一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法
【專利摘要】一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，能夠?qū)φ婵窄h(huán)境下使用的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，其特征在于，基于真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)的條件設(shè)置，通過將被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值與一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)的示值進(jìn)行對比，以完成被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)，所述真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)包括真空腔、混氣室和過渡真空室。
【專利說明】
一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及熱學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域，主要針對真空環(huán)境下使用的溫度傳感器的校準(zhǔn)，特別是一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]由于采用常壓下標(biāo)定和校準(zhǔn)的溫度傳感器測量真空環(huán)境下氣體溫度存在諸多不確定性因素，所以本發(fā)明人認(rèn)為，很有必要對真空環(huán)境下使用的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷或不足，提供一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，能夠?qū)φ婵窄h(huán)境下使用的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]—種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，基于真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)的條件設(shè)置，通過將被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值與一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)的示值進(jìn)行對比，以完成被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)，所述真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)包括真空腔、混氣室和過渡真空室。
[0006]所述校準(zhǔn)方法包括下列步驟:
[0007]步驟一，打開真空腔的上底面和下底面，將被校準(zhǔn)溫度傳感器安裝在真空腔內(nèi)，采用接觸真空腔內(nèi)壁安裝或不接觸真空腔內(nèi)壁安裝；
[0008]步驟二，將真空腔上底面和下底面均通過螺釘緊固密封膠圈實(shí)現(xiàn)真空腔的密封；
[0009]步驟三，將真空腔放入恒溫槽中，設(shè)定恒溫槽的溫度；
[0010]步驟四，將一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)安裝在真空腔外壁銅管中；
[0011]步驟五:將被校準(zhǔn)溫度傳感器和一等標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器的信號引線連接到電測設(shè)備上；
[0012]步驟六，對真空腔、混氣室和過渡真空室進(jìn)行抽真空；
[0013]步驟七，待真空腔的真空度達(dá)到極限真空，恒溫槽溫度達(dá)到設(shè)定的目標(biāo)溫度值，真空腔、恒溫槽、一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)和被校準(zhǔn)溫度計(jì)達(dá)到溫度平衡時，將混氣室充入目標(biāo)氣體；
[0014]步驟八，通過調(diào)節(jié)混氣室和真空腔之間的微調(diào)閥，調(diào)節(jié)真空腔的真空度，當(dāng)真空腔的真空度達(dá)到目標(biāo)真空度時，記錄一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)算示值TdP被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值T2，計(jì)算被校準(zhǔn)溫度傳感器在該真空度、該溫度點(diǎn)下的示值誤差；
[0015]步驟九，改變真空腔的真空度、混氣室的氣體組分和設(shè)定的溫度點(diǎn)，重復(fù)步驟六至步驟八，進(jìn)行不同條件下的被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)。
[0016]所述混氣室中的氣體采用氮?dú)?、氧氣、氬氣?或二氧化碳。
[0017]所述真空腔的極限真空度為IX 1-5Pa0
[0018]所述恒溫槽的溫度條件范圍為-80?300°C。
【附圖說明】
[0019]圖1是實(shí)施本發(fā)明的真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]附圖標(biāo)記列示如下:1-真空腔;2-真空腔體外壁銅管;3-過渡波紋管;4-恒溫槽;5，6,19, 20-電容薄膜真空計(jì)；7-溫度傳感器真空轉(zhuǎn)換頭;8-緩沖真空室;9-放氣閥；10-隔斷閥；11-電離規(guī)；12-電阻規(guī)；13-面密封閥即微調(diào)閥；14-過渡真空室；15-分子栗；16，17，18-電磁隔斷閥；21-混氣室；22，23，24-隔斷充氣閥；25，26，27_(高純)氣體罐；28-插板閥；29-機(jī)械栗。
【具體實(shí)施方式】
[0021 ]下面結(jié)合附圖(圖1)對本發(fā)明進(jìn)行說明。
[0022]圖1是實(shí)施本發(fā)明的真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)，包括真空腔I，所述真空腔I分別連接緩沖真空室8和混氣室21，所述緩沖真空室8通過過渡真空室14連接分子栗15，所述緩沖真空室8、所述混氣室21和所述分子栗15各自通過預(yù)抽管路連接機(jī)械栗29。所述混氣室21分別連接三個氣體罐25、26、27，所述混氣室21上設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)19、20。所述緩沖真空室8設(shè)置有電容薄膜真空計(jì)5、6以及溫度傳感器真空轉(zhuǎn)換頭7。所述真空腔I通過面密封閥即微調(diào)閥13連接所述混氣室21。所述緩沖真空室8通過隔斷閥10連接所述過渡真空室14，所述隔斷閥10與所述緩沖真空室8的中間管路上設(shè)置有放氣閥9，所述過渡真空室14與所述分子栗15之間設(shè)置有插板閥28。所述預(yù)抽管路上設(shè)置有電池隔斷閥16、17、18。所述過渡真空室14上設(shè)置有電離規(guī)11和電阻規(guī)12。所述混氣室21通過三個隔斷充氣閥22、23、24對應(yīng)連接所述三個氣體罐25、26、27。所述真空腔I浸泡在恒溫槽4中，所述真空腔I的外壁設(shè)置有容納一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)的真空腔體外壁銅管2，所述真空腔體外壁銅管2的底端被封堵。所述真空腔體外壁銅管2的上端為安裝口。
