǎo)軌副和直線音圈電機(jī)，所述的直線音圈電機(jī)包括 電機(jī)定子和電機(jī)動子線圈；所述的活動組件部分包括活動設(shè)置在直線滾動導(dǎo)軌副上的滑 塊、設(shè)置在滑塊上并與直線滾動導(dǎo)軌副平行的滑臺和設(shè)置在滑臺一端的動鏡，所述的滑臺 的另一端通過連接器與電機(jī)動子線圈相連接，所述的活動組件部分還包括設(shè)置在滑臺上的 光電開關(guān)擋片、光柵尺和位于光柵尺上方的光柵編碼器，所述的固定組件部分還包括設(shè)置 在滑座上的光電開關(guān)和擋塊;所述的電子電路模塊包括伺服控制電路、光電開關(guān)電路、光柵 編碼器處理電路、通信電路和電源電路，所述的伺服控制電路通過電機(jī)線纜與直線音圈電 機(jī)相連接，所述的光電開關(guān)電路通過光電開關(guān)線纜與光電開關(guān)相連接，所述的光柵編碼器 處理電路通過光柵編碼器線纜與光柵編碼器相連接，所述的通信電路連接上位計算機(jī)。
[0006] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其伺服控制電路包括順序連接的 位置調(diào)節(jié)模塊、電流調(diào)節(jié)模塊和功率放大器，所述的功率放大器連接直線音圈電機(jī)和光柵 編碼器后與動鏡連接，所述的電流調(diào)節(jié)模塊和功率放大器通過連接檢流電阻構(gòu)成電流控制 環(huán)，所述的位置調(diào)節(jié)模塊、電流調(diào)節(jié)模塊、功率放大器、直線音圈電機(jī)和光柵編碼器通過連 接位置信號處理構(gòu)成位置控制環(huán)。
[0007] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其位置調(diào)節(jié)模塊采用位置環(huán)控制 器，所述的位置環(huán)控制器采用模糊PID控制器。
[0008] 進(jìn)一步，所述的位置環(huán)控制器采用TMS320F28335芯片。
[0009] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其電流調(diào)節(jié)模塊采用基于模擬電 路的電流環(huán)控制器，所述的電流環(huán)控制器采用模擬PID控制器。
[0010]所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其光柵編碼器的分辨率為l〇nm。
[0011] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其直線音圈電機(jī)通過電機(jī)支架設(shè) 置在滑座上。
[0012] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其光柵編碼器通過光柵編碼器支 架設(shè)置在滑臺上并位于光柵尺的上方。
[0013] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其光電開關(guān)通過光電開關(guān)支架設(shè) 置在滑座上。
[0014] 所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其滑塊、動鏡和光電開關(guān)擋片分 別通過螺栓或螺釘設(shè)置在滑臺上。
[0015] 本發(fā)明的有益效果是：
[0016] 1、本發(fā)明的驅(qū)動電機(jī)采用直線音圈電機(jī)，而且活動組件部分通過滑塊活動連接在 直線滾動導(dǎo)軌副上，滑臺的一端固定設(shè)置有動鏡，其另一端通過連接器與電機(jī)動子線圈相 連接，直線音圈電機(jī)是一種具有特殊結(jié)構(gòu)形式的新型電機(jī)，能夠直接產(chǎn)生直線驅(qū)動力，基于 直線音圈電機(jī)的動鏡掃描運(yùn)動平臺沒有中間機(jī)械傳動環(huán)節(jié)，直線運(yùn)動機(jī)械裝置簡單可靠， 而且機(jī)械結(jié)構(gòu)靜/動態(tài)剛度高。