[0023]—種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，基于真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)的條件設(shè)置，通過將被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值與一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)的示值進(jìn)行對比，以完成被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)，所述真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)包括真空腔、混氣室和過渡真空室，所述校準(zhǔn)方法包括下列步驟:步驟一，打開真空腔的上底面和下底面，將被校準(zhǔn)溫度傳感器安裝在真空腔內(nèi)，采用接觸真空腔內(nèi)壁安裝或不接觸真空腔內(nèi)壁安裝;步驟二，將真空腔上底面和下底面均通過螺釘緊固密封膠圈實(shí)現(xiàn)真空腔的密封;步驟三，將真空腔放入恒溫槽中，設(shè)定恒溫槽的溫度;步驟四，將一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)安裝在真空腔外壁銅管中；步驟五:將被校準(zhǔn)溫度傳感器和一等標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器的信號引線連接到電測設(shè)備上;步驟六，對真空腔、混氣室和過渡真空室進(jìn)行抽真空;步驟七，待真空腔的真空度達(dá)到極限真空，恒溫槽溫度達(dá)到設(shè)定的目標(biāo)溫度值，真空腔、恒溫槽、一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)和被校準(zhǔn)溫度計(jì)達(dá)到溫度平衡時，將混氣室充入目標(biāo)氣體;步驟八，通過調(diào)節(jié)混氣室和真空腔之間的微調(diào)閥，調(diào)節(jié)真空腔的真空度，當(dāng)真空腔的真空度達(dá)到目標(biāo)真空度時，記錄一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)算示值T1和被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值T2，計(jì)算被校準(zhǔn)溫度傳感器在該真空度、該溫度點(diǎn)下的示值誤差;步驟九，改變真空腔的真空度、混氣室的氣體組分和設(shè)定的溫度點(diǎn)，重復(fù)步驟六至步驟八，進(jìn)行不同條件下的被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)。所述混氣室中的氣體采用氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣?或二氧化碳。所述真空腔的極限真空度為I X 10—5Pa。所述恒溫槽的溫度條件范圍為-80?300 °C。
[0024]在此指明，以上敘述有助于本領(lǐng)域技術(shù)人員理解本發(fā)明創(chuàng)造，但并非限制本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍。任何沒有脫離本發(fā)明創(chuàng)造實(shí)質(zhì)內(nèi)容的對以上敘述的等同替換、修飾改進(jìn)和/或刪繁從簡而進(jìn)行的實(shí)施，均落入本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，基于真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)的條件設(shè)置，通過將被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值與一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)的示值進(jìn)行對比，以完成被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)，所述真空環(huán)境下溫度傳感器計(jì)量系統(tǒng)包括真空腔、混氣室和過渡真空室。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述校準(zhǔn)方法包括下列步驟: 步驟一，打開真空腔的上底面和下底面，將被校準(zhǔn)溫度傳感器安裝在真空腔內(nèi)，采用接觸真空腔內(nèi)壁安裝或不接觸真空腔內(nèi)壁安裝； 步驟二，將真空腔上底面和下底面均通過螺釘緊固密封膠圈實(shí)現(xiàn)真空腔的密封； 步驟三，將真空腔放入恒溫槽中，設(shè)定恒溫槽的溫度； 步驟四，將一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)安裝在真空腔外壁銅管中； 步驟五:將被校準(zhǔn)溫度傳感器和一等標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器的信號引線連接到電測設(shè)備上； 步驟六，對真空腔、混氣室和過渡真空室進(jìn)行抽真空； 步驟七，待真空腔的真空度達(dá)到極限真空，恒溫槽溫度達(dá)到設(shè)定的目標(biāo)溫度值，真空腔、恒溫槽、一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)和被校準(zhǔn)溫度計(jì)達(dá)到溫度平衡時，將混氣室充入目標(biāo)氣體； 步驟八，通過調(diào)節(jié)混氣室和真空腔之間的微調(diào)閥，調(diào)節(jié)真空腔的真空度，當(dāng)真空腔的真空度達(dá)到目標(biāo)真空度時，記錄一等標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)算示值!^和被校準(zhǔn)溫度傳感器的示值T2，計(jì)算被校準(zhǔn)溫度傳感器在該真空度、該溫度點(diǎn)下的示值誤差； 步驟九，改變真空腔的真空度、混氣室的氣體組分和設(shè)定的溫度點(diǎn)，重復(fù)步驟六至步驟八，進(jìn)行不同條件下的被校準(zhǔn)溫度傳感器的校準(zhǔn)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述混氣室中的氣體采用氮?dú)?、氧氣、氬氣?或二氧化碳。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述真空腔的極限真空度為lXl(T5Pa。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述恒溫槽的溫度條件范圍為-80?300 °C。
【文檔編號】G01K15/00GK106017742SQ201610674296
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年8月16日
【發(fā)明人】熊煒, 賈軍偉, 王書強(qiáng)
【申請人】江蘇東方航天校準(zhǔn)檢測有限公司