[0017] 2、本發(fā)明基于直線音圈電機(jī)的動鏡掃描運(yùn)動平臺沒有中間機(jī)械傳動環(huán)節(jié)，平臺的 控制環(huán)路較短，并且采用了分辨率達(dá)到l〇nm的光柵編碼器作為位置測量元件進(jìn)行閉環(huán)反饋 控制，將能獲得相當(dāng)高的定位精度，使得本發(fā)明精度高、穩(wěn)定性好。
[0018] 3、本發(fā)明的直線音圈電機(jī)直接輸出直線驅(qū)動力，通過滑臺直接驅(qū)動動鏡，系統(tǒng)響 應(yīng)時間快。
[0019] 4、本發(fā)明的伺服控制電路采用數(shù)?；旌峡刂萍夹g(shù)，伺服控制系統(tǒng)采用電流控制環(huán) 和位置控制環(huán)雙閉環(huán)控制，其中位置控制環(huán)采用數(shù)字控制器，電流控制環(huán)由模擬電路實(shí)現(xiàn)。 增加了模擬電流環(huán)提高了電機(jī)的電流控制響應(yīng)速度和穩(wěn)定性，能夠減小電流波動對電機(jī)工 作的影響，同時使閉環(huán)控制系統(tǒng)具有較快的動態(tài)響應(yīng)能力。
[0020] 5、本發(fā)明的伺服控制系統(tǒng)位置控制環(huán)采用基于模糊PID的控制器，相比于傳統(tǒng)的 PID控制器，模糊PID控制器提高系統(tǒng)的定位精度，加快了穩(wěn)定時間，同時還能有效的抑制超 調(diào)現(xiàn)象。
[0021] 6、本發(fā)明的模糊PID控制器采用高速浮點(diǎn)運(yùn)算DSP芯片TMS320F28335作為控制系 統(tǒng)主控芯片。TMS320F28335系統(tǒng)主頻可達(dá)150MHz，其采用增強(qiáng)型哈佛流水線總線結(jié)構(gòu)，最高 速度為150MIPS(百萬條指令/秒）。由于TMS320F28335具有的強(qiáng)大的計算功能功能，使控制 器能夠?qū)崿F(xiàn)40Khz的更新計算速度，并且能夠滿足高精度光柵編碼器最低20Mhz的采樣速率 要求。通過提高控制器的計算速率有效的減少了外界干擾對動鏡低速運(yùn)動的影響。
[0022] 7、本發(fā)明經(jīng)過準(zhǔn)直儀測試在動鏡的2cm行程內(nèi)，動鏡的傾斜誤差小于5角秒，能夠 有效減小動鏡在勻速運(yùn)動時，運(yùn)動機(jī)構(gòu)的傾斜對動鏡運(yùn)動的均勻性帶來的不利影響
【附圖說明】
[0023]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024] 圖2是本發(fā)明的機(jī)械傳動平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025] 圖3是本發(fā)明的伺服控制電路的結(jié)構(gòu)框圖。
[0026] 各附圖標(biāo)記為:VCM-直線音圈電機(jī)，1 一電機(jī)定子，2-電機(jī)動子線圈，3-連接器， 4一光電開關(guān)擋片，5-光柵尺，6-光柵編碼器，7-光柵編碼器支架，8-滑臺，9 一動鏡， 10-擋塊，11一直線滾動導(dǎo)軌副，12-滑座，13-滑塊，14一底座，15-光電開關(guān)支架，16- 光電開關(guān)，17-電機(jī)支架。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0028] 參照圖1至圖3所示，本發(fā)明公開了一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，包括 機(jī)械傳動平臺和電子電路模塊;所述的機(jī)械傳動平臺包括固定組件部分和相對固定組件部 分做往復(fù)直線運(yùn)動的活動組件部分，所述的電子電路模塊用于對機(jī)械傳動平臺的控制、監(jiān) 視以及與計算機(jī)通訊。
[0029] 所述的固定組件部分包括底座14、固定設(shè)置在底座14上的L型滑座12和固定設(shè)置 在滑座12上的直線滾動導(dǎo)軌副11和直線音圈電機(jī)VCM，所述的直線音圈電機(jī)VCM包括電機(jī)定 子1和電機(jī)動子線圈2;所述的活動組件部分包括活動設(shè)置在直線滾動導(dǎo)軌副11上的滑塊 13、固定設(shè)置在滑塊13上并與直線滾動導(dǎo)軌副11平行的滑臺8和固定設(shè)置在滑臺8-端的動 鏡9,所述的滑臺8的另一端通過連接器3與電機(jī)動子線圈2相連接，所述的滑臺8通過直線滾 動導(dǎo)軌副11進(jìn)行直線運(yùn)動時，其最大行程運(yùn)動時傾斜度不超過5角秒;所述的活動組件部分 還包括固定設(shè)置在滑臺8上的光電開關(guān)擋片4、光柵尺5和位于光柵尺5上方的光柵編碼器6， 所述的固定組件部分還包括固定設(shè)置在滑座12相應(yīng)位置上與光電開關(guān)擋片4配合使用的光 電開關(guān)16和與滑塊13配合使用的擋塊10。
[0030] 所述的電子電路模塊包括伺服控制電路、光電開關(guān)電路、光柵編碼器處理電路、通 信電路和電源電路，所述的伺服控制電路通過電機(jī)線纜與直線音圈電機(jī)VCM相連接，所述的 光電開關(guān)電路通過光電開關(guān)線纜與光電開關(guān)16相連接，所述的光柵編碼器處理電路通過光 柵編碼器線纜與光柵編碼器6相連接，所述的通信電路連接有上位計算機(jī)，所述的上位計算 機(jī)通過通信電路向電子電路模塊發(fā)出的工作指令使動鏡9按照指令進(jìn)行相應(yīng)運(yùn)動。
[0031] 所述的伺服控制電路包括順序連接的位置調(diào)節(jié)模塊、電流調(diào)節(jié)模塊和功率放大 器，所述的功率放大器連接直線音圈電機(jī)VCM和光柵編碼器6后與動鏡9連接，所述的電流調(diào) 節(jié)模塊和功率放大器通過連接檢流電阻構(gòu)成電流控制環(huán)，所述的位置調(diào)節(jié)模塊、電流調(diào)節(jié) 模塊、功率放大器、直線音圈電機(jī)VCM和光柵編碼器6通過連接位置信號處理構(gòu)成位置控制 環(huán)，所述的電流控制環(huán)和位置控制環(huán)構(gòu)成伺服控制系統(tǒng)，伺服控制電路采用數(shù)?；旌峡刂?技術(shù)，所述的電流控制環(huán)采用模擬電路，所述的位置控制環(huán)采用數(shù)字電路，所述的電流控制 環(huán)包括電流調(diào)節(jié)模塊、功率放大器和檢流電阻，所述的位置控制環(huán)包括位置調(diào)節(jié)模塊、電流 調(diào)節(jié)模塊、功率放大器、光柵編碼器6和位置信號處理。
[0032]所述的位置調(diào)節(jié)模塊采用基于TMS320F28335芯片的位置環(huán)控制器，所述的位置環(huán) 控制器采用模糊PID控制器，主要完成位置閉環(huán)系統(tǒng)數(shù)據(jù)的采集和控制算法，充分利用DSP 芯片的功能接口，可對位置信號高速、可靠地進(jìn)行檢測，便于控制系統(tǒng)的集成與實(shí)現(xiàn)。所述 的電流調(diào)節(jié)模塊采用基于模擬電路的電流環(huán)控制器，所述的電流環(huán)控制器采用模擬PID控 制器，通過增加模擬電流環(huán)提高了電機(jī)的電流控制響應(yīng)速度和穩(wěn)定性，能夠減小電流波動 對電機(jī)工作的影響，同時使閉環(huán)控制系統(tǒng)具有較快的動態(tài)響應(yīng)能力。
[0033]所述的位置環(huán)控制器采用模糊PID控制器，模糊PID控制是結(jié)合PID控制和模糊控 制得出的一種新型控制方式，模糊PID控制不僅保持了常規(guī)PID控制系統(tǒng)的原理簡單、使用 方便、魯棒性較強(qiáng)等特點(diǎn)，而且具有更大的靈活性、適應(yīng)性、精確性等特性。
[0034]根據(jù)要求，用于PID參數(shù)調(diào)整的模糊控制器采用二輸入三輸出的形式。該控制器是 以誤差額E和誤差變化率EC作為輸入，PID控制器的三個參數(shù)P、I、D的修正Δ kP，Δ ki，Δ kd作 為輸出。取輸入E和EC和輸出AkP，Aki，Akd模糊子集為{呢，匪，吧，20，？3，？1，？8}，子集中 元素分別代表負(fù)大，負(fù)中，負(fù)小，零，正小，正中，正大，其論域?yàn)閇_6,6]。
[0035] 模糊控制的核心是總結(jié)工程設(shè)計人員的技術(shù)知識和實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn)，建立合適的模 糊規(guī)則表，可以得到如下模糊規(guī)則：
[0036] l.If(E is NB)and(EC is NB)then(Kp is PB)(Ki is NB)(Kd is PS)
[0037] 2.If(E is NB)and(EC is NM)then(Kp is PB)(Ki is NB)(Kd is NS)
[0038] 3.If(E is NB)and(EC is NS)then(Kp is PM)(Ki is NM)(Kd is NB)
[0039] ···
[0040] 49.If(E is PB)and(EC is PB)then(Kp is NB)(Ki is PB)(Kd is PB)
[00411 取輸入E和EC的隸屬度函數(shù)為高斯型（gauSSmf)選取輸出變量Δkp、Δki、Δkd的 隸屬度函數(shù)為三角形(trimf)。
[0042] 采用Mamdani模糊推理模型，推理方法為：
[0043] 前提1(規(guī)則）：如果E是A and EC是B，則U是C;
[0044] 前提2(實(shí)際）：如果E是A'and EC是V。
[0045] 結(jié)論(推理）：U是C =(A' XB')〇(AXB-C)。
[0046] 模糊與算子采用模糊交(min)。
[0047] 2L = A1 η Α2 η.：,.Αη μτ(χ^=πι??(/ι γ (χ),// .； .. (??
[0048]模糊或算子采用模糊并(max) 〇
[0049] /?'二,41 u/1…"4" = max(//,, (χ),μ ,： (χ)...μ ,, (.ν))
[0050] 模糊蘊(yùn)涵采用Mamdani最小運(yùn)算。
[0051 ] R-A^B-A\B = min(//3 (x), ^(yj)
[0052]模糊合成采用模糊并(max) 〇 [0053]去模糊化采用重心法(centroid)。
[0055] 式中:η為輸出的量化級數(shù)，Cl為論域中的元素，yc；(Cl)為論域元素的隸屬度。
[0056] 經(jīng)過計算的到了模糊控制器的PID參數(shù)的非線性對應(yīng)關(guān)系，從而實(shí)現(xiàn)對控制器PID 控制參數(shù)進(jìn)行整定計算。
[0057] 通過上述過程動鏡的勾速運(yùn)動范圍為5cm/s-0.01cm/s，均勾性誤差小于5%，定 位誤差小于200nm〇
[0058] 所述的光柵編碼器6的分辨率為10nm。
[0059] 所述的直線音圈電機(jī)VCM通過電機(jī)支架17固定設(shè)置在滑座12上，并且電機(jī)支架17 上安裝直線音圈電機(jī)VCM的凹槽與電機(jī)定子1和電機(jī)動子線圈2同軸。
[0060] 所述的光柵編碼器6通過光柵編碼器支架7固定設(shè)置在滑臺8上并位于光柵尺5的 上方，光柵編碼器6的讀數(shù)范圍涵蓋了動鏡9最大行程。
[0061] 所述的光電開關(guān)16通過光電開關(guān)支架15固定設(shè)置在滑座12上，光電開關(guān)擋片4通 過螺釘固定設(shè)置在滑臺8上，光電開關(guān)擋片4在動鏡9勻速運(yùn)動起始處觸發(fā)光電開關(guān)16,產(chǎn)生 歸零信號。
[0062] 所述的滑塊13、動鏡9和光電開關(guān)擋片4分別通過螺栓或螺釘固定設(shè)置在滑臺8上。
[0063] 上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效，以及部分運(yùn)用的實(shí)施例，對于 本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和 改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于:包括機(jī)械傳動平臺和電子電 路豐吳塊； 所述的機(jī)械傳動平臺包括固定組件部分和相對固定組件部分做往復(fù)直線運(yùn)動的活動 組件部分； 所述的固定組件部分包括底座（14)、設(shè)置在底座（14)上的滑座（12)和設(shè)置在滑座（12) 上的直線滾動導(dǎo)軌副（11)和直線音圈電機(jī)(VCM)，所述的直線音圈電機(jī)(VCM)包括電機(jī)定子 (1)和電機(jī)動子線圈（2); 所述的活動組件部分包括活動設(shè)置在直線滾動導(dǎo)軌副（11)上的滑塊（13)、設(shè)置在滑塊 (13)上并與直線滾動導(dǎo)軌副（11)平行的滑臺（8)和設(shè)置在滑臺（8)-端的動鏡(9)，所述的 滑臺（8)的另一端通過連接器(3)與電機(jī)動子線圈（2)相連接，所述的活動組件部分還包括 設(shè)置在滑臺（8)上的光電開關(guān)擋片(4)、光柵尺(5)和位于光柵尺(5)上方的光柵編碼器(6)， 所述的固定組件部分還包括設(shè)置在滑座（12)上的光電開關(guān)（16)和擋塊(10); 所述的電子電路模塊包括伺服控制電路、光電開關(guān)電路、光柵編碼器處理電路、通信電 路和電源電路，所述的伺服控制電路通過電機(jī)線纜與直線音圈電機(jī)(VCM)相連接，所述的光 電開關(guān)電路通過光電開關(guān)線纜與光電開關(guān)(16)相連接，所述的光柵編碼器處理電路通過光 柵編碼器線纜與光柵編碼器(6)相連接，所述的通信電路連接上位計算機(jī)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 伺服控制電路包括順序連接的位置調(diào)節(jié)模塊、電流調(diào)節(jié)模塊和功率放大器，所述的功率放 大器連接直線音圈電機(jī)(VCM)和光柵編碼器(6)后與動鏡(9)連接，所述的電流調(diào)節(jié)模塊和 功率放大器通過連接檢流電阻構(gòu)成電流控制環(huán)，所述的位置調(diào)節(jié)模塊、電流調(diào)節(jié)模塊、功率 放大器、直線音圈電機(jī)(VCM)和光柵編碼器(6)通過連接位置信號處理構(gòu)成位置控制環(huán)。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 位置調(diào)節(jié)模塊采用位置環(huán)控制器，所述的位置環(huán)控制器采用模糊PID控制器。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 位置環(huán)控制器采用TMS320F28335芯片。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 電流調(diào)節(jié)模塊采用基于模擬電路的電流環(huán)控制器，所述的電流環(huán)控制器采用模擬PID控制 器。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 光柵編碼器(6)的分辨率為10nm〇7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 直線音圈電機(jī)(VCM)通過電機(jī)支架（17)設(shè)置在滑座（12)上。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 光柵編碼器(6)通過光柵編碼器支架(7)設(shè)置在滑臺（8)上并位于光柵尺(5)的上方。9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述的 光電開關(guān)（16)通過光電開關(guān)支架（15)設(shè)置在滑座（12)上。10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種邁克爾遜干涉儀動鏡掃描運(yùn)動平臺，其特征在于，所述 的滑塊(13)、動鏡(9)和光電開關(guān)擋片(4)分別通過螺栓或螺釘設(shè)置在滑臺（8)上。
【文檔編號】G01J3/06GK106017672SQ201610345653
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月23日
【發(fā)明人】孫偉, 張智杰, 趙坤, 葉小風(fēng), 郭良賢, 洪普
【申請人】湖北久之洋紅外系統(tǒng)股份有限公